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公开(公告)号：CN117270314A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311217958.1
申请日：2021-04-02
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: G03F1/62 , G03F7/20 , C01B32/168 , C01B32/17 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供曝光用防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置及曝光用防护膜的制造方法。一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。
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公开(公告)号：CN115698192B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202180039971.5
申请日：2021-03-19
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: C09D1/00 , A61L31/08 , C09D5/00 , A61L31/12 , A61L31/14 , A61L31/16 , C09D7/61 , C09D7/63 , B32B3/26 , A01N25/34
Abstract: 本发明的涂膜包括：具有疏水基团或亲油基团及亲水基团的表面活性剂；以及在表面具有能够承载表面活性剂的空孔的膜。表面活性剂的亲油基团的碳原子数为5以上，在室温下无挥发性。膜为多孔膜。多孔膜的孔隙率为5％以上且60％以下。表面活性剂是枞酸类化合物。或者，表面活性剂是洗必泰。孔的孔径大于病毒大小的10倍。
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公开(公告)号：CN117099173A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280024443.7
申请日：2022-03-22
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: H01F1/059
Abstract: 本发明的课题在于提供一种新的高频用磁性材料及其制造方法，其具有比铁氧体系磁性材料更高的导磁率，比金属系磁性材料更高的电阻率，因此解决了涡流损耗等问题。本发明使用对晶体结构和组成进行了调整的氮化物系磁性材料即稀土‑铁‑M‑氮系磁性材料(M为Ti、V、Mo、Nb、W、Si、Al、Mn、Cr中的至少一种)。
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公开(公告)号：CN116888266A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202280014459.X
申请日：2022-02-18
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 旭化成制药株式会社
IPC: C12N15/74
Abstract: 本发明提供一种生产由靶基因编码的蛋白质的方法，其包括在不具有选自由BSFP＿068740、BSFP＿068730和BSFP＿068720组成的组中的1种或2种以上的基因、或者阻断了该基因的表达或该基因所编码的蛋白质的表达的伯克霍尔德菌(Burkholderia)属细菌中表达靶基因的步骤。
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公开(公告)号：CN112469662B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN201980049633.2
申请日：2019-07-25
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: C01B32/172 , B82Y40/00 , C01B32/159
Abstract: 本发明作为目的的课题在于提供通过对碳纳米管(CNT)起作用而能够高精度地分离具有特定结构的CNT的结构分离用水溶液、和通过对其起作用而能够高精度地分离具有特定结构的CNT的分离回收方法、以及由其得到的CNT。本发明中，通过使疏水性高且为单体时不溶于水的石胆酸或石胆酸异构体可溶化，将含有该可溶化的石胆酸或可溶化的石胆酸异构体的水溶液作为CNT的结构分离用水溶液，从而能够精度良好地分离具有特定结构的CNT。
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公开(公告)号：CN116670325A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202280008772.2
申请日：2022-01-25
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: C23C16/511
Abstract: 微波等离子处理装置具备：谐振器，其包括容器；单一的微波振荡源，其对所述谐振器输出基准微波；波导管，其连接所述微波振荡源和所述谐振器；以及相位控制机构，其通过控制所述基准微波的相位，而生成相位与所述基准微波不同的改变微波，所述谐振器包括将所述基准微波导入所述谐振器内的一个或多个第一种导入部、以及将所述改变微波导入所述谐振器内的一个或多个第二种导入部，在所述谐振器内构成为，在所述基准微波叠加所述改变微波，从而改变在所述容器内产生的等离子球的位置、大小以及形状中的至少一个。
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公开(公告)号：CN116635731A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180085668.9
申请日：2021-12-21
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 爱知制钢株式会社
IPC: G01R33/028 , A61B5/242 , G01R33/00
Abstract: 一种磁传感器，具备：传感器头，具有磁性材料；驱动部，对所述传感器头通电；拾波线圈，靠近所述传感器头；以及信息处理部，通过对所述拾波线圈通电来产生偏置磁场，并且检测与在所述拾波线圈中产生的感应电压相应的信号，所述信息处理部生成差分信号，所述差分信号表示与在所述传感器头被通电的通电状态的情况下在所述拾波线圈中产生的第一电压相应的第一信号和与在所述传感器头未被通电的非通电状态的情况下在所述拾波线圈中产生的第二电压相应的第二信号的差分。
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公开(公告)号：CN116634934A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180085667.4
申请日：2021-12-21
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 爱知制钢株式会社
IPC: A61B5/05
Abstract: 一种磁传感器，其特征在于，具备：磁敏体，通过外部磁场的作用，其电磁特性发生变化；线圈，配置为与所述外部磁场成正比地得到感应电压；采样器，对在所述线圈中产生的所述感应电压进行采样，得到采样电压；以及自动校正电路，基于所述采样电压，对驱动所述磁敏体的磁敏体时钟的上升沿定时和驱动所述采样器的采样器时钟的上升沿定时进行相对调整。
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公开(公告)号：CN116609996A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310651908.8
申请日：2017-07-03
Applicant: 三井化学株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 本发明提供EUV透射性进一步高的防护膜及其组件和组件框体、以及组件制造方法。此外，提供能够以此进行高精度的EUV光刻的、曝光原版、曝光装置和半导体装置的制造方法。本发明的防护膜是铺设在支撑框的开口部的曝光用防护膜，上述防护膜的厚度为200nm以下，上述防护膜包含碳纳米管片，上述碳纳米管片具备由多个碳纳米管形成的捆，上述捆的直径为100nm以下，上述捆在上述碳纳米管片中进行面内取向，上述防护膜的碳纳米管片的膜厚方向的峰强度与碳纳米管片的面内方向的峰强度之比RB为0.40以上。
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公开(公告)号：CN116568394A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202180075635.6
申请日：2021-11-01
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 株式会社扶桑
IPC: B01J20/28
Abstract: 本发明的目的在于提供以低成本期待一定量的制造量、具有高强度、特别是在水中具有稳定性的造粒吸附材料。本发明的造粒吸附材料以金属氰基络合物为有效成分，包含使金属氰基络合物从包含该金属氰基络合物的浆料中凝聚沉淀的凝聚沉淀材料、粘结材料和交联剂。另外，本发明中，通过以下工序制造该造粒吸附材料：在金属氰基络合物浆料中添加聚集沉淀材料后，将金属氰基络合物浆料脱水，制备金属氰基络合物脱水滤饼的工序；将该金属氰基络合物脱水滤饼加热干燥，制备金属氰基络合物干燥块的工序；将该金属氰基络合物干燥块粉碎而制成金属氰基络合物粉末的工序；制备包含该金属氰基络合物粉末、粘结材料和交联剂的混合物，使用该混合物进行造粒的工序。
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