公开(公告)号：CN102914945B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201110222156.0

申请日：2011-08-04

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 孙智超 ,  罗闻 ,  张曦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种分布式曝光剂量控制系统，包括激光器单元，可变衰减器，光路传输单元，光路引导单元及能量传感器，该激光器单元产生一激光脉冲经过该可变衰减器、光路传输单元及光路引导单元后由该能量传感器测量实际接收的激光脉冲，其特征在于，该激光器单元，可变衰减器，光路传输单元，光路引导单元及能量传感器分别采用独立校正模型获得不同单元的补偿因子，将该实际接收的激光脉冲和相关参数根据该不同单元的校准因子进行前馈补偿后获得一脉冲能量值，对该脉冲能量值通过一统一补偿控制单元输出后进行反馈补偿以获得最佳曝光剂量。

公开(公告)号：CN102914945A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201110222156.0

申请日：2011-08-04

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 孙智超 ,  罗闻 ,  张曦

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种分布式曝光剂量控制系统，包括激光器单元，可变衰减器，光路传输单元，光路引导单元及能量传感器，该激光器单元产生一激光脉冲经过该可变衰减器、光路传输单元及光路引导单元后由该能量传感器测量实际接收的激光脉冲，其特征在于，该激光器单元，可变衰减器，光路传输单元，光路引导单元及能量传感器分别采用独立校正模型获得不同单元的补偿因子，将该实际接收的激光脉冲和相关参数根据该不同单元的校准因子进行前馈补偿后获得一脉冲能量值，对该脉冲能量值通过一统一补偿控制单元输出后进行反馈补偿以获得最佳曝光剂量。

公开(公告)号：CN101566801A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200910052185.X

申请日：2009-05-27

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 江潮 ,  徐文 ,  罗闻

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种防止镜片碰撞的方法及装置，通过判断镜片的运动方向，合理安排镜片的运动顺序，从而达到防止镜片发生碰撞的效果。另外，所述防止镜片碰撞的装置还可增设探测模块来加以保障，结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁，同时能够降低维护和修理成本。

公开(公告)号：CN101510184A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200910047574.3

申请日：2009-03-13

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 孙智超 ,  罗闻 ,  徐文

IPC: G06F13/38 ,  G06F13/42

Abstract: 本发明提出一种多通道串口通讯系统及其控制方法。多通道串口通讯系统包括控制寄存器、主控制器以及多个串口收发模块。其中，控制寄存器用于设定多个串口收发模块的参数。主控制器耦接控制寄存器，用于控制多个串口收发模块，以发送和接收串行数据。多个串口收发模块，分别耦接主控制器。应用此多通道串口通讯系统及其控制方法可以通过控制寄存器对串口波特率、停止位、数据帧结束标志进行配置，通过适配芯片灵活对串口的属性进行配置，根据系统资源扩展通道的数量。

公开(公告)号：CN101510054A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200910047214.3

申请日：2009-03-06

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 孙智超 ,  罗闻 ,  徐文

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种用于光刻设备的曝光控制系统及控制方法，所述曝光控制系统包括：主控单元；曝光系统控制单元，与所述主控单元电性连接；以及分控制模块，与所述曝光系统控制单元电性连接；所述曝光系统控制单元包括照明与投影物镜控制板以及与所述照明与投影物镜控制板电性连接的照明与传感器板，所述照明与投影物镜控制板接收所述主控单元下达的指令，通过所述照明与传感器板将所述指令传输至所述分控制模块，并通过所述照明与传感器板向所述主控单元反馈所述分控制模块动作执行情况的报告。所述控制系统结构紧凑、层次清晰、维护性强，减小了曝光控制系统实现的复杂程度。

公开(公告)号：CN201436605U

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：CN200920073090.1

申请日：2009-05-27

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 江潮 ,  徐文 ,  罗闻

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/00

Abstract: 本实用新型提供了一种防止镜片碰撞的装置，通过安装在可移动镜片上的探测模块探测镜片间的距离，并根据探测结果，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。