多层基板及使用了该多层基板的半导体装置

    公开(公告)号:CN100464973C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN00118480.6

    申请日:2000-06-28

    Abstract: 本发明提供一种没有因热疲劳引起的连接部分的破坏的多层基板。本发明的多层基板1中,交替地层叠了聚酰亚胺膜11~16与铜膜21~26。通过使聚酰亚胺膜11~16的热膨胀系数为2-5ppm/℃,可使多层基板1整体的热膨胀系数不到10ppm/℃。由于接近于所安装的半导体元件的热膨胀系数,故与半导体元件的连接部分不受到破坏。可将本发明的多层基板1用作插入板或母板。

    多层基板
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1279157A

    公开(公告)日:2001-01-10

    申请号:CN00118480.6

    申请日:2000-06-28

    Abstract: 本发明提供一种没有因热疲劳引起的连接部分的破坏的多层基板。本发明的多层基板1中,交替地层叠了聚酰亚胺膜11~16与铜膜21~26。通过使聚酰亚胺膜11~16的热膨胀系数为2~5ppm/℃,可使多层基板1整体的热膨胀系数不到10ppm/℃。由于接近于所安装的半导体元件的热膨胀系数,故与半导体元件的连接部分不受到破坏。可将本发明的多层基板1用作插入板或母板。

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