一种无黏附层的高附着力铂薄膜温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117928762B

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202410117189.6

    申请日:2024-01-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及温度传感器领域,具体涉及一种无黏附层的高附着力铂薄膜温度传感器及其制备方法,该铂薄膜温度传感器从下往上依次包括氧化铝陶瓷基底、铂薄膜层、二氧化硅保护层;该结构不包含黏附层,通过改进磁控溅射工艺和离子束刻蚀工艺参数,增强了铂薄膜层和基底之间的黏附性,提高了温度传感器的探测精度,同时减少了工艺制备流程,提高制备效率;而在引线封装中,其使用热压焊技术和玻璃浆料绝缘处理,提高了焊接引线的成功率,有效减少噪声干扰。另外,本发明通过多段冷却刻蚀工艺解决了离子束刻蚀过程中光刻胶碳化问题。

    一种微型化温盐集成芯片
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118495452A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410428432.6

    申请日:2024-04-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及海洋温度和盐度测量技术领域,具体涉及一种微型化温盐集成芯片,包括硅基衬底、以及设置在硅基衬底上的温度传感结构及电导率传感结构,所述的温度传感结构采用蛇形环绕铂丝结构,通过四根引线构成四线制测量方式;所述的电导率传感结构采用七电极电导率传感结构,包括依次布置的一号电极、二号电极、三号电极、四号电极、五号电极、六号电极及七号电极,每根电极的长度均为5cm,且相邻两电极之间的间距为0.3mm。本发明能够快速响应,实现实时快速测量海水的盐度;整体芯片在毫米级,具有精度高、响应快、一致性好、稳定性好、体积小、功耗低、易集成、成本低、可大批量生产等诸多优势。

    一种用于筒射的多旋翼折叠式无人机

    公开(公告)号:CN118323501A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410757533.8

    申请日:2024-06-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于筒射无人机技术领域,公开了一种用于筒射的多旋翼折叠式无人机,包括中心机架、多个机臂和机臂锁定机构;各个机臂均匀设置在中心机架四周,并通过转轴与中心机架转动连接,各个机臂底部设置有锁钉,锁钉端部设置有钉头;机臂锁定机构包括舵机和圆柱形的锁体,舵机固定设置在中心机架底部中心,舵机用于驱动锁体沿中心轴转动;锁体固定设置在舵机底部,锁体侧壁上与锁钉对应设置有多个锁孔。本发明结构简单稳定,可以实现筒射折叠无人机的自动展开。

    一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN117479809B

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311817067.X

    申请日:2023-12-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于半导体器件技术领域,公开了一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法,包括聚酰亚胺衬底层、有机物填充层和设置在中间的热电单元层,热电单元层顶部设置有多个向下延伸至聚酰亚胺衬底层的第一电极柱,底部设置有多个向上延伸至有机物填充层的第二电极柱,第二电极柱与第一电极柱交错设置;热电单元层设置在各个相邻的第二电极柱之间,两个相邻的第二电极柱及其之间的热电单元层和第一电极柱构成Y型热电单元器件;热电单元层包括分别位于第一电极柱的左右两侧的N型热电单元和P型热电单元。本发明不仅热电转化率高,性能优异,而且结构简单,易于扩展,其结合MEMS工艺制备,制备工艺简单、成本低,可广泛应用。

    基于光学谐振腔的光电振荡器

    公开(公告)号:CN104659637A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510103877.8

    申请日:2015-03-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于光学谐振腔的光电振荡器,用于对激光进行光电振荡,产生优质的微波信号。该光电振荡器由激光器、电光调制器、放大器、滤波器、光电探测器和光学谐振腔组成环路,该环路构成光电振荡器的主要结构。本发明光电振荡器在光域中产生高品质的微波信号显示出了明显的优势,通过多次振荡能够形成高质量的微波信号;本发明利用光学谐振腔将微波信号的通过多次振荡输出,以光电振荡器小型化为主线;本发明用光学谐振腔代替了传统的长光纤,具有体积小,损耗低,性能稳定等特点,适用光载无线通信和微波光子学领域;本发明中光学谐振腔是用棱镜和微盘腔耦合实现,比用波导与微盘耦合的光学谐振腔性能更稳定。

    一种用于筒射的多旋翼折叠式无人机

    公开(公告)号:CN118323501B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410757533.8

    申请日:2024-06-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于筒射无人机技术领域,公开了一种用于筒射的多旋翼折叠式无人机,包括中心机架、多个机臂和机臂锁定机构;各个机臂均匀设置在中心机架四周,并通过转轴与中心机架转动连接,各个机臂底部设置有锁钉,锁钉端部设置有钉头;机臂锁定机构包括舵机和圆柱形的锁体,舵机固定设置在中心机架底部中心,舵机用于驱动锁体沿中心轴转动;锁体固定设置在舵机底部,锁体侧壁上与锁钉对应设置有多个锁孔。本发明结构简单稳定,可以实现筒射折叠无人机的自动展开。

    一种用于无人机的水下锚定式发射装置

    公开(公告)号:CN118306596A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410740328.0

    申请日:2024-06-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及水下无人机发射技术领域,具体涉及一种用于无人机的水下锚定式发射装置。装置包括依次密封连接的远程脱索装置、无人机弹射仓和无人机发射仓;远程脱索装置包括底座、锚链、卡盘体、舵机、骨架油封和多个卡盘爪,底座底部沿径向对称设置有多个滑动槽,各个卡盘爪分别通过其中一个滑动槽对称地卡设在底座上,形成中心包围结构;锚链的一端设置在各个卡盘爪上方,另一端穿过各个卡盘爪后与海底固定连接;卡盘体设置在卡盘爪上方,且靠近卡盘爪的一面设置有螺旋槽;卡盘爪上设置有与螺旋槽配合的卡爪腿;骨架油封用于实现舵机的动密封;舵机用于驱动卡盘体转动。本发明可以实现无人机的远程安全发射。

    可调控的高非线性硅基石墨烯多模狭缝波导及制备方法

    公开(公告)号:CN117311056A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311409253.X

    申请日:2023-10-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及硅基光电集成器件领域,具体涉及一种可调控的高非线性硅基石墨烯多模狭缝波导及制备方法,包括氧化硅衬底,氧化硅衬底上设置有多个平行排列的硅波导,硅波导为截面为矩形的条状,相互之间设置有狭缝间隙形成多模狭缝波导,多模狭缝波导表面设置有两侧均延伸至氧化硅衬底表面的石墨烯薄膜,位于多模狭缝波导两侧的石墨烯薄膜表面分别设置有第一电极和第二电极,氧化硅衬底上未覆石墨烯薄膜的位置设置有第三电极;石墨烯薄膜、氧化硅衬底和各个电极上方均覆盖有离子凝胶层。本发明大幅度提高了器件非线性强度,可以广泛应用于高速光逻辑运算器件及多模光逻辑运算中。

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