公开(公告)号：CN101438384B

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200780016476.2

申请日：2007-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 猪川匠 ,  小山典昭

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418 ,  G05B23/02 ,  G06Q50/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/66

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/31331 ,  G05B2219/31432 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/45031 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

Abstract: 以往，无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置，可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表，该服务器装置保存有多个测定信息，该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和时刻信息的信息，其具备：指示接收部，接收包括产品晶片片数的图表的输出指示；异常检测部，在指示接收部接收到输出指示的情况下，读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息；输出信息构成部，构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息；输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。

公开(公告)号：CN101438384A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200780016476.2

申请日：2007-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 猪川匠 ,  小山典昭

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418 ,  G05B23/02 ,  G06Q50/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/66

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/31331 ,  G05B2219/31432 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/45031 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22

Abstract: 以往，无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置，可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表，该服务器装置保存有多个测定信息，该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和时刻信息的信息，其具备：指示接收部，接收包括产品晶片片数的图表的输出指示；异常检测部，在指示接收部接收到输出指示的情况下，读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息；输出信息构成部，构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息；输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。