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公开(公告)号：CN101170002A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710046150.6
申请日：2007-09-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的悬空结构射频微电感及其制作方法。所述悬空结构射频微电感中，金属螺旋型线圈与衬底间设有支撑体，支撑体一端与金属螺旋型线圈连接，支撑体另一端与衬底连接，在金属螺旋型线圈与引线连接处设有连接体，连接体两端分别与金属螺旋型线圈和引线相连接。工艺如下：衬底基片清洗处理、甩正胶、曝光与显影、刻蚀，制作双面套刻对准符号；淀积Ti/Cu/Ti底层；Ti氧化；甩正胶、曝光与显影，电镀，去胶；甩SU－8子胶，前烘、曝光、后烘、显影，电镀；溅射Ti/Cu底层；甩SU－8胶，前烘、曝光、后烘、显影，电镀；去除SU－8胶和底层。本发明微电感损耗大大降低，性能远远高于相同参数的硅基平面微电感，Q值大于45。
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