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公开(公告)号:CN101189059B
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200680019394.9
申请日:2006-06-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B01D53/0407 , B01D53/32 , B01D2253/108 , B01D2257/708 , B01D2259/40083 , B01D2259/41 , B01J20/186 , B01J20/28045 , B01J20/3007 , B01J20/3408 , B01J20/3441 , B01J23/38 , Y02A50/235
Abstract: 本发明提供的挥发性有机化合物处理装置,不产生大量有害的NOx,可有效地分解VOC,装置成本低廉。该处理装置具有吸附处理室、吸附体再生处理室、和移动机构。在上述吸附处理室中,吸附格框沿气体的流动方向叠层地配置,该吸附格框具有吸附挥发性有机化合物的吸附体。上述吸附体再生处理室中,设置着具有高压电极、接地电极和电介体的放电组件。上述移动机构,使位于气体上游的上述吸附格框移动到上述吸附体再生处理室,使上述吸附体再生处理室内的上述吸附格框,移动到气体的下游方向。
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公开(公告)号:CN101891156A
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN201010158288.7
申请日:2010-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/64 , C01B2201/76
Abstract: 一种使介电管的温度分布更均匀,从而能增大放电功率密度,并实现装置小型化或大容量化的臭氧产生装置,包括:2块管板,该2块管板是开有孔的导电金属板,并以规定的间隔设置从而将气密密闭容器的内部划分成3个空间;金属管,该金属管将所述2块管板的孔彼此连结;介电管,该介电管插入金属管内部,且外壁与金属管内壁隔有规定的间隙;以及设于介电管内部的金属电极,对金属管与金属电极之间施加交流电压,使流过间隙的含有氧气的原料气体放电而产生臭氧,在与管板相对的间隙部分设置放电抑制构件。
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公开(公告)号:CN100589675C
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:CN200480042632.9
申请日:2004-10-18
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H05H1/24 , H05H1/46 , C01B13/11 , H01L21/3065 , H01T23/00
CPC classification number: H01J37/32348 , C01B13/11 , C01B13/115 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/62 , C01B2201/64 , G09G3/2965 , H01J37/32009 , H05B41/2806 , H05H1/46 , Y02B20/22
Abstract: 本发明的目的是获得一种在最大额定条件下以功率因数尽可能高的条件进行驱动,即便在使投入功率变化的情况下也能够始终稳定地使之动作的等离子体发生用电源装置。本发明的等离子体发生用电源装置具有:被连接到交流电源(PS)的变压器(TR);被连接到变压器(TR)的整流器(RE);被连接到整流器(RE)的逆变器(IV);被串联插入到从逆变器(IV)供给电力的臭氧发生器(1)的功率线的电抗器(FL);以及控制逆变器(IV)的控制装置(CT)。控制装置(CT)用电流检测器(DT)来检测流入臭氧发生器(1)的电流,并进行控制以使臭氧发生器1的投入功率保持恒定。
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公开(公告)号:CN101189059A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200680019394.9
申请日:2006-06-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B01D53/0407 , B01D53/32 , B01D2253/108 , B01D2257/708 , B01D2259/40083 , B01D2259/41 , B01J20/186 , B01J20/28045 , B01J20/3007 , B01J20/3408 , B01J20/3441 , B01J23/38 , Y02A50/235
Abstract: 本发明提供的挥发性有机化合物处理装置,不产生大量有害的NOx,可有效地分解VOC,装置成本低廉。该处理装置具有吸附处理室、吸附体再生处理室、和移动机构。在上述吸附处理室中,吸附格框沿气体的流动方向叠层地配置,该吸附格框具有吸附挥发性有机化合物的吸附体。上述吸附体再生处理室中,设置着具有高压电极、接地电极和电介体的放电组件。上述移动机构,使位于气体上游的上述吸附格框移动到上述吸附体再生处理室,使上述吸附体再生处理室内的上述吸附格框,移动到气体的下游方向。
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公开(公告)号:CN101128964A
公开(公告)日:2008-02-20
申请号:CN200680006165.3
申请日:2006-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01T19/00 , C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/24 , C01B2201/32 , C01B2201/34 , C01B2201/60 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源,向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成,在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下,使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化,使得停止产生电弧放电。
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公开(公告)号:CN1724117A
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN200510081182.0
申请日:2005-06-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 本发明的VOC处理装置具备:与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体1C;以与该吸附剂1C的一部分接触的方式发生放电的多个电极对1A、1D;以及通过对该电极对1A、1D施加电压来控制在哪个电极对1A、1D中发生放电的放电控制机构3,其中,电极对1A、1D被分成多个组,放电控制机构3对电极对1A、1D的每个组施加电压,以使不同的吸附体1C的部分顺序地与放电接触。
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公开(公告)号:CN1491884A
公开(公告)日:2004-04-28
申请号:CN03140937.7
申请日:2003-05-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/70
Abstract: 本发明揭示一种为了得到无损臭氧发生性能下使放电领域增大的臭氧发生器,对平板状的第1电极7、与第1电极7的主面对向的平板状的第2电极3、以及具有设置于第1电极7与第2电极3间的平板状的感应体板5及形成放电领域的撑挡13的电极组件102进行多层积层,在第1电极7与第2电极3间迭加交流电压、在注入氧气的放电领域产生放电使臭氧气体发生,第1电极7,在与放电领域对向的电极面与侧部间形成将发生在放电领域的臭氧气体取出的臭氧气体通路8,将多个的臭氧气体通路分散地配置于第1电极的放电领域内,多个的臭氧气体通路8,经第1电极7的内部、使在各放电领域的各放电区间发生的臭氧气体集中取出。
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公开(公告)号:CN1122737A
公开(公告)日:1996-05-22
申请号:CN95115859.7
申请日:1995-08-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/083 , B23K26/066
Abstract: 一种即使在经受多次反射的准分子激光束的强度分度为不均匀时也能对工件进行光学处理的准分子激光束辐照装置。一图形掩模具有透光部分和反射层。与反射层相对,设置一个高反射率反射镜。该辐照装置还包括一个成像透镜、一个工件移动机构、一个掩模移动机构和一个控制单元。采用该装置可以按照图形掩模的图形,准确可靠地对工件进行均匀稳定的加工处理。
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公开(公告)号:CN110678953B
公开(公告)日:2022-10-28
申请号:CN201780091147.8
申请日:2017-05-31
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的臭氧产生装置构成为具备多个在电压施加电极和接地金属电极之间隔着电介质而具有放电间隙的放电管,含氧的气体流过放电间隙,并在电压施加电极和接地金属电极之间施加来自交流电源的交流电压,从而使含氧的气体放电进而成为臭氧化气体,该臭氧产生装置在从交流电源向多个放电管各自的电压施加电极供电的中途,连接有电流切断元件,该电流切断元件由在将因过电流流过而熔融的熔断器导体与中间导体的两侧分别连接而得的熔断部件的两侧分别连接有板状的固定电极,各自的固定电极的板面通过固定材料固定于电介质的基台表面而得。
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公开(公告)号:CN109564810B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN201680088241.3
申请日:2016-08-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01F27/08
Abstract: 一种向臭氧发生器提供电力的臭氧发生器用电源装置,构成为将变压器、逆变器以及电抗器设置在一个壳体的内部,在壳体内部的下方设置有由冷却水对通过的空气进行冷却的扁平形状的热交换器,在热交换器的上方配置有变压器以及逆变器,在变压器以及逆变器的上方设置有电抗器,在比变压器以及逆变器要靠壳体的正面侧、以与壳体的正面门隔着间隔地设置有保护用面板,利用设置于正面门内侧位置的风扇来使冷却风在壳体内进行循环。
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