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公开(公告)号：CN209352972U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822247108.7
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种用于多弧离子镀膜的小弧源，在安装法兰上螺栓固定屏蔽罩；在屏蔽罩的上方固定若干个支撑螺栓，在支撑螺栓上用螺母固定屏蔽板；在屏蔽板的中间套入靶材；在屏蔽罩的内部，在安装法兰上从下往上依次固定绝缘法兰、轭铁、靶座、靶材压框，固定靶材等部件；在安装法兰的边缘上开设一圆孔；在圆孔内设置自动引弧装置；小弧源采用三路磁场结构，外圈环形磁铁位置固定，中间的柱形磁铁高度可调，有效增强了靶材表面的磁场强度，可使用钨钼等耐高温难熔融靶材，解决了以往类似金属或合金难以镀膜的问题。
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公开(公告)号：CN207176073U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135325.6
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C16/505
Abstract: 本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备的射频信号引入结构，包括双层水冷腔体、同轴电缆接头、屏蔽罩，屏蔽罩设置在双层水冷腔体的上方；同轴电缆接头设置在屏蔽罩上，在屏蔽罩与双层水冷腔体之间设置一焊接法兰；焊接法兰的上方设置第一绝缘法兰；第一绝缘法兰上方设置一接线法兰，接线法兰上中心设置一中心圆孔，在其的上方开设一凹槽，设置一进气管；在其两侧各设置一电刷；设置在凹槽内；电刷的一端抵住进气管的外侧；电刷的另一端抵住凹槽的两侧；进气管向下依次穿过第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体；在进气管与第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体之间设置一绝缘套；解决了射频信号引入失效的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207176064U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135272.8
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205556769U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216458.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN205556768U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215908.9
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN203772050U
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201420140999.5
申请日：2014-03-26
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F28B1/02
Abstract: 本实用新型涉及一种气体的冷凝装置，包含水冷外管、设置在所述水冷外管内水冷内管，所述水冷外管的上下两端分别具有一出水口和一进水口；所述水冷内管的两端为不封闭的；所述气体冷凝装置还包含：插入所述水冷内管内的冷凝柱；所述水冷内管的外圆上等距套设有水冷环，通过所述水冷环与所述水冷外管的腔体进行密封，且每组水冷环上具有能够让冷凝水通过的缺口。同现有技术相比，水冷效果均匀，在过滤筒吸收过滤饱和之后，可进行清洗或替换，且操作简单。
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公开(公告)号：CN220059865U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202321668876.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种高效率真空获取装置，在低真空度抽取装置上并联低真空度抽取装置；在低真空度抽取装置与高真空度抽取装置之间设置高低真空度切换装置；高低真空度切换装置将若干个低真空度抽取装置切换成同时工作；达到真空度后，高低真空度切换装置将其中一个低真空度抽取装置切换成与高真空度抽取装置并行工作，使得其中一个低真空度抽取装置为高真空度抽取装置维持真空；解决了在现有的真空获取装置中，用作分子泵的维持泵的旋片泵仅做为维持泵来使用，分子泵启动的时间滞后以及导致真空获取装置抽取真空的效率不高的技术问题。
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公开(公告)号：CN220057012U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202321668805.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜工装，采用了转盘；沿着所述转盘的圆周，在转盘上活动连接若干个所述夹具套管；在转盘的外侧固定拨片装置，拨片装置随着转盘的转动，拨动夹具套管，进行自转；在丝锥、钻头、铣刀等产品的真空镀膜的时候，能够使得膜层均匀，解决了现有技术中在丝锥、钻头、铣刀等产品的真空镀膜的时候，工件圆周方向的面与靶面的朝向不一致，从而导致膜层不均匀，使得丝锥、钻头、铣刀等产品在真空镀膜的过程中，良品率不高的技术问题。
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公开(公告)号：CN218761258U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239770.0
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H57/021
Abstract: 本实用新型涉及一种同心双轴真空密封传动装置，采用在内轴结构的外侧活动连接外轴结构；内轴结构的一端连接转盘；外轴结构的一端连接大齿轮；大齿轮通过啮合小齿轮，内轴结构带动转盘进行自转；外轴结构带动转盘进行公转；实现了外轴结构静止时，内轴结构带着转盘公转；当内轴结构静止时，外轴结构带着大齿轮转动，解决了在现有技术中，一般的真空设备转架只有一种旋转状态，即转盘公转并带着自转轴公转并自转，但是，随着镀膜技术的发展需要进行产品的定点镀膜，这个时候就需要转盘在定点停止但自转轴需保持自转，使得只有一种旋转状态的真空设备转架无法满足要求的问题。
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