用于半导体器件制备的显影设备及其控制方法

    公开(公告)号:CN1087445C

    公开(公告)日:2002-07-10

    申请号:CN97113629.7

    申请日:1997-06-20

    CPC classification number: G03F7/3021

    Abstract: 一种用于半导体器件制备的显影设备,包括工作台,装在工作台上并装有适量显影液的容器,装在容器上方、固定已曝光晶片底面的旋转盘,使旋转盘转动的驱动电机,使旋转盘垂直传动以使晶片在容器中上下移动的垂直驱动器,使旋转盘和垂直驱动器转动一定角度以使晶片的图案形成面有选择地转向上或转向下的翻转驱动器,提供适量显影液到容器中的显影液供应器,以及喷洒清洗液到晶片的图案形成面上的清洗液供应器。

    用于半导体器件制备的显影设备及其控制方法

    公开(公告)号:CN1183580A

    公开(公告)日:1998-06-03

    申请号:CN97113629.7

    申请日:1997-06-20

    CPC classification number: G03F7/3021

    Abstract: 一种用于半导体器件制备的显影设备,包括工作台,装在工作台上并装有适量显影液的容器,装在容器上方、固定已曝光晶片底面的旋转盘,使旋转盘转动的驱动电机,使旋转盘垂直传动以使晶片在容器中上下移动的垂直驱动器,使旋转盘和垂直驱动器转动一定角度以使晶片的图案形成面有选择地转向上或转向下的翻转驱动器,提供适量显影液到容器中的显影液供应器,以及喷洒清洗液到晶片的图案形成面上的清洗液供应器。

Patent Agency Ranking