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公开(公告)号：CN115008765B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202210590477.4
申请日：2022-05-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器和薄膜贴装相关技术领域，其公开了一种拾取贴装装置及方法，拾取贴装装置包括真空管、密封罩、转接块、密封塞、吸盘及弹簧，吸盘的一端伸入真空管中；密封塞连接于转接块，转接块连接于吸盘位于真空管内的一端；真空管收容转接块的一端设置在密封罩内；弹簧套设在吸盘上；其中，密封塞与真空管的底部之间形成可分离连接，吸盘与真空管的底部之间形成活动连接，吸盘通过相对于真空管移动来改变吸盘的底部与密封罩的底部之间的间距，同时使得密封塞与真空管之间形成密封连接或者密封塞与真空管脱离而使得真空管与密封罩相隔绝或者相连通，以使得密封罩内为大气压强状态或者真空状态。本发明可以提高贴装效率及可靠性。
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公开(公告)号：CN111189493A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201911299342.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于柔性电子皮肤领域，并公开了一种多物理场测量的柔性智能蒙皮、变胞结构及其应用。该柔性智能蒙皮自上而下依次包括第一电极、介电层、第二电极、压电层和第三电极，其中，第一电极、介电层和第二电极形成电容传感器，第二电极、压电层和第三电极形成压电传感器；第二电极包括两根电阻，分别为第一电阻和第二电阻，第一电阻形成电阻传感器，第一电阻和第二电阻共同形成电容传感器；第三电极包括电阻两根热电系数不同的电阻，分别为第三电阻和第四电阻，第三电阻形成电阻传感器，第三电阻和第四电阻共同形成热电偶传感器。通过本发明，实现压力，温度，应变，振动，湿度，流速和健康状态等物理量的测量，功能高度集成，结构的简化。
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公开(公告)号：CN110987029A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911300990.X
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电子皮肤领域，并公开了一种多功能柔性传感器及其制备方法和应用。该多功能柔性传感器包括电容层，该电容层从下自上包括底层柔性衬底、底电极、中间介电层、导电电极、顶电极和顶层柔性衬底，其中，底电极为平板电极，中间介电层上设置有多个高低起伏的柔性凸起，顶电极上每个平行电极上设置有一根引线，两个平板电极上的引线末端相对设置形成缺口，导电电极设置在缺口正下方，当导电电极未嵌入缺口时，两个平板电极形成电容，当顶层柔性衬底受到外力时，顶电极向下运动，导电电极嵌入缺口，两个平板电极导通形成电阻，同时顶电极与底电极形成电容。通过本发明，实现温度、距离和应力的测量，降低对引线的数量和引线接口的需求。
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公开(公告)号：CN110987089B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201911366444.6
申请日：2019-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器设计与制造领域，并具体公开了一种单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用。所述传感器包括金属功能层以及柔性基底，金属功能层包括第一应变栅、第一叉指电极、引线一以及引线二，第一应变栅包括M个首尾依次连接且平行布置的S型结构，第一叉指电极包括M根平行布置的叉指结构。所述制备方法包括基底层和牺牲层的制备、金属功能层的制备、传感器的剥离。本发明多功能柔性变胞传感器可应用于温度、应变、流速和湿度的测量。本发明可通过引线之间的变拓扑切换实现多功能小尺寸原位感知，同时，可实现少量引脚的变拓扑多模态的变胞感知，还可采用两种原理测量相互补充验证提高系统的鲁棒性和稳定性。
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公开(公告)号：CN115164977B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202210546857.8
申请日：2022-05-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于传感器测量相关技术领域，其公开了一种适合高低温工况的冷膜传感器及其制备方法，所述冷膜传感器分为X向温差型冷膜传感器及Y向原位损耗型冷膜传感器；所述X向温差型冷膜传感器包括基底层、以及间隔设置在所述基底层上的第一测温单元、降温单元及第二测温单元；所述Y向原位损耗型冷膜传感器包括基底层、设置在所述基底层表面上的降温单元及设置在所述降温单元上的测温单元。本发明具有可弯折、表贴式等特点，降温单元可以通过帕尔贴效应降温或者利用微流道散热来进行降温，且其是可以适用于高温‑低温环境作业的测量流速/剪应力的传感器，解决了传感器不耐高温问题及热膜传感器的精准度受温度影响问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115164977A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210546857.8
申请日：2022-05-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于传感器测量相关技术领域，其公开了一种适合高低温工况的冷膜传感器及其制备方法，所述冷膜传感器分为X向温差型冷膜传感器及Y向原位损耗型冷膜传感器；所述X向温差型冷膜传感器包括基底层、以及间隔设置在所述基底层上的第一测温单元、降温单元及第二测温单元；所述Y向原位损耗型冷膜传感器包括基底层、设置在所述基底层表面上的降温单元及设置在所述降温单元上的测温单元。本发明具有可弯折、表贴式等特点，降温单元可以通过帕尔贴效应降温或者利用微流道散热来进行降温，且其是可以适用于高温‑低温环境作业的测量流速/剪应力的传感器，解决了传感器不耐高温问题及热膜传感器的精准度受温度影响问题。
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公开(公告)号：CN110987029B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201911300990.X
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电子皮肤领域，并公开了一种多功能柔性传感器及其制备方法和应用。该多功能柔性传感器包括电容层，该电容层从下自上包括底层柔性衬底、底电极、中间介电层、导电电极、顶电极和顶层柔性衬底，其中，底电极为平板电极，中间介电层上设置有多个高低起伏的柔性凸起，顶电极上每个平板电极上设置有一根引线，两个平板电极上的引线末端相对设置形成缺口，导电电极设置在缺口正下方，当导电电极未嵌入缺口时，两个平板电极形成电容，当顶层柔性衬底受到外力时，顶电极向下运动，导电电极嵌入缺口，两个平板电极导通形成电阻，同时顶电极与底电极形成电容。通过本发明，实现温度、距离和应力的测量，降低对引线的数量和引线接口的需求。
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公开(公告)号：CN110987089A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911366444.6
申请日：2019-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器设计与制造领域，并具体公开了一种单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用。所述传感器包括金属功能层以及柔性基底，金属功能层包括第一应变栅、第一叉指电极、引线一以及引线二，第一应变栅包括M个首尾依次连接且平行布置的S型结构，第一叉指电极包括M根平行布置的叉指结构。所述制备方法包括基底层和牺牲层的制备、金属功能层的制备、传感器的剥离。本发明多功能柔性变胞传感器可应用于温度、应变、流速和湿度的测量。本发明可通过引线之间的变拓扑切换实现多功能小尺寸原位感知，同时，可实现少量引脚的变拓扑多模态的变胞感知，还可采用两种原理测量相互补充验证提高系统的鲁棒性和稳定性。
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公开(公告)号：CN115008765A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210590477.4
申请日：2022-05-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器和薄膜贴装相关技术领域，其公开了一种拾取贴装装置及方法，拾取贴装装置包括真空管、密封罩、转接块、密封塞、吸盘及弹簧，吸盘的一端伸入真空管中；密封塞连接于转接块，转接块连接于吸盘位于真空管内的一端；真空管收容转接块的一端设置在密封罩内；弹簧套设在吸盘上；其中，密封塞与真空管的底部之间形成可分离连接，吸盘与真空管的底部之间形成活动连接，吸盘通过相对于真空管移动来改变吸盘的底部与密封罩的底部之间的间距，同时使得密封塞与真空管之间形成密封连接或者密封塞与真空管脱离而使得真空管与密封罩相隔绝或者相连通，以使得密封罩内为大气压强状态或者真空状态。本发明可以提高贴装效率及可靠性。
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公开(公告)号：CN111189493B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201911299342.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于柔性电子皮肤领域，并公开了一种多物理场测量的柔性智能蒙皮、变胞结构及其应用。该柔性智能蒙皮自上而下依次包括第一电极、介电层、第二电极、压电层和第三电极，其中，第一电极、介电层和第二电极形成电容传感器，第二电极、压电层和第三电极形成压电传感器；第二电极包括两根电阻，分别为第一电阻和第二电阻，第一电阻形成电阻传感器，第一电阻和第二电阻共同形成电容传感器；第三电极包括电阻两根热电系数不同的电阻，分别为第三电阻和第四电阻，第三电阻形成电阻传感器，第三电阻和第四电阻共同形成热电偶传感器。通过本发明，实现压力，温度，应变，振动，湿度，流速和健康状态等物理量的测量，功能高度集成，结构的简化。
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