公开(公告)号：CN100342519C

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200480001008.4

申请日：2004-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  石泽繁 ,  新藤健弘 ,  广木勤 ,  町山弥

IPC: H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B25J13/08 ,  B65G49/07

Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。

公开(公告)号：CN1701432A

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN200480001008.4

申请日：2004-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  石泽繁 ,  新藤健弘 ,  广木勤 ,  町山弥

IPC: H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B25J13/08 ,  B65G49/07

Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。

公开(公告)号：CN303149323S

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201430345019.0

申请日：2014-09-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 森崎英介 ,  町山弥 ,  小林洋克 ,  原岛正幸 ,  佐野志生

Abstract: 1．本外观设计的产品名称：半导体制造用晶片保持器。2．本外观设计产品的用途：是在半导体制造过程中，通过感应加热方式，在晶片上形成半导体薄膜时使用的晶片保持器。3．本外观设计的设计要点：产品的形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：设计1立体图。5．指定设计1为四个相似外观设计的基本设计。

公开(公告)号：CN3513510D

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200430110100.7

申请日：2004-11-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 广木勤 ,  町山弥 ,  新藤健弘