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公开(公告)号：CN112858720A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110162154.0
申请日：2021-02-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种基于隧穿式磁电阻阵列的差动式MEMS加速度计，包括下层的磁场发生与检测部分、上层的磁场调制部分以及两部分所在的安装框架，所述磁场发生与检测部分包括励磁线圈、隧穿式磁电阻和磁场聚集器，能够产生恒强磁场并检测该磁场受调制器影响的变化；所述上层的磁场调制部分主体为质量‑挠性结构，质量块下表面设置磁场调节器，能够调制磁场。另外，本发明的加速度计还有差动检测结构，能够提高灵敏度、降低温度噪声。本发明是一种加速度‑磁场强度‑电阻的信号转化方式，充分利用隧穿式磁电阻的高变化率特性提高加速度检测效率，同时在工艺上采用集成方法，在精度、体积方面具有不可比拟的优点，可广泛应用于高精度惯性导航和军工领域。
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公开(公告)号：CN108169051A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711473084.0
申请日：2017-12-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种多参数在线检测的石英晶体微天平系统，包括正面含有电极的石英晶体微天平，天平背面中间为参考感应层金薄膜，左边为检测介电常数的感应层金圆环，右边在为在微天平背面覆盖的金薄膜上方电镀的凸台阵列，为检测粘度和密度的感应层；中心开设有进样口和出样口的上封盖；中心开设有凹槽的中间层；位于上封盖和中间层之间的密封垫片；开设有与中间层电极通孔相对应通孔的下封盖。上、下封盖、中间层以及密封垫片组成了流通池结构，使待测物能同时流经石英晶体微天平的三个不同感应层，避免了液相环境不同引起的干扰。与现有技术相比，本发明在线检测待测物的多个参数，具有实时性强、检测灵敏度高、可靠性强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108152534A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201711435362.3
申请日：2017-12-26
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/09 , G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种具有自检功能的石英振梁加速度计及其制作与自检方法，其中，加速度计包括石英振梁、质量-挠性结构和安装框，其中，质量-挠性结构包括活动连接的质量块和底座，质量块的上方和/或下方设极板，该极板的两端与安装框连接，极板中部与质量块之间存在间距，同时，极板中部和质量块相对的各自表面设有导电薄膜。本发明的加速度计增加了自检功能，能够及时发现加速度计的缺陷和故障，从而大大提高石英振梁加速度计的可靠性；同时本发明制作工艺在成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点，可广泛应用于高精度惯性导航和军工领域。
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公开(公告)号：CN103116037B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310020857.5
申请日：2013-01-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , B81C1/00 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种石英振梁加速度计及其制作方法，该石英振梁加速度计包括石英振梁和质量-挠性结构，其中，质量-挠性结构包括通过挠性铰链相连的底座和质量块，在石英振梁两端、底座和质量块上各设焊盘，对应位置的焊盘之间通过金属合金键合装配，同时在与底座相对应的焊盘上连接激励电极；本发明的制作方法包括光刻技术、湿法腐蚀的微加工技术制作以及回流焊工艺。本发明的优点在于石英振梁加速度计具有加工精度高，焊盘位置、尺寸对应关系好，同时装配精度高、重复性好、装配工艺简单。
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公开(公告)号：CN103558112A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310580821.2
申请日：2013-11-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置，包括中间层、密封垫片、封盖和石英晶片；中间层中心设有中间层凹槽，中间层凹槽底端设有左探头通孔和右探头通口；封盖上设有进样口和出样口；石英晶片位于中间层凹槽内，且在石英晶片底端中心设有一个开口向下的石英晶片凹槽；石英晶片凹槽底端分别设有左电极和右电极；密封垫片位于封盖和中间层之间；左电极由左弹簧针探头穿过左探头通孔引出，右电极由右弹簧针探头穿过右探头通孔引出。本发明流通池结构，具有方便装卸、可重复利用、结构简单以及性能稳定等优点，实现了对石英晶体微天平的高频小型化，提高了其质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测，且所需待检测物的最小样品量小。
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公开(公告)号：CN103471950A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310441786.6
申请日：2013-09-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01N5/00
Abstract: 本发明公开了一种多通道石英晶体微天平检测装置，包括上针探头、下针探头、底座、石英晶片、硅胶垫片和封盖，底座上表面设有底座凹槽，底座凹槽内嵌有石英晶片，石英晶片下表面设有开口向下多个石英晶片凹槽，在石英晶片下表面镀有一层下电极，在每个石英晶片凹槽的背面对应位置引向边缘处镀有上电极，硅胶垫片设置在底座上，在硅胶垫片上与石英晶片凹槽对应位置开有上下贯通的中心长通孔，封盖位于硅胶垫片上；在封盖上分别开设进样通道和出样通道，上针探头穿过封盖和硅胶垫片与上电极连接，下针探头穿过底座与下电极连接。本发明可以同时检测出多种待测物中的不同成分，且提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN103048210A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310009784.X
申请日：2013-01-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01N5/00
Abstract: 本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置，包括底座、封盖、硅胶垫片和石英晶片；石英晶片位于底座凹槽内，其底端中心加工有上下两面分别设有上电极和下电极的石英晶片凹槽；硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连，且石英晶片凹槽左右两端与硅胶垫片相连；进样口和出样口均与中心长通孔相连通；上电极由上弹簧针探头依次穿过第三硅胶通孔和上探头通孔引出，下电极由下弹簧针探头穿过下探头通孔引出。本发明提供了一种石英晶体微天平检测装置，该装置中的流通池可以重复利用，结构简单，且性能稳定，还实现了对石英晶体微天平的高频小型化，提高了其质量-频率灵敏度，可以完成对小分子或痕量物质的检测，且所需待检测物的最小样品量小。
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