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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117928762B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202410117189.6
申请日：2024-01-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明涉及温度传感器领域，具体涉及一种无黏附层的高附着力铂薄膜温度传感器及其制备方法，该铂薄膜温度传感器从下往上依次包括氧化铝陶瓷基底、铂薄膜层、二氧化硅保护层；该结构不包含黏附层，通过改进磁控溅射工艺和离子束刻蚀工艺参数，增强了铂薄膜层和基底之间的黏附性，提高了温度传感器的探测精度，同时减少了工艺制备流程，提高制备效率；而在引线封装中，其使用热压焊技术和玻璃浆料绝缘处理，提高了焊接引线的成功率，有效减少噪声干扰。另外，本发明通过多段冷却刻蚀工艺解决了离子束刻蚀过程中光刻胶碳化问题。
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公开(公告)号：CN118495452A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410428432.6
申请日：2024-04-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋温度和盐度测量技术领域，具体涉及一种微型化温盐集成芯片，包括硅基衬底、以及设置在硅基衬底上的温度传感结构及电导率传感结构，所述的温度传感结构采用蛇形环绕铂丝结构，通过四根引线构成四线制测量方式；所述的电导率传感结构采用七电极电导率传感结构，包括依次布置的一号电极、二号电极、三号电极、四号电极、五号电极、六号电极及七号电极，每根电极的长度均为5cm，且相邻两电极之间的间距为0.3mm。本发明能够快速响应，实现实时快速测量海水的盐度；整体芯片在毫米级，具有精度高、响应快、一致性好、稳定性好、体积小、功耗低、易集成、成本低、可大批量生产等诸多优势。
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公开(公告)号：CN117928762A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410117189.6
申请日：2024-01-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明涉及温度传感器领域，具体涉及一种无黏附层的高附着力铂薄膜温度传感器及其制备方法，该铂薄膜温度传感器从下往上依次包括氧化铝陶瓷基底、铂薄膜层、二氧化硅保护层；该结构不包含黏附层，通过改进磁控溅射工艺和离子束刻蚀工艺参数，增强了铂薄膜层和基底之间的黏附性，提高了温度传感器的探测精度，同时减少了工艺制备流程，提高制备效率；而在引线封装中，其使用热压焊技术和玻璃浆料绝缘处理，提高了焊接引线的成功率，有效减少噪声干扰。另外，本发明通过多段冷却刻蚀工艺解决了离子束刻蚀过程中光刻胶碳化问题。
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公开(公告)号：CN103127924A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310029900.4
申请日：2013-01-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种TiO2-SiO2可见光复合光催化剂的制备方法，该方法制得的TiO2-SiO2可见光复合光催化剂具有可见光波段光响应性，对有机物具有良好的催化降解效果。该方法第一步首先将一定体积比的TBOT和TEOS分别溶解于无水乙醇中，接着再将乙酸铵和C微球按一定的添加量添加到无水乙醇中，最后制得黑色悬浮液；第二步将黑色悬浮液转入高压反应釜中进行水热反应，最后将反应液中的固体产物煅烧之后便得到了本发明所述的TiO2-SiO2可见光复合光催化剂。本发明方法步骤简单、反应条件温和、成本低廉、重现性高、易于放大，制得的产物纯度、产量和产率都较高，比表面积大，在可见光波段具有响应性，催化效率高。
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公开(公告)号：CN103127924B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310029900.4
申请日：2013-01-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种TiO2-SiO2可见光复合光催化剂的制备方法，该方法制得的TiO2-SiO2可见光复合光催化剂具有可见光波段光响应性，对有机物具有良好的催化降解效果。该方法第一步首先将一定体积比的TBOT和TEOS分别溶解于无水乙醇中，接着再将乙酸铵和C微球按一定的添加量添加到无水乙醇中，最后制得黑色悬浮液；第二步将黑色悬浮液转入高压反应釜中进行水热反应，最后将反应液中的固体产物煅烧之后便得到了本发明所述的TiO2-SiO2可见光复合光催化剂。本发明方法步骤简单、反应条件温和、成本低廉、重现性高、易于放大，制得的产物纯度、产量和产率都较高，比表面积大，在可见光波段具有响应性，催化效率高。
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