公开(公告)号：CN109186638A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201811210146.3

申请日：2018-10-17

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  阮晓明 ,  张明

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺，差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制，采用厚膜混合集成电路工艺制造电路，金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装，使电路具有更高可靠性，更优散热性能。

公开(公告)号：CN115412086A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202211026424.6

申请日：2022-08-25

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  韩加仑 ,  肖子扬 ,  张明 ,  李宗源 ,  闫世红

IPC: H03K17/72 ,  H03K17/687 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开了一种加速度过载开关，包括加速度敏感单元、二次电源转换单元、加速度脉冲判断单元和自锁电子开关单元；二次电源转换单元将外部输入电源转换为二次电源，为加速度敏感单元和加速度脉冲判断单元提供工作电压；加速度敏感单元将载体加速度转换为模拟电压信号，并输入至加速度脉冲判断单元，加速度脉冲判断单元根据模拟电压信号产生控制电压，控制电压输入至自锁电子开关单元，控制电子开关单元中电子开关的导通，并使电子开关维持自锁，直到系统掉电时，加速度开关自动复位，电子开关恢复断开状态，能够使电子开关在移除驱动信号后，能够实现自锁，维持电子开关的状态。

公开(公告)号：CN111983259B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202010858409.2

申请日：2020-08-24

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  万欢欢 ,  张明 ,  阮晓明 ,  刘发 ,  夏瑱超

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。

公开(公告)号：CN113063964B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202110310726.5

申请日：2021-03-23

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  万欢欢 ,  阮晓明 ,  张明 ,  张晓峰 ,  肖子扬 ,  闫世红

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。

公开(公告)号：CN114994349A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210630594.9

申请日：2022-06-06

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  王志勇 ,  阮晓明 ,  张明 ,  闫世红

IPC: G01P1/02 ,  G01P1/00 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开了一种全密封型石英挠性加速度计的伺服控制电路及封装结构，封装结构包括多层陶瓷基板，多层陶瓷基板为一体化结构，多层陶瓷基板上布置有伺服控制电路；多层陶瓷基板外围焊接一个圆形金属围框，圆形金属围框与石英表头对接装配；多层陶瓷基板内侧设置矩形金属密封环，矩形金属密封环另一端设置矩形金属盖板；多层陶瓷基板的外侧设置基板连接焊盘，基板连接焊盘上设置菱形陶瓷盖板。通过上述封装方式，能较好的密封保护伺服控制电路，避免了潮湿环境造成裸芯片、硅基NiCr薄膜电阻块与片式阻容元件腐蚀失效的风险，可极大程度提高石英挠性加速度计伺服控制电路长期可靠性。

公开(公告)号：CN113063965A

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202110310728.4

申请日：2021-03-23

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 徐鑫 ,  万欢欢 ,  阮晓明 ,  张晓峰 ,  张明 ,  肖子扬 ,  闫世红

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。

公开(公告)号：CN113009182A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202110217355.6

申请日：2021-02-26

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 张明 ,  徐鑫 ,  万欢欢 ,  阮晓明

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开了一体式零偏可调加速度计伺服电路及其制作方法和应用，属于半导体混合集成技术领域，传感器表头由力矩器、摆组件动力学、差动电容传感器组成；伺服电路系统主要由差动电容电压转换器、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块等组成。伺服电路功能由线性稳压电源、基准三角波发生器、差动电容检测器、积分网络、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块实现，可实现对加速度计输出零位修正，在输出级完成了对伺服电路输出电流的零偏补偿，有效减小加速度计的零偏，提高了加速度计伺服电路输出精度。同时，利用激光缝焊实现伺服电路与加速度计传感器表头一体式全密封封装，提高了加速度计的密封可靠性。