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公开(公告)号：CN117238789A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202310013326.7
申请日：2023-01-05
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种用于处理衬底的设备和衬底烘烤设备的冷却模块。衬底处理设备包括：热板，用于加热衬底；以及冷却单元，用于冷却热板；其中，冷却单元包括支撑板，具有形成在支撑板与热板之间的空间，以及多个喷嘴，安装在支撑板上用于向热板的底表面供应冷却气体，其中在支撑板中提供呈贯通结构设置的室外空气入口通道，其中室外空气入口通道的一部分形成缆线穿过的第一区域，并且其余部分形成缆线没有穿过且引入室外空气的第二区域。
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