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公开(公告)号：CN104603966B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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公开(公告)号：CN104364924A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029622.0
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。
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公开(公告)号：CN104364923A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029575.X
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。
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公开(公告)号：CN104395087B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380033316.4
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/0478 , B41J2/14233 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/1873 , H01L41/313 , H01L41/316
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN104603966A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104396039A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033604.X
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/053 , H01L41/09 , B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/113
CPC classification number: H03H9/02133 , G01C19/5783 , G01P15/00 , H01L41/0536 , H01L41/0805 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H04R17/02
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有一对电极膜(8，12)、夹在这对电极膜(8，12)之间的压电膜(10)、以及应力控制膜(14)，应力控制膜(14)在电极膜(12)不与压电膜(10)接触的侧上与这对电极膜(12)中的至少一个直接接触，并且具有比相关的电极膜(12)和压电膜(10)的线性膨胀系数更大的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN1836306A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200480023655.5
申请日：2004-07-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01J29/864 , H01J9/242 , H01J2211/36 , H01J2329/864 , H01J2329/8645 , H01J2329/8655 , H01J2329/8665
Abstract: 本发明涉及一种平板显示器用隔板，其特征在于，具有含Al2O3、TiC、MgO及TiO2的烧结体,该烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，含有35～55重量％的MgO。
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公开(公告)号：CN104364923B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201380029575.X
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。
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公开(公告)号：CN104641481A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048271.8
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/04 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。
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