半导体激光二极管及包含其的半导体激光二极管组件

    公开(公告)号:CN100421320C

    公开(公告)日:2008-09-24

    申请号:CN200310124342.6

    申请日:2003-12-30

    Inventor: 郭准燮 蔡秀熙

    CPC classification number: H01S5/0224 H01S5/0422 H01S5/0425 H01S5/22

    Abstract: 公开一种半导体激光二极管及包含其的半导体激光二极管组件,可以分散在将芯片倒装焊接至辅助底座时集中在脊波导上的应力。该激光二极管包括第一材料层、有源层、和第二材料层,其特征在于该半导体激光二极管包括:脊波导,其被形成为脊形并位于第二材料层的上方以定义出通道,使得第二材料层的顶部材料层被有限地暴露出来,和其中形成了经由通道与第二材料层的顶部材料层接触的第二电极层;和第一突起,其位于脊波导的一侧并且其高度不低于脊波导的高度,其中该脊波导的另一侧形成有该第一材料层的底部材料层的露出表面,并且在该露出表面与第二材料的顶部表面之间存在台阶高度,其中第二突起形成在该露出表面上并具有不低于该脊波导的高度。

    制造氮化镓半导体发光器件的方法

    公开(公告)号:CN100391013C

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200310116177.X

    申请日:2003-11-17

    Inventor: 郭准燮

    CPC classification number: H01L33/20 H01L33/0079 H01L33/0095 H01L33/32

    Abstract: 本发明公开了一种用于制造氮化镓(GaN)半导体发光器件的方法。该发光器件制造方法包括:在发出光的有源层上形成至少一层P型化合物半导体层,并在该P型化合物半导体层上形成一P型电极,在有源层上形成P型化合物半导体层之后,对所得到的结构进行两次退火,在退火后的P型化合物半导体层上形成P型电极。经过两次退火,P型GaN层的电阻变低,即使P型电极由单层金属构成的情况,P型GaN层与P型电极之间的接触电阻也变低,且发光器件的驱动电压也得以降低。当采用本方法时,发光器件的P型电极可以采用各种工艺由各种不同的材料制成。

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