公开(公告)号：CN101702389A

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200910216251.2

申请日：2009-11-16

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 杨涛 ,  梁晋涛 ,  韩宾 ,  刘婷婷 ,  李磊民 ,  谭先吉 ,  冯月晖 ,  周玲 ,  陈花卫 ,  张珂

IPC: H01H35/14 ,  H01H29/00 ,  H01H59/00 ,  H01H11/00

Abstract: 本发明公开了一种液态金属微流体机械惯性开关，包括敏感单元永磁微机械惯性开关和致动单元液态金属微流体静电开关。液态金属微流体机械惯性开关采用微加工工艺制作，采用激光后工艺修调调整开关精度和阈值，采用环氧键合或局部加热键合的方法对微通道结构进行封装。本发明具有体积小、结构简单、低接触电阻、可有效控制开关阈值和精度、开关允许通过的电流大、高可靠性的特点。微加工工艺可进行批量生产，降低器件成本。

公开(公告)号：CN101017989A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200710048553.4

申请日：2007-02-28

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 杨涛 ,  杨黎明 ,  李磊民 ,  胡莉 ,  高杨 ,  韩宾 ,  何叶 ,  冯月晖 ,  刘婷婷 ,  谭先吉

IPC: H02J15/00 ,  H02N2/18 ,  G08C17/02 ,  H02M3/06 ,  H01L41/113

Abstract: 本发明涉及一种用于状态监控的基于压电振动发电的自供电微型无线传感网络节点，主要由压电振动电源1、微控制器4、RF发送装置3和传感器5组成。压电振动电源1又包括为长期存储电容10、DC/DC转换器9、稳压管8、倍压器7和压电换能器6。压电振动电源1将机械能转化为电能，形成电源，供节点工作。微控制器4通过控制开关6来控制长期存储电容10对RF发送装置3的供电。微控制器4从传感器5中的到数据进行处理，将处理后数据和控制信息送到RF发送装置3中发送出去。本节点采用低功耗嵌入式软硬件设计技术、超低功耗短时突发式无线发射技术、系统级能量优化技术以及预测和数据压缩技术，使节点功耗最小化。

公开(公告)号：CN207938784U

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：CN201820285057.4

申请日：2018-03-01

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 高杨 ,  文数文 ,  李君儒 ,  张大鹏 ,  许夏茜 ,  刘婷婷 ,  郭辉辉 ,  韩宾

IPC: H01P3/08 ,  H01P1/203 ,  H01P5/18 ,  H01P7/08 ,  H01P5/16 ,  H01P1/387 ,  H01Q13/10 ,  H01P11/00 ,  H01L23/66

Abstract: 本实用新型公开了Ti/Ni/Ag材料体系的基片集成波导结构，由通孔、W覆盖层、钝化层、正面Ti/Ni/Ag金属叠层、Si衬底、背面金属叠层构成。其中，正面Ti/Ni/Ag金属叠层具有图形化；Si衬底为高阻Si。本实用新型的基片集成波导结构可以避免正面金属为Au时对IC工艺线的污染问题以及正面金属为Cu时带来的工艺过程复杂问题，能满足制造过程与IC工艺的兼容从而大大降低了批量生产的成本，并缩短了生产周期。同时在该材料体系中引入比Au和Cu具有更低电阻率的Ag，使基片集成波导结构具有更小的传输损耗，即器件具有更小的插入损耗，从而提高了器件射频性能。此外，加入钝化层可以有效防止Ag的电迁移。最后，其打孔工艺不完全将衬底打穿，避免了在后面IC工艺中衬底吸附漏真空的问题。通过这种简洁的方案很好的解决了IC工艺中高深宽比通孔刻蚀的难题，彻底解决工艺兼容性问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207602455U

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201721727758.0

申请日：2017-12-13

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 刘婷婷 ,  杨涛 ,  韩宾 ,  高杨

IPC: H01H29/06 ,  H01H29/02

Abstract: 本实用新型公开了一种液态金属RF MEMS开关，包括具有间隙的底部支撑件和顶部盖板；顶部盖板由上至下依次层叠设置有盖板、上电极、上介电层以及上疏水层；底部支撑件由上至下依次层叠设置有下疏水层、下介电层以及基底；上疏水层和下疏水层之间活动设置有同时与两者接触的液态金属，并在下疏水层上设置有将液态金属囊括的限位块；下介电层和基底之间设置有具有间隙的传输线和驱动电极。本装置采用“液-固”接触替代传统的“固-固”接触，无触点磨损问题，工作效率高，使用寿命长。

公开(公告)号：CN201802574U

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200920243053.0

申请日：2009-11-03

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 杨涛 ,  刘婷婷 ,  梁晋涛 ,  韩宾 ,  高杨 ,  谭先吉 ,  冯月晖 ,  白竹川 ,  周玲 ,  孟凡超

IPC: F04B19/00 ,  B81B7/02 ,  B81B1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本实用新型公开了一种硅基微型电渗泵三维阵列。包括单个微泵、微泵二维阵列、三维阵列的结构。二维阵列包括由硅基构组成的框体，其特征在于，在硅基上干法蚀刻技术刻蚀出的高宽比二维阵列微槽构成电渗流微通道以及进出水口。然后在玻璃盖上制作出薄膜电极。通过大面积对准阳极键合适当的二维阵列得到硅基微型电渗泵三维阵列。本实用新型硅基电渗泵三位阵列结构简单，易于集成到微通道冷却系统中，极大提高了冷却效率。

公开(公告)号：CN201054553Y

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200720079757.X

申请日：2007-05-29

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 杨涛 ,  杨黎明 ,  李磊民 ,  胡莉 ,  高杨 ,  韩宾 ,  何叶 ,  冯月晖 ,  刘婷婷 ,  谭先吉

IPC: H02N2/18 ,  H02M7/06 ,  H02M3/00 ,  H02J15/00

Abstract: 一种基于压电陶瓷振动发电的无线传感器网络节点供电装置。该装置由压电换能器(11)、电量收集装置(12)和压电振动电源(13)顺序电连接。电量收集装置(12)包括全桥整流电路(6)，短周期电容(7)以及稳压管(8)。压电振动电源(13)又包括DC/DC转换器(9)和长周期电容(10)。振动的机械能通过压电换能器(11)转化为电能，经过电量收集装置(12)整流、储能，最终形成变压后的压电振动电源(13)为无线传感器网络节点供电。本装置采用优化电路设计，充分考虑了控制装置的功耗，能够将环境中的振动能量转换为电能，并且能够实现净输出功率最大化，为功率较小的节点提供电源。