评估装置及评估方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102203589A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200980143039.6

    申请日:2009-11-09

    CPC classification number: G01J4/00 G01N21/21 G01N21/95607

    Abstract: 评估装置(1)使测光件(42)旋转成测光件(42)的透射轴的方位相对偏光件(32)的透射轴成为90度±3度的倾斜角度,以各条件由摄影机(44)拍摄晶圆(10)的正反射像,影像处理部(50),是根据通过摄影机(44)拍摄的两片晶圆(10)的影像,评估反复图案的形状以检测剂量不良及聚焦不良。

    一种宽带信号光偏振成份比测量装置及方法

    公开(公告)号:CN109141643A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811141904.0

    申请日:2018-09-28

    CPC classification number: G01J4/00 G01J2004/001

    Abstract: 本发明公开一种宽带信号光偏振成份比测量装置及方法,其包括控制主机以及依次连接的白光源、前端光学器件、目标物体、光束准直器、声光滤波组件和光谱探测仪,控制主机分别连接声光滤波组件和光谱探测仪,白光源连续输出光束,来自白光源的宽带光经前端光学器件汇聚并准直后形成平行光束,平行光束垂直照射到目标物体表面并透射,经目标物体透射的宽带信号光携带了目标物体的偏振信息,来自目标物体的宽带信号光经光束准直器汇聚并准直成平行光束进入声光滤波组件进行声光滤波,光谱探测仪接收声光滤波光束并获取光谱数据送入控制主机,控制主机基于光谱数据计算宽带信号光中任一波长处的偏振成份比。本发明稳定性好,方法简单易操作。

    一种基于介质超表面的紧凑光学测量仪

    公开(公告)号:CN108375418A

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201810111548.1

    申请日:2018-02-05

    CPC classification number: G01J4/00 G01J2004/001

    Abstract: 本发明公开了一种基于介质超表面的紧凑光学测量仪,包括介质超表面和探测器阵列,探测器阵列位于介质超表面的焦距处;介质超表面包括多个基本模块,相邻的基本模块相互接触;每个基本模块独立工作以获取入射到该基本模块表面的待测光的偏振态;每个基本模块包括第一平面聚焦镜、第二平面聚焦镜、第三平面聚焦镜和第四平面聚焦镜,四块平面聚焦镜按照从左至右、从上自下的顺序构成“田”字形平面结构;这四个平面聚焦镜的焦距一致。本发明提供的紧凑光学测量仪可以探测入射光的偏振态和波前,在可见光波段损耗较小,在近红外到红外波段几乎没有损耗,极大降低了光损耗,提高了探测的灵敏度。

    野外环境天空偏振建模对准测量装置

    公开(公告)号:CN108225563A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711432682.3

    申请日:2017-12-26

    CPC classification number: G01J4/00 G01J2004/001

    Abstract: 野外环境天空偏振建模对准测量装置,提供方向基准并对复杂环境下天空偏振模式进行检测。该装置构成包括偏振图像测量模块、旋转驱动模块、激光标线模块、平台对准模块,用户控制和处理模块。检测时平台对准模块使成像通光轴与激光标线仪的中心轴线对准共线;基于激光标线模块,使装置参考方向与GPS测得的外部参考矢量对准,得到天空偏振图像的方向基准;用户控制和处理模块传送用户指令,使旋转驱动模块控制偏振片进行有序旋转,调节相机输入光的偏振态;同时使偏振图像测量模块测得偏振图像信息。该装置及检测方法适用于野外复杂环境下检测天空偏振模式,并为天空偏振建模提供可靠的方向基准。

    量子波函数成像
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108168716A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201710306045.5

    申请日:2017-05-03

    CPC classification number: G01J11/00 G01J4/00 G01J2004/001

    Abstract: 本发明公开了一种利用直接精确测量被衍射粒子的量子波函数来实现物体立体成像的方法,核心是通过比较直接精确测量出的被衍射粒子的量子波函数分布和已知入射粒子的量子波函数分布来实现被测物体的立体成像。该方案相较于传统通过测量衍射强度分布,估计或者计算相位分布来成像,能够直接测量出衍射量子波函数的相位分布,从而获取被测物体更丰富的结构信息,具有成本低,易于调节和实现,并可广泛应用于成像,结构分析,测绘等领域;同时由于使用单粒子源,当被测物体是生物组织时,该方案可极大地降低对生物组织的伤害。

    一种基于渥拉斯顿棱镜的测量样品偏振态的方法与系统

    公开(公告)号:CN108051089A

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201711154680.2

    申请日:2017-11-20

    CPC classification number: G01J4/00 G01J2004/001

    Abstract: 本发明公开了一种利用渥拉斯顿棱镜的测量样品全偏振态的方法与系统,准直透镜准直后的平行光经非偏振分光棱镜分成两束光,其中一束光穿过样品后作为物光,另一束光作为参考光,两束光经所述反射镜反射后通过非偏振分光棱镜合并。参考光和物光穿过渥拉斯顿棱镜之后,在不同位置形成两幅偏振态正交的干涉图样。利用所述相机将两幅全息图记录在一张图片上。由所述计算机从所记录的一幅图中提取获得两幅全息图,进行数值重建,最终得到穿过样品后物光对应的振幅和相位信息,经过计算机处理得到样品的偏振态信息。相比较传统Mueller显微镜的使用,避免了多次采集受环境的影响,提高了系统的稳定性和实时测量能力。

Patent Agency Ranking