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公开(公告)号:CN101236356A
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN200710006730.2
申请日:2007-02-02
Applicant: 三星电子株式会社 , 东进半导体化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045 , Y10S430/106 , Y10S430/114 , Y10S430/118
Abstract: 能够形成高清晰度图案的无需额外的加热处理的光致抗蚀剂组合物,其包含包括至少一种式1单元的10-70重量份的碱-可溶苯酚类聚合物、0.5-10重量份的光-酸产生剂、包括至少一种式2单元的5-50重量份的溶解抑制剂和10-90重量份的溶剂,其中上述组分的量是基于总共100重量份的碱-可溶苯酚类聚合物、光-酸产生剂、溶解抑制剂和溶剂,和其中式1和式2具有以上结构,其中R为甲基,其中R1、R2和R3相同或不同,并为氢或叔丁基乙烯醚保护基。
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公开(公告)号:CN1808273A
公开(公告)日:2006-07-26
申请号:CN200510121605.7
申请日:2005-12-16
CPC classification number: G03F7/0226 , C03C17/28 , C03C17/30 , C03C17/32 , G03F7/0048 , G03F7/2024
Abstract: 一种感光树脂组合物包括碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂。该溶剂包括包含具有1~5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3~8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1~6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。所述组合物可以用于制备具有均匀涂布的绝缘层的高质量显示面板。
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公开(公告)号:CN1800981A
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN200510137394.6
申请日:2005-12-23
CPC classification number: H01L21/0212 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/0226 , G03F7/0757 , H01L21/02126 , H01L21/02282 , H01L21/2855 , H01L21/3121 , H01L27/124 , H01L27/1248 , H01L27/14632
Abstract: 一种光敏树脂组合物,包括碱溶性树脂、醌二叠氮、表面活性剂和溶剂。该表面活性剂包括:具有结构1的有机氟化合物、具有结构2的第一硅树脂化合物、和具有结构3的第二硅树脂化合物。该树脂组合物可用在显示面板中。
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