-
公开(公告)号：CN1670624A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510055418.3
申请日：2005-03-17
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/004 , G02F1/136 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物，为了对薄膜晶体管液晶显示装置的透明导电膜(ITO膜)进行选择性地蚀刻，所用的蚀刻组合物中含有盐酸、醋酸、添加剂及超纯水，它们随时间的变化小，将对于其他的配线的影响最小化，从而实现了对薄膜的稳定蚀刻，且蚀刻速度快，减轻了侧蚀。
Search Results
21
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
