吸附喷嘴及具备其的外观检查装置和电路基板的制造方法

    公开(公告)号:CN109425615A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201811009845.1

    申请日:2018-08-31

    Abstract: 本发明提供适于在半导体芯片等平板状的电子部件产生的裂痕或裂缝的检测的吸附喷嘴。具备:吸附面(121),与半导体芯片(C)的主面(C1)相接;抽吸口(122a~122d),设于吸附面(121),吸附面(121)具有凸面形状,由此,在通过抽吸口(122a~122d)抽吸半导体芯片(C)的主面(C1)时,反映吸附面(121)的凸面形状,半导体芯片(C)的主面(C1)变形为凹面,半导体芯片(C)的背面(C2)变形为凸面。这样,当吸附半导体芯片(C)时,背面(C2)变形为凸面,因此,可扩大在背面(C2)产生的裂痕或裂缝。因此,可由外观检查装置容易地检测在半导体芯片(C)的背面(C2)产生的裂痕或裂缝。

Patent Agency Ranking