公开(公告)号：CN109725495A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201711046800.7

申请日：2017-10-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  张志钢 ,  李志龙 ,  管博然

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。

公开(公告)号：CN209146034U

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201822010773.4

申请日：2018-11-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然

IPC: F15B15/14 ,  F15B15/28 ,  F15B15/20

Abstract: 本实用新型提供了一种气缸装置，所述气缸装置包括气缸基体单元、活塞单元、驱动单元和位置探测单元；所述活塞单元包括活塞杆和活塞；所述驱动单元包括气缸驱动力气路；其中，所述位置探测单元设于所述缸筒内，故不必增加活塞杆的长度以留出空间设置所述位置探测单元，因此，极大的压缩了整体尺寸，使得所述气缸装置可以满足苛刻工况要求。

公开(公告)号：CN209146033U

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201822002998.5

申请日：2018-11-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然

IPC: F15B15/14 ,  F15B15/20 ,  F15B15/22 ,  F15B15/28

Abstract: 本实用新型提供了一种气缸装置，所述气缸装置包括气缸基本单元、活塞单元和驱动单元；其中，所述气缸基本单元包括颗粒抽排室，所述活塞单元包括活塞和活塞杆，所述驱动单元包括气缸驱动力气路和颗粒抽排气路，所述颗粒抽排气路和所述颗粒抽排室连通；所述活塞杆在所述活塞的带动下沿缸体的轴向运动的过程中始终经过所述颗粒抽排室，因此所述活塞杆运动所产生的颗粒污染物会在所述颗粒抽排气路的作用下排出气缸基本单元外，如此便解决了气缸运动产生的颗粒污染的问题。另外，所述气缸装置具有结构紧湊的特点，在满足洁净度的情况下，整体体积较小，属于超小型洁净气缸的范畴。