电感悬臂梁无线无源湿度传感器

    公开(公告)号:CN107727696A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201710886337.0

    申请日:2017-09-27

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N27/02

    Abstract: 本发明是一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接,所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方;所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明具有体积小、功耗低和可批量生产的优点,利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率,传感器的回滞更小、重复性更好,无需引线和电池供电,能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行湿度测量。

    一种基于雷达散射截面探测的无源无线湿度传感器

    公开(公告)号:CN107121444A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710192633.0

    申请日:2017-03-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01N22/04

    Abstract: 本发明公开了一种基于雷达散射截面探测的无源无线湿度传感器,包括介质基板(3),印刷在基板表面的折线形金属谐振器(2),以及涂覆于谐振器(2)表面的湿度敏感材料(1)。当环境湿度发生变化时,谐振器的谐振频率发生剧烈变化,传感器的雷达散射截面随之发生改变。本发明利用雷达散射截面变化来探测传感数据,具有传输距离远、结构简单、成本低廉的优点。

    一种监控和缓解癫痫症状的装置

    公开(公告)号:CN106308755A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201610927050.3

    申请日:2016-10-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种监控和缓解癫痫症状的装置,该装置用于植入生物体内,包括传感器、运算放大器(9)、ADC转换器(8)、MCU处理器(7)、无线收发电路(16)、DAC转换器(13)、驱动电路生物体内植入该装置,能够实现颅内参数实时的无源无线测量和监控,及时缓解癫痫症状;外部主系统与该装置之间采用无源无线方式来传输能量与数据,方便可靠,不会受到生物体移动的影响,使用寿命不受电池的影响,体积小,功耗低,易于推广使用。(14)、热电冷却器驱动器(15)、天线(17);通过在

    一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器

    公开(公告)号:CN103487474B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310461445.5

    申请日:2013-09-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器,该传感器包括衬底(1),覆盖有感湿介质(2)的叉指正电极(1?2);其中,衬底(1)位于检测电容的底部,起基座作用,感湿介质(2)覆盖在叉指正电极(1?2)、叉指负电极(1?3)的表面,叉指负电极(1?3)与衬底(1)之间设有空腔(1?5),感湿介质(2)与叉指电极(1?2)、(1?3)之间的空气层(3)构成检测电容的感湿结构;所述检测电容呈叉指悬臂梁结构。本发明提供的电容式湿度传感器具有灵敏度高,响应快,结构简单,加工方便,寄生电容小等优点。

    一种无源无线微机械开关阵列控制系统

    公开(公告)号:CN105488987A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201610035681.4

    申请日:2016-01-19

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G08C17/02

    Abstract: 本发明公开了一种无源无线微机械开关阵列控制系统,包括信号源(1)、发射线圈(2)、无源无线微机械开关阵列单元(4);信号源(1)串联发射线圈(2),发射线圈(2)与无源无线微机械开关阵列单元(4)近场耦合;其中,无源无线微机械开关阵列单元(4)包括若干阵列排列的无源无线微机械开关单元(3)。无源无线微机械开关单元(3)的阵列中每个开关单元的谐振频率都设计成各不相同。因此,无源无线微机械开关单元(3)的阵列中,每个开关单元的通断都是通过信号源的特定输出频率进行控制。

    一种电容式温度传感器
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103471740A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310462930.4

    申请日:2013-09-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种电容式温度传感器,该传感器包括衬底(1)、感温介质(2)、钝化层(3)、中间叉指电极(1-3)、边叉指电极(1-2)构成的检测电容;所述的检测电容具有高深宽比的叉指结构,其中,衬底(1)位于检测电容的底部,起基座作用,中间叉指电极(1-3)与衬底之间设有感温介质(2),边叉指电极(1-2)处于所述检测电容的外部的四周,在中间叉指电极(1-3)的周边、边叉指电极(1-2)的内表面上表面设有钝化层(3);感温介质(2)处于中间叉指电极(1-3)之间、边叉指电极(1-2)与中间叉指电极(1-3)之间、以及中间叉指电极(1-3)与衬底(1)之间的空腔(4)之中。该电容式温度传感器具有灵敏度高,结构简单,加工方便,感温结构新颖等优点。

    电容式微机械风速风向传感器

    公开(公告)号:CN103439527A

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201310390353.2

    申请日:2013-09-02

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种电容式微机械风速风向传感器,包括衬底、锚区、四个弹簧结构,以及四个测风电容。锚区和四个测风电容分别设置在衬底的表面,四个测风电容分别为结构相同的上测风电容、下测风电容、左测风电容,以及右测风电容,并且四个测风电容分别分布在锚区的上下左右四个方向。其中,四个测风电容分别由一组弧形可动电极和弧形固定电极组成,上测风电容的弧形可动电极内凹面朝右,右测风电容的弧形可动电极内凹面朝下,下测风电容的弧形可动电极内凹面朝左,左测风电容的弧形可动电极内凹面朝上;四个测风电容分别通过一个弹簧结构连接到所述锚区。本发明能够降低微机械风速风向传感器的功耗的同时提高微机械风速风向传感器的响应速度。

    基于SOI片衬底硅阳极键合的电容式温度、湿度、气压和加速度传感器集成制造方法

    公开(公告)号:CN103434999A

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201310392119.3

    申请日:2013-09-02

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于SOI片衬底硅阳极键合的电容式温度、湿度、气压和加速度传感器集成制造方法,该方法利用分步深硅刻蚀技术和SOI片衬底硅与玻璃阳极键合技术相结合,同时制备了薄膜结构、高深宽比电容结构和密封腔体结构,通过深硅刻蚀、RIE刻蚀、干法刻蚀等腐蚀技术以及离子注入等手段得到电容式温度、湿度、气压和加速度传感器相应结构,再经过SOI片衬底硅与玻璃进行阳极键合,最终通过刻蚀实现全电容敏感的温度、湿度、气压和加速度传感器的集成制造,实现了低功耗集成多传感器集成结构。

    常关态场发射型射频微机械开关

    公开(公告)号:CN102064041B

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201010591238.8

    申请日:2010-12-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关,低损耗衬底,绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线,信号线有两根,设在低损耗衬底中部,纵向位于同一条直线上,地线也有两根,分别位于信号线的左右两侧,地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜,其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖,两排金属微尖之间有间隔;低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔,使两排金属微尖处于悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关,因此它的隔离度高;而其无可动结构的通断方式类似半导体开关,因此它的可靠性高且响应速度快;且通过采用尖对尖结构,可以获得较低的开关阈值电压。

    配电系统中多换流器式统一电能质量调节装置

    公开(公告)号:CN102097793A

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN201010615313.X

    申请日:2010-12-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供一种配电系统中多换流器式统一电能质量调节装置,主要包括限流电感、变压器和连接电感;根据三相配电线路的负载为非线性整流或电阻型的不同情况,装置分别包括2个并联型电压源换流器、1个串联型电压源换流器;限流电感分别并联有固态开关,用于装置在不同运行模式间进行切换;本发明集故障限流器、动态电压恢复器和有源电力滤波器于一体,依靠串联换流器限制短路电流和补偿电压跌落,依靠并联换流器抑制电流谐波;本发明作为故障限流器运行时,不消耗有功功率,具备节能优点;既能满足不同负载对供电电压需求,又能有效防止非线性负载污染系统,在提高电能质量的同时,降低线路短路电流水平,为网络互联打下基础。

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