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公开(公告)号：CN111045300A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911113066.0
申请日：2019-11-14
Applicant: 上海交通大学
IPC: G03F7/42 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种等离子体刻蚀配合湿法辅助去除SU-8负性光刻胶的方法；包括：采用等离子体去胶工艺，通入O2/CF4混合气体去除基片上的SU-8负性光刻胶；采用湿法工艺，将经过等离子体去胶工艺的基片放入丙酮、乙醇中浸泡后并一同放入超声设备中超声处理，清洗，氮气吹干。本发明的方法可实现硅基底、非晶无机非金属材料、电镀金属结构等材料上SU-8负性光刻胶的有效去除。通过确定最优刻蚀工艺参数有效地解决现阶段SU-8负性光刻胶去胶难的问题，而且不会对基底材料和通过沉积、溅射和电镀等工艺制作的微结构产生损伤，从而可以广泛地应用在制作高深宽比模具、微流体、微光学等MEMS结构器件、生物医学和芯片封装等领域。
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公开(公告)号：CN102600503B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201210050282.7
申请日：2012-02-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种金纳米材料复合的组织工程支架材料的制备方法，第一步，将高分子材料在一定温度下加入溶剂中配制成溶液或溶胶；第二步，将步骤1制得的高分子溶液或溶胶与金纳米材料按一定比例混合，搅拌均匀并超声获得均匀的分散液；第三步，将步骤2制得的分散液采用静电纺丝、浇铸或冷冻交联法制成金纳米材料复合的组织工程支架材料。本发明利用金纳米材料的表面特性及物理化学特性，提高组织工程支架的刚性和导电性，改善组织工程支架表面的结构特性，提高细胞在支架材料表面的粘附性以及支架材料与组织间的粘附性和相容性，从而有利于促进细胞的生长和生物组织的修复。
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公开(公告)号：CN102544516A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210039290.1
申请日：2012-02-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯包覆磷酸铁锂的制备方法，将一定配比的石墨烯或氧化石墨烯分散于水溶液中，通过超声使其充分均匀分散，在搅拌并且通惰性气体的条件下分别按顺序加入一定配比磷酸铁锂的前驱体原材料，回流后洗涤并干燥得到氧化石墨烯或石墨烯包覆的磷酸铁锂材料，在含5v/v％H2的Ar混合气体氛围中高温退火最终获得石墨烯包覆的磷酸铁锂材料。与现有技术相比，本发明能够大大提高电子导电能力，为锂离子二次电池的应用提供了一种加工工艺简单、成本低廉、容量高且安全的锂离子二次电池正极材料。
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公开(公告)号：CN1309027C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200410054208.8
申请日：2004-09-02
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/308 , H01L21/32 , H01L21/467 , H01L21/475 , C23F1/02
Abstract: 一种基于纳米材料排布的纳米刻蚀方法，用于电子器件制造领域。本发明包括如下步骤：a.将单分散的无机纳米材料均匀排布在基底表面，形成纳米点、纳米线、纳米网状图形排列；b.以上述纳米阵列和图形作为掩膜，采用反应离子刻蚀或离子束刻蚀工艺，进行纳米图形和阵列的刻蚀，在基底表面形成纳米阵列图案；c.去除表面的纳米材料，获得纳米图形和阵列。本发明所采用的刻蚀工艺与传统工艺兼容，同时在刻蚀过程中以制备好的纳米材料作为掩膜，扩大了所能刻蚀的基底材料种类，而且使刻蚀工艺简化、图形方便可调，易于控制，本发明方法具有简单易行，效率高，表面的图形可控等特点，所制得的图形缺陷少，该方法适用范围广，便于推广和应用。
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公开(公告)号：CN1896247A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610026777.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 上海交通大学医学院
Abstract: 本发明涉及一种成纤维细胞特异性非病毒载体及其构建和该载体的应用，本发明将成纤维细胞特异表达的I型胶原蛋白启动子与增强子克隆至目的基因上游构建成成纤维细胞特异性的载体，用脂质体非病毒的方法转染成纤维细胞，利用成纤维细胞特有的调控I型胶原蛋白转录表达机制，增强外源基因在成纤维细胞中的表达，使得成纤维细胞成为较为理想的基因递送细胞，同时避免了病毒载体的不安全性和较高的免疫原性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1166725C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN02155019.0
申请日：2002-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法属于纳米技术领域。本发明的具体步骤为：将带有亲水和疏水基团的链状有机分子溶于挥发性非水溶剂中。将与带有亲水和疏水基团的链状有机分子结合的纳米颗粒分散于上述溶液中。以纯水为底液，将上述含有纳米颗粒的非水溶液铺展在Langmuir槽中，控制水表面纳米颗粒单分子薄膜的膜压。用垂直提拉法将薄膜转移到处理过的固态基底表面形成Y-型LB膜。所制备的纳米颗粒薄膜经过高温退火或高能光线照射，一些有机分子离解，并从衬底上蒸发，纳米颗粒保留在基底上。所提供的方法具有简单易行，转移效率高，薄膜表面的颗粒排布有序，尺寸和厚度方便可调等特点，所制得的薄膜缺陷少，该方法适用范围广，便于推广和应用。
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公开(公告)号：CN116425108A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310425298.X
申请日：2023-04-17
Applicant: 上海交大平湖智能光电研究院 , 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种悬浮膜的制备方法及悬浮膜，所述方法包括光刻胶旋涂步骤：在干净平整的基底上旋涂光刻胶；铜网放置步骤：将透射电镜用铜网放置在光刻胶表面，静置一段时间；固化步骤：将铜网、光刻胶、基底放在热板上在一定温度下固化；薄膜溅射步骤：将固化后的铜网、光刻胶、基底表面溅射一定厚度的薄膜；悬浮膜获取步骤：将得到的薄膜、铜网、光刻胶、基底放在光刻胶去胶液中，溶解光刻胶，获得悬浮膜。本发明解决现有方法工艺复杂、随机性强等问题，获得厚度可控的悬浮膜。采用将铜网作为支撑结构结合光刻胶的去除，解决了现有技术中悬浮膜随机捞取的问题；本方法流程简单，不需要进行干法及湿法刻蚀，适用于多种材料批量化悬浮膜的制备。
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公开(公告)号：CN106148792B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610680301.2
申请日：2016-08-17
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种高强度高Gd含量的变形镁合金及其制备方法，该镁合金包含如下各元素：Mg、Gd、Zn以及Y、Zr和Mn中的一种或多种。该制备方法包括如下步骤：制备高Gd含量的镁合金铸锭；将所述镁合金铸锭进行两步T4固溶处理后，在80～100℃下淬火，得到T4态镁合金铸锭；将所述T4钛镁合金铸锭进行异温挤压成形后，在15～30℃下淬火，得到棒材或板材；将所述棒材或板材在室温下进行冷轧制和冷拉拔变形后，进行人工时效，得到T10态变形镁合金，即所述的高强度高Gd含量的变形镁合金。本发明制备工艺简单，性能稳定，成功率高，生产效率高，易应用于工业生产。
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公开(公告)号：CN108986988A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810804984.7
申请日：2018-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01B13/00 , D06M11/83 , D06M11/74 , D06M13/513 , D06M11/46 , D06M101/30
Abstract: 本发明涉及一种纤维状能量采集器件及其制备方法，采用以下步骤：往中空管中浇注聚二甲基硅氧烷溶液，然后加热固化；将固化后的二甲基硅氧烷从管中取出，在二甲基硅氧烷表面均匀涂抹一层导电纳米材料作为电极，并从一端引出铜线；在获得的电极表面涂抹二甲基硅氧烷与压电纳米材料的混合液，然后加热固化；固化后在表面涂抹一层导电纳米材料作为外电极，并从另一端引出铜线；在外电极表面涂抹一层二甲基硅氧烷溶液，加热固化后得到纤维状能量采集器件。与现有技术相比，本方法操作简单、成本低廉、重复率好。可以在拉伸形变量为100％的情况下工作，性能优良。
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公开(公告)号：CN101632927A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910194644.8
申请日：2009-08-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种材料制造技术领域的银镁铝复合金属氧化物及其制备方法。该银镁铝复合金属氧化物，组分及含量为：镁原子的摩尔数为金属原子总摩尔数的18～80％，铝原子的摩尔数为金属原子总摩尔数的15～80％，银原子的摩尔数为金属原子总摩尔数的0.01～5％，氧原子摩尔数与金属原子总摩尔数的比值(1.05～1.39)∶1。制备所述氧化物的方法包括如下步骤：取镁盐，铝盐和银盐，溶于水中，得金属盐混合溶液；配制碱的水溶液，冷却，搅拌条件下将碱的水溶液滴入金属盐混合溶液中，加热之后保温；过滤，得固体物质，洗涤至洗液为中性，干燥固体物质，煅烧，即得复合金属氧化物材料。本发明操作简单，制备的氧化物成分和粒度可控，有利于提高材料在催化和吸附方面的性能。
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