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公开(公告)号：CN113768491A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111051202.5
申请日：2021-09-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法，包括用于提供相对参考系的外壳、作为胸部呼吸深度与呼吸频率测量装置的内壳以及第一、第二惯性测量单元。首先通过内外壳以及弹簧连接，为胸部的运动提供了相对参考，再次采用相同的惯性测量单元以及相同的加速度信号处理算法，得到人体呼吸深度与呼吸频率，使得本装置可以避免测量呼吸时由于人体运动产生的干扰，从而获得了一种可实现人体呼吸深度与呼吸频率实时高精度测量的装备和方法，解决了目前呼吸频率监测缺乏实时性且精度受人体运动状态影响较大，而呼吸深度缺乏测量装备和方法的问题。
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公开(公告)号：CN113526452A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110694517.5
申请日：2021-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳化硅MEMS温压复合式传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括外围压力测量单元和中心温度测量单元；压力测量单元由带凸起岛的碳化硅基底，背面刻蚀有圆形背腔形成压力敏感膜片，凸起岛和压力敏感膜片构成了膜岛结构，在凸起岛之外，压力敏感膜片之内，沿着压力敏感膜片根部圆周对称布置四个压阻条；温度测量单元包括基底凸起岛以及布置在其上的薄膜热电偶；当压力作用在芯片上时，压力测量单元通过半导体压阻效应及惠斯通电桥将压力转变成电信号输出，同时温度测量单元通过金属薄膜热电偶塞贝克效应将温度转换成热电势输出，以此完成高温下压力和温度的实时检测，具有耐高温、微型化、灵敏度高、稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN115508594B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202211213693.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 西安交通大学 , 渭南木王智能科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆级测试用MEMS探针制备方法，采用微铸造工艺制备探针本体，之后在探针本体表面沉积绝缘隔离层，在绝缘隔离层表面制备屏蔽金属层来完成探针的制备。由于MEMS技术的良好微细加工能力，采用本技术方案可制备一致性好、精度高、抗干扰能力强的，适用于高针数并列测试的探针。
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公开(公告)号：CN114252838B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202111595372.X
申请日：2021-12-23
Applicant: 西安交通大学 , 渭南木王智能科技股份有限公司
IPC: G01R35/02
Abstract: 本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法，测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对探针载流能力、疲劳寿命、工作超程下接触力大小、能否与焊盘进行有效电接触四项性能测试，并可实现对多根探针同时测试。所诉测试平台及测试方法具有成本低、操作简单、测试结果可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN113465791A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110673446.0
申请日：2021-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括碳化硅谐振器，碳化硅谐振器与压力敏感膜通过锚点相连，碳化硅谐振器包括支撑梁，支撑梁通过柔性梁与外部框架连接，支撑梁与固定电极连接并固定在锚点处，质量块结构通过谐振梁与支撑梁连接，耦合梁通过三角梁与质量块结构连接，耦合梁与可动电极连接，质量块结构与另一可动电极连接，固定电极与可动电极均为梳齿电极，并构成两对梳齿电极对，耦合梁上设置有拾振电阻，并连接有金属电极引线，通过三角梁的设计增大了耦合梁应力集中区域，配合拾振电阻的布置，提升了压力传感器的检测精度，基于第三代半导体材料碳化硅的优良特性，同时获得了高温环境下工作的长期稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114137039B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202111417609.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种集成无线无源氨气传感器标签的储气袋及其制备方法，所述储气袋，其特征在于，包括袋体，袋体顶部有开口，开口上密封盖，袋体内壁内设置有氨气检测薄膜传感器与无源NFC标签；所述袋体的材质为纳米纤维纸，所述氨气检测薄膜传感器包括固定在袋体上的叉指电极和覆盖在叉指电极上的聚苯胺复合薄膜，所述叉指电极和无源NFC标签电连接。一体化程度高，氨气检测传感器灵敏度高，响应时间与恢复时间均较短，时间利用率高且可重复利用。检测完成可直接将结果通过无线方式传输出来，操作简单。
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公开(公告)号：CN114043957B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111436738.9
申请日：2021-11-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: B60R21/0136
Abstract: 本发明公开了一种基于PZT薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统，所述传感装置包括底座、柔性压电薄膜传感器和惯性球悬臂梁，所述柔性压电薄膜传感器下端固定在底座上；所述惯性球悬臂梁设置在柔性压电薄膜传感器内侧本传感器仅仅用来检测汽车在撞击时候来自于各个方向的加速度的大小，由处理器判断是否达到起爆阈值，以及何时起爆安全气囊。解决汽车遭受撞击时候由多个传感器分别检测各单一方向加速度的问题。
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公开(公告)号：CN115508594A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211213693.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 西安交通大学 , 渭南木王智能科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆级测试用MEMS探针制备方法，采用微铸造工艺制备探针本体，之后在探针本体表面沉积绝缘隔离层，在绝缘隔离层表面制备屏蔽金属层来完成探针的制备。由于MEMS技术的良好微细加工能力，采用本技术方案可制备一致性好、精度高、抗干扰能力强的，适用于高针数并列测试的探针。
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公开(公告)号：CN113768491B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202111051202.5
申请日：2021-09-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于惯性测量单元的呼吸深度与呼吸频率测量装置和方法，包括用于提供相对参考系的外壳、作为胸部呼吸深度与呼吸频率测量装置的内壳以及第一、第二惯性测量单元。首先通过内外壳以及弹簧连接，为胸部的运动提供了相对参考，再次采用相同的惯性测量单元以及相同的加速度信号处理算法，得到人体呼吸深度与呼吸频率，使得本装置可以避免测量呼吸时由于人体运动产生的干扰，从而获得了一种可实现人体呼吸深度与呼吸频率实时高精度测量的装备和方法，解决了目前呼吸频率监测缺乏实时性且精度受人体运动状态影响较大，而呼吸深度缺乏测量装备和方法的问题。
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公开(公告)号：CN115265848A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210907400.5
申请日：2022-07-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点；每个可动锚点一端两侧分别与两个谐振梁第一端连接，位于同一侧的谐振梁第二端与同一个质量块连接，两个质量块通过耦合梁连接；所述耦合梁包括四根一端连接至连接点的单梁；谐振梁外侧设置有激励结构，激励结构外设置有检测结构。本发明的耦合梁为四点接触式耦合梁，在满足对两质量块耦合并为谐振器提供刚度增大模态频率间隔的同时，也能够有效减少加速度冲击对耦合梁结构的影响，从而保证传感器工作的稳定性。
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