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公开(公告)号：CN105024114A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510455038.2
申请日：2015-07-30
Applicant: 东南大学
IPC: H01P1/10
Abstract: 本发明提供了一种基于微带线阻抗转换原理的外力驱动开关，包括衬底、设置在所述衬底上的微带线（4）、设置在所述微带线（4）侧面的1/4波长开路短截线；所述1/4波长开路短截线一端连接可动金属片；所述可动金属片压下时，所述可动金属片与所述微带线（4）连通，开关处于工作状态；所述可动金属片弹起时，所述可动金属片与所述微带线（4）断开，开关处于不工作状态。本发明的开关由外力驱动实现1/4波长开路短截线的接入传输线利用1/4波长阻抗转换原理达到接入点的短路实现关断微波信号的作用，同时使同轴线接入信号引出点，微波信号可以从同轴线处引出用于信号测量，大大降低了在一般微波系统中信号引出的困难，增强了系统的可测试性。
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公开(公告)号：CN102637934B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210133572.8
申请日：2012-05-03
Applicant: 东南大学
Inventor： 韩磊
Abstract: 本发明提供了一种微波均衡器，该均衡器包括衬底，设置在衬底上的共面波导（1）、第一吸收电阻（21）、第二吸收电阻（22）、第一传输线枝节（31）、第二传输线枝节（32）和第一微机械开关（41）、第二微机械开关（42）；其中共面波导（1）包括共面波导信号线（11）和关于共面波导信号线（11）对称设置的第一共面波导地线（1a）和第二共面波导地线（1b）。该结构利用微机械开关的通断达到对微波均衡器传输线枝节长度控制的目的，从而实现不同均衡曲线之间的转换，即实现均衡器结构的可重构。
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公开(公告)号：CN103743947A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410009225.3
申请日：2014-01-08
Applicant: 东南大学
Inventor： 韩磊
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS结构的线性电容式微波功率传感器，包括衬底、在衬底上依次排列设置的悬臂梁锚区、微带线、传感电极，以及设置在微带线上方的不规则形状悬臂梁，悬臂梁的一端与悬臂梁锚区连接，另一端对应悬空在感应电极的上方。本发明利用悬空于微带线上方的悬臂梁感应微波功率并产生弯曲，通过悬臂梁与感应电极接触形成的电容大小实现微波功率的测量。同时，本发明通过采用不规则的悬臂梁形状以及悬臂梁的自由端与感应电极之间接触的“拉链式”运动，实现接触电容值与微波功率之间线性化的输出。本发明实现了线性化输出，降低了对后续处理电路和标定测试要求，拓展了传感器的应用范围。
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公开(公告)号：CN102324344B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110139906.8
申请日：2011-05-27
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种带有可双向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件；共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和菱形细长梁；驱动部件包括四组梳齿结构、中心锚区和侧锚区；在每组梳齿结构中，第一固定梳齿单元的固定梳齿、移动梳齿单元中的移动梳齿、第二固定梳齿单元的固定梳齿顺序重复分布；移动梳齿单元的移动可以使菱形细长梁上端部和上端口贴合、下端部和下端口贴合、左端部和左地线分离、右端部和右地线分离，或者使菱形细长梁的上端部和上端口分离、下端部和下端口分离、左端部和左地线贴合、右端部和右地线贴合。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。
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公开(公告)号：CN103234489A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310129527.X
申请日：2013-04-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01B13/06
Abstract: 本发明涉及一种用于路面状态检测传感器水膜厚度的标定系统及方法，该系统包括水槽，用于安装待标定路面状态检测传感器和连接其它装置；差压变送器，用于验证水槽中液体的厚度；两个流量计，用于计量流入和流出水槽中液体的体积；两个电磁阀，用于控制管道中液体的流通和关断；两个增压泵，用于给管道中的液体增压；控制电路板，用于驱动电磁阀，以及与上位机系统进行通信；上位机系统，用于人机交互，接收差压变送器和待标定传感器的数据，并发送指令给控制电路板。本发明的路面状态检测传感器水膜厚度的标定系统具有良好精度和稳定性，提高标定过程效率和标定结果的准确度，并且能够实现路面状态检测传感器从依靠人工标定到自动化标定的转变。
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公开(公告)号：CN102243941B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201110088093.4
申请日：2011-04-08
Applicant: 东南大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种具有低驱动电压的射频微机械系统电容式并联开关，采用悬臂梁结构，在介质基板（1）的上面为共面波导传输线（2），位于中间的共面波导传输线（2）上是介质层（3），悬臂梁（4）的一端与位于一侧的共面波导传输线的地线（21）连接，将悬臂梁（4）的悬臂端用导电胶粘在传输线的地线（21）上，梁的悬臂端与传输线粘在一起，以此减小悬臂梁和信号线的间距，从而减小了开关的驱动电压；这种结构还可以减小工艺中的温度效应对梁的残余应力的影响，提高开关的可靠性。
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公开(公告)号：CN102645186A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210143023.9
申请日：2012-05-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01B15/02
Abstract: 本发明公开一种基于双线性插值算法的水膜厚度检测传感器实现方法，该方法包括以下步骤：步骤a、测量不同温度Tk下不同水膜厚度Hi对应的幅度值Aik和相位值Pik,其中k={1,2,…,n}；i={1,2,…,m}，m代表选取水膜厚度值的个数，水膜厚度Hi值根据水膜厚度测量精度选择；步骤b、测量当前温度T0，对温度分段线性插值，得到当前温度下的幅度值Am0和相位值Pm0，其中T0∈[T1,Tn]。通过本发明的水膜厚度检测传感器的双线性插值算法减少了标定数据的采集量，提高了标定效率，加快了计算速度，改善了测量分辨率，降低了温漂现象，使得水膜厚度检测传感器的性能有了显著提高。
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公开(公告)号：CN102637934A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210133572.8
申请日：2012-05-03
Applicant: 东南大学
Inventor： 韩磊
Abstract: 本发明提供了一种微波均衡器，该均衡器包括衬底，设置在衬底上的共面波导（1）、第一吸收电阻（21）、第二吸收电阻（22）、第一传输线枝节（31）、第二传输线枝节（32）和第一微机械开关（41）、第二微机械开关（42）；其中共面波导（1）包括共面波导信号线（11）和关于共面波导信号线（11）对称设置的第一共面波导地线（1a）和第二共面波导地线（1b）。该结构利用微机械开关的通断达到对微波均衡器传输线枝节长度控制的目的，从而实现不同均衡曲线之间的转换，即实现均衡器结构的可重构。
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公开(公告)号：CN102064041A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010591238.8
申请日：2010-12-16
Applicant: 东南大学
IPC: H01H36/00
Abstract: 本发明公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关，低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜，其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖，两排金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔，使两排金属微尖处于悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可以获得较低的开关阈值电压。
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公开(公告)号：CN1885047B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200610085330.0
申请日：2006-06-09
Applicant: 东南大学
Abstract: 压阻式微波功率传感器是利用终端电阻吸收微波功率发热产生薄膜应力，以压敏电阻的方式测得输入微波功率的结构，该传感器以Si衬底(1)为衬底，Si3N4/SiO2层(9)设在Si衬底的底部，在Si衬底上设有SiO2绝缘层(2)，SiO2绝缘层(2)与腐蚀Si衬底上的硅膜(11)构成双层膜(8)结构，在双层膜(8)结构上设有共面波导(3)，在共面波导的终端设有匹配电阻(4)，在双层膜结构的边缘设有四个沿 方向的压敏电阻(6)，压敏电阻通过接触金属(10)由金属导线(5)构成惠斯登电桥，惠斯登电桥的四个引线端分别与压焊块(7)相接。该结构由放置在双层膜的边缘的压敏电阻测量膜的应力变化，得到输入微波功率的大小。
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