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公开(公告)号：CN112744781B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201911039852.0
申请日：2019-10-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述了一种氧化镁密封腔的制备方法，其包括：准备工序，准备第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片；图案化工序，对第一氧化镁晶片的掩膜层进行光刻形成预定的图案；刻蚀工序，使用磷酸溶液对第一氧化镁晶片进行湿法刻蚀，并去除掩膜层；以及键合工序，对刻蚀后的第一氧化镁晶片的带有腔体的一面进行表面处理，对第二氧化镁晶片的一面进行表面处理，并将第一氧化镁晶片的第一键合面与第二氧化镁晶片的第二键合面直接键合，以形成由第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片组成的密封体。由此，能够提高这种密封体的密封性能，且利用氧化镁的优良力学性能和动力学特性使其能够很好地适应高温高压下的工作环境。
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公开(公告)号：CN118168586A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410287479.5
申请日：2024-03-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本公开涉及一种菲索成像模块及包括该模块的解调系统，菲索成像模块包括壳体、导光组件和转换组件，壳体配置为耦合导光组件和转换组件，导光组件包括传导器件和光学器件，测量光束在壳体的内部经传导器件和光学器件传播后入射至转换组件，传导器件配置为从外部接收测量光束并将测量光束入射至光学器件，光学器件配置为将测量光束入射至转换组件并使测量光束沿光学器件指向转换组件的方向发散，壳体具有沿光学器件指向转换组件的方向扩张的渐扩结构，渐扩结构与发散的测量光束相匹配，转换组件配置为接收测量光束并将测量光束对应的光信号转换为电信号。根据本公开，能够减小菲索成像模块的体积。
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公开(公告)号：CN105043264B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510229468.2
申请日：2015-05-07
Applicant: 中北大学
Inventor： 刘文怡 , 侯钰龙 , 张会新 , 苏珊 , 刘佳 , 张彦军 , 沈三民 , 王红亮 , 苏淑婧 , 谭秋林 , 崔永俊 , 甄成方 , 雷海卫 , 赵利辉 , 熊继军 , 刘俊
Abstract: 本发明的目的在于提供一种基于宏弯损耗效应的位移检测传感器。通过宏弯引起光纤内模场畸变，引起宏弯损耗。由两根塑料裸光纤形成双绞宏弯辐射耦合结构，利用宏弯损耗效应实现两根光纤之间的耦合，称为宏弯辐射耦合。通过宏弯半径改变宏弯损耗的光能量，引起接收光纤内光功率变化，从而实现对物体位移的检测。首次将宏弯辐射耦合结构应用于位移检测，同时实现了低成本，低功耗，高性能的位移传感器。
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公开(公告)号：CN120033517A
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202411706445.1
申请日：2024-11-26
Applicant: 中北大学
IPC: H01S3/067
Abstract: 本公开提供一种基于光纤布拉格光栅的随机光纤激光器，包括光输入端、增益光纤和随机反馈机构；光输入端从泵浦源接收泵浦光；增益光纤配置为接收泵浦光并输出第一波长范围的第一光信号；随机反馈机构包括反馈光纤和形成在反馈光纤上的光纤布拉格光栅串，光纤布拉格光栅串接收第一光信号并提供针对第一光信号的随机反馈以输出小于第一波长范围的第二波长范围的第二光信号，光纤布拉格光栅串包括多个光栅阵列，在沿着第一光信号入射至光纤布拉格光栅串的方向，多个光栅阵列的多个光栅周期依次递增，多个光纤布拉格光栅中相邻的光纤布拉格光栅之间的距离是随机的。由此，能够在缩短光纤长度的同时实现宽可调谐。
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公开(公告)号：CN119800323A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510293140.0
申请日：2025-03-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供一种抗反射型氧化镁纳米结构的制造方法，包括以下步骤：将对应晶态的氧化镁衬底进行清洗操作；待完成对所述氧化镁衬底的清洗操作，在所述氧化镁衬底上进行基于氧化硅的沉积操作，得到氧化硅层；对所述氧化硅层进行图案化处理，得到位于所述氧化镁衬底之上的氧化硅纳米结构；在所述氧化镁衬底上进行基于对应非晶态的氧化镁的沉积操作，以形成覆盖所述氧化硅纳米结构以及所述氧化镁衬底的氧化镁层；对所述氧化镁层进行刻蚀，以露出所述氧化硅纳米结构；将所述氧化硅纳米结构进行去除，以形成氧化镁纳米结构；对所述氧化镁纳米结构进行退火操作，以将对应非晶态的氧化镁纳米结构转换为对应晶态的氧化镁纳米结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119018842A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411116070.3
申请日：2019-10-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种氧化镁密封腔的制备方法及光学传感器，氧化镁密封腔应用于基于光学原理的传感器，制备方法包括在第一氧化镁晶片的表面形成掩膜层；对第一氧化镁晶片的掩膜层进行光刻形成预定的图案；使用磷酸溶液对第一氧化镁晶片进行湿法刻蚀以在第一氧化镁晶片形成预定深度的腔体，并去除掩膜层；并且将第一氧化镁晶片的第一键合面与第二氧化镁晶片的第二键合面直接键合以形成由第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片组成的密封体，其中，第一键合面为第一氧化镁晶片带有腔体的一面。由此，能够提高密封体的密封性能，且能够利用氧化镁的优良力学性能和动力学特性使其能够很好地适应高温高压下的工作环境。
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公开(公告)号：CN113340491B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202110769703.0
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN113884114B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202111307197.X
申请日：2021-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明描述一种用于获得相位变化参数的解调系统，是一种通过光纤法珀传感器获得相位变化参数的解调系统，包括：发射模块、光纤法珀传感器、分光模块、滤光模块、接收模块和处理模块，其中，发射模块用于发射具有预设波长范围的光束，光纤法珀传感器接收光束并形成反射光束，分光模块设置于发射模块和光纤法珀传感器之间，滤光模块用于获得第一光束，第二光束和第三光束，滤光模块具有宽带滤光器，接收模块用于接收第一光束、第二光束和第三光束并分别转换成第一信号、第二信号和第三信号，处理模块用于计算光纤法珀传感器的相位变化参数。由此，能够获得一种具有高可靠性和高鲁棒性的基于光纤法珀传感器来测量参数的解调系统和解调方法。
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公开(公告)号：CN113884114A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111307197.X
申请日：2021-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明描述一种用于获得相位变化参数的解调系统，是一种通过光纤法珀传感器获得相位变化参数的解调系统，包括：发射模块、光纤法珀传感器、分光模块、滤光模块、接收模块和处理模块，其中，发射模块用于发射具有预设波长范围的光束，光纤法珀传感器接收光束并形成反射光束，分光模块设置于发射模块和光纤法珀传感器之间，滤光模块用于获得第一光束，第二光束和第三光束，滤光模块具有宽带滤光器，接收模块用于接收第一光束、第二光束和第三光束并分别转换成第一信号、第二信号和第三信号，处理模块用于计算光纤法珀传感器的相位变化参数。由此，能够获得一种具有高可靠性和高鲁棒性的基于光纤法珀传感器来测量参数的解调系统和解调方法。
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公开(公告)号：CN104482984B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201410763223.3
申请日：2014-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01F23/00
Abstract: 本发明涉及一种基于POF光纤宏弯的液位传感器，是用一根POF裸光纤折弯制作的顶部宏弯弯曲半径为2.5mm单宏弯光纤环形结构，以其顶部宏弯部分作为探头，POF裸光纤两个末端有光纤接头；用于封装该单宏弯光纤环形结构的固定结构，探头从该固定结构顶部露出。本发明采用单宏弯光纤环型结构设计，单纯利用光纤宏弯增强CMFTIR效应，实现了区分度1.06dB，满足液位测量需求。且无需双光纤耦合，因此简化了工艺难度，结构也更加紧凑，适宜于在狭窄空间内使用。同时SMBFL结构液体沾粘度低，极大的降低初浴“误差”；SMBFL直接探测功率较强的明场信号，满足长距离传输的需求。
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