体导电微通道板及其制备方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117012595A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311071318.4

    申请日:2023-08-24

    Abstract: 本发明公开一种体导电微通道板及其制备方法,包括:在易腐蚀去除的基底或者芯片上,采用化学气相沉积方法制备氢化非晶硅厚膜层,然后在氢化非晶硅厚膜层通过光刻、Bosch深硅刻蚀工艺加工出所需长径比的微孔阵列。在芯片上可直接使用氢化非晶硅盲孔阵列,在易腐蚀基底上使用酸碱等溶液处理将基底腐蚀掉,形成通道贯穿的氢化非晶硅微孔阵列。然后通过原子层沉积技术在微孔阵列的通道内壁制备二次电子发射层,获得体导电微通道板。通过本发明既可以制作出作为分立元件的体导电微通道板,应用于传统MCP的应用领域,还可以通过与芯片集成的方式应用于芯片探测器领域,实现与芯片的集成,提升芯片探测器的位置分辨、时间响应性能。

    用于MPOS屏段生产的复丝排屏、熔压装置以及方法

    公开(公告)号:CN113429126B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202110723444.8

    申请日:2021-06-28

    Abstract: 本发明涉及超精密玻璃加工技术领域,具体而言涉及用于MPOS屏段生产的复丝排屏、熔压装置以及方法,包括:下模,具有一个底面以及与底面相对分布具有一定径向长度内凹的圆弧面,使复丝沿着圆弧面可排列出扇形外形的复丝屏;内、外靠条,被设置在圆弧面轴向方向的两端,均具有一个水平接触面和竖直接触面;基准座,设有基准槽,具有一个上端面和两个相对分布的侧面,所述基准座上设有能延伸至侧面内侧的螺钉;其中,所述下模的底面与外靠条的水平接触面与所述基准槽上端面贴合;实现使用方法简单可操作的方案使复丝进行对称排列,通过排屏排列出对称性较高屏段,同时在熔压过程中均匀的对复丝复丝屏加压,可极大的提高MPOS的角分辨率。

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