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公开(公告)号:CN114734063A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202210426056.8
申请日:2022-04-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性/曲面电子微纳制造相关技术领域,其公开了一种等离子体包轴输运与同步烧结的打印装置及方法,该打印装置包括墨水模块、等离子体射流模块、隔绝鞘气模块、该等离子体射流模块及该隔绝鞘气模块分别连接于该墨水模块;该墨水模块用于将打印用的液态金属墨水输送到喷嘴中,该等离子体射流模块用于放电产生等离子体射流,该隔绝鞘气模块用于产生隔离液态金属墨水和等离子体射流的鞘气气流;该墨水模块、该等离子体射流模块及该隔绝鞘气模块相互配合以实现等离子体射流自身局域动态强电场诱导电流体生成泰勒锥。本发明解决了复杂型面绝缘基板液态金属电路的打印成形难题,为柔性/曲面电子器件的高效共形喷印制造提供了技术支撑。
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公开(公告)号:CN112928211B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN202110280005.4
申请日:2021-03-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于有机薄膜晶体管制备相关技术领域,其公开了一种复杂曲面薄膜晶体管及自对准电流体共形光刻制造方法,包括以下步骤:(1)依次在曲面基底上制备底栅电极、底栅介电层及半导体层;(2)采用电流体喷印工艺在半导体层上制备纤维掩膜,电流体喷印时空间电场受曲面基底影响而空间分布畸变,使得产生的射流及纤维沉积在曲面基底的法向最短位点,进而实现法向曲面自对准;(3)采用纤维掩膜在半导体层上制备源漏电极及引线,且纤维掩膜位置处因存在高度差而自动生成沟道;(4)加热纤维掩膜以使纤维掩膜转变为熔融态,继而实现自对准封装,由此制造完成。本发明通过电流体喷印自对准工艺实现了曲面基底上薄膜晶体管的原位制备与自封装。
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公开(公告)号:CN114061433A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202111118764.7
申请日:2021-09-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性传感相关技术领域,其公开了一种透气可穿戴应变传感器及其制备方法与应用,该方法包括以下步骤:(1)提供可拉伸透气纤维膜作为基底,并将可拉伸透气纤维膜进行预拉伸;(2)在可拉伸透气纤维膜上制备导电层,导电层上形成应变传感网络;(3)释放可拉伸透气纤维膜的拉伸应变,进而得到透气可穿戴应变传感器。该制备方法通过调控导电层对应区域的微观形貌来操纵导电网络局部区域的敏感程度,可以实现敏感程度的调控,从而能够实现传感‑导电网络可编程控制,具备良好的性能。同时,通过对可拉伸透气纤维膜进行预拉伸并制备导电层,使得表层的纤维取向发生改变,由完全无变为一定程度上沿着预拉伸方向的取向性,提高了性能。
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公开(公告)号:CN110349902B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201910519450.4
申请日:2019-06-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L25/075 , H01L33/48 , H01F13/00
Abstract: 本发明属于巨量转移技术领域,并具体公开了一种基于可寻址电磁阵列的MicroLED巨量转移装置及方法,其包括上位机、驱动模块阵列和电路模块,驱动模块阵列由多个呈阵列分布的驱动模块构成,各驱动模块上均设置有上电极和下电极,且两者之间布置有带电磁铁;电路模块分别与上位机及各驱动模块相连,用于根据上位机的控制指令实现各驱动模块的上电极和下电极所带电荷电性的独立控制,以改变各带电磁铁与具有磁性的MicroLED间的磁力大小,实现MicroLED的拾取与释放。所述方法包括:将MicroLED转移至中间载体基板上;利用装置将MicroLED转移至目标电路基板上。本发明可实现MicroLED的图案化、选择性巨量转移,具有操作方便,适用性强等优点。
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公开(公告)号:CN112752410A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011546836.3
申请日:2020-12-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性器件技术领域,更具体地,涉及电流体光刻制备透明可拉伸液态金属电路的方法和应用。本发明制备方法包括以下步骤:制备透明可拉伸基底;基于电流体光刻技术在基底表面打印液态金属网格;基于电流体光刻技术在液态金属网格表面打印电路图案,即可得到液态金属电路。本发明可以制备不同尺度和透明度的可拉伸液态金属电路,相比于复合材料法或传统的结构设计法,具有高度灵活性,在生产中不受限于复杂的掩膜设计,可赋予液态金属电路任意功能,获得的产品具有高度可拉伸性,因而可以粘附于各类复杂或动态曲面上,并在使用过程中保持性能稳定,具有广阔的市场前景。
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公开(公告)号:CN112652634A
公开(公告)日:2021-04-13
申请号:CN202011518654.5
申请日:2020-12-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L27/144 , H01L27/146 , H04N5/225
Abstract: 本发明属于电子眼相关技术领域,其公开了一种仿生电子眼及其制备方法,该制备方法包括:S1,在基板上制备像素结构,所述像素结构包括多个阵列化网格,所述基板为平面或曲面;S2,采用电流体动力学喷印技术在每一网格中逐个打印功能性材料,待网格中的功能性材料打印完成时立刻在所述网格的中心进行激光照射,以使所述功能性材料固化,其中,相邻预设数量的网格为一组,每组的网格中打印的功能性材料的光吸收波长互不同;S3,对步骤S2得到的结构进行整体退火和封装得到仿生电子眼。本申请采用激光局部加热和电流体动力学喷印技术相结合解决了现有电子眼制备方法制备的电子眼成像精度低,成像质量差的技术问题。
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公开(公告)号:CN111006801B
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN201911300915.3
申请日:2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器领域,并公开了一种用于生理信息监测的柔性变模态传感器、应用及制备方法。该传感器包括基底和依次设置在基底下方的上电极层、压电层和下电极层,其中:上/下电极层包括三部分电极,第一部分电极形成闭合蜿蜒蛇形,第二部分和第三部分结构相同,呈敏感栅状,分布在第一引脚的两侧,且第二部分和第三部分的夹角呈90度,压电层与第一部分电极结构相同;上/下电极层可作为电阻式传感器,当测量上电极层上的第一引脚与下电极层上的第一引脚之间的电压或电容时,分别作为压电传感器和电容传感器。通过本发明,实现不同传感模式下多种物理量的测量,有效降低接口数量需求,降低系统成本。
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公开(公告)号:CN112265379A
公开(公告)日:2021-01-26
申请号:CN202011163873.6
申请日:2020-10-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷墨打印装置领域,并具体公开了一种抑制电场串扰的独立可控阵列化电喷印喷头,其包括喷孔芯片、流道层、电路板、墨盒和外壳,其中:喷孔芯片包括喷孔板、电极板和电极组件,喷孔板上开设有多个喷孔,喷孔板一侧设有多个电极引脚;电极板设置在喷孔板下方,该电极板上开设有电极板通孔,电极板下端设有静电透镜;电极组件包括控制电极和屏蔽电极,控制电极单独对每个喷孔处的电场进行调节,屏蔽电极用于降低各喷孔间电场串扰;流道层安装在电路板上;电路板安装在外壳底部,其下表面设有多个焊盘,焊盘与电极引脚对应连接;墨盒安装在外壳内部。本发明可实现独立可控的高分辨率打印,且效率高、减少了喷嘴间串扰。
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公开(公告)号:CN110136865B
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN201910355081.X
申请日:2019-04-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/28
Abstract: 本发明属于柔性表皮电子领域,并公开了一种基于激光焊接的大面积纳米柔性电极制备方法及产品。该方法包括:(a)制备柔性电极获得待连接的柔性电极,将待连接柔性电极置于生理盐水中移动使得待连接的两端靠近至预设范围内,在待连接的两端分别滴加吞噬物和被吞噬物,该吞噬物主动吞噬被吞噬物,在吞噬过程中使得待连接的两端逐渐靠近直至重叠,以此完成生物连接;(b)将完成生物连接的柔性电极从生理盐水中打捞出来,然后在生物连接部位涂覆激光吸收剂,采用飞秒激光进行扫描,使得生物连接部分熔化并焊接在一起,以此获得所需的大面积纳米柔性电极。通过本发明,实现大面积纳米厚柔性电极的连接,工艺简单方便。
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公开(公告)号:CN111189493A
公开(公告)日:2020-05-22
申请号:CN201911299342.7
申请日:2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于柔性电子皮肤领域,并公开了一种多物理场测量的柔性智能蒙皮、变胞结构及其应用。该柔性智能蒙皮自上而下依次包括第一电极、介电层、第二电极、压电层和第三电极,其中,第一电极、介电层和第二电极形成电容传感器,第二电极、压电层和第三电极形成压电传感器;第二电极包括两根电阻,分别为第一电阻和第二电阻,第一电阻形成电阻传感器,第一电阻和第二电阻共同形成电容传感器;第三电极包括电阻两根热电系数不同的电阻,分别为第三电阻和第四电阻,第三电阻形成电阻传感器,第三电阻和第四电阻共同形成热电偶传感器。通过本发明,实现压力,温度,应变,振动,湿度,流速和健康状态等物理量的测量,功能高度集成,结构的简化。
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