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    振动器件、电子设备以及移动体
    11.
    发明授权
    振动器件、电子设备以及移动体 有权

    公开(公告)号：CN111865259B

    公开(公告)日：2023-06-02

    申请号：CN202010330386.8

    申请日：2020-04-24

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 竹内淳一 ,  水口彰 ,  蝦名昭彦 ,  山崎隆

    IPC: H03H9/19 ,  H03H9/10

    Abstract: 本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。振动器件具有：基座基板，其由硅构成，具有第1面以及与所述第1面相反的一侧的第2面；盖体，其与所述基座基板接合；振动元件，其配置于所述基座基板的所述第1面，并被收纳于所述基座基板与所述盖体之间；以及热敏电阻元件，其配置于所述基座基板。

    振动片、振子、振荡器以及电子设备
    14.
    发明公开
    振动片、振子、振荡器以及电子设备 失效

    公开(公告)号：CN102629860A

    公开(公告)日：2012-08-08

    申请号：CN201210020835.4

    申请日：2012-01-30

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆

    IPC: H03H9/19 ,  H03H9/13

    CPC classification number: H03H9/1021 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/215

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，振动片具有在厚度方向上振动的振动臂，且能够维持Q值。石英振动片(1)具有：基部(10)；从基部(10)起在Y轴方向上延伸的3根振动臂(11a、11b、11c)，振动臂(11a、11b、11c)排列在与Y轴方向垂直的X轴方向上，在沿着由Y轴方向和X轴方向确定的平面的主面(10a)上具有激励电极(12a、12b、12c)，且在与主面(10a)垂直的Z轴方向上振动，在设振动臂内的、位于排列的中央的振动臂(11b)的X轴方向臂宽为W1、振动臂(11a、11c)的X轴方向臂宽为W、振动臂(11b)的激励电极(12b)的X轴方向电极宽度为A1、振动臂(11a、11c)的激励电极(12a、12c)的X轴方向电极宽度为A时，1.35＜W1/W＜1.90且1.35＜A1/A＜1.90。

    声表面波元件片及其制造方法以及声表面波装置
    15.
    发明公开
    声表面波元件片及其制造方法以及声表面波装置 失效

    公开(公告)号：CN1652461A

    公开(公告)日：2005-08-10

    申请号：CN200410102254.0

    申请日：2004-12-10

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆 ,  饭泽庆吾

    IPC: H03H9/25

    CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/14547 ,  H03H9/14594

    Abstract: 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°～135°、±(40°～49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、φ°)时，PFA＝0.374(θ°－90°)－10.0°。由此，可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。

    振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体
    17.
    发明授权
    振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体 失效

    公开(公告)号：CN104300935B

    公开(公告)日：2018-12-14

    申请号：CN201410344675.8

    申请日：2014-07-18

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆 ,  蝦名昭彦 ,  田端强诗 ,  柳泽秀和

    IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体，能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于，其具有：基部(10)；从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c)；设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1)；设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2)；配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13)；以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14)，第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN，绝缘膜(14)的材料中含有SiO2，压电体(13)的材料中含有AlN。

    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
    18.
    发明公开
    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 无效

    公开(公告)号：CN108768339A

    公开(公告)日：2018-11-06

    申请号：CN201810598432.5

    申请日：2014-02-20

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆

    IPC: H03H9/05 ,  H03H9/21

    CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/0547

    Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。该振动片具有：基部，其设置于平面上，该平面包含第1轴和垂直于所述第1轴的第2轴；连接部，其厚度比所述基部的厚度小，从所述基部起沿着所述第1轴延伸设置；以及振动臂，其从所述连接部的一端起沿着所述第1轴延伸设置，所述振动臂相对于所述平面沿着垂直方向进行弯曲振动，所述连接部被设置成：所述连接部在所述第1轴的方向上的长度L2与所述振动臂在所述第1轴的方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。

    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
    19.
    发明授权
    振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体 失效

    公开(公告)号：CN104006808B

    公开(公告)日：2018-06-19

    申请号：CN201410057919.4

    申请日：2014-02-20

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 山崎隆

    IPC: G01C19/5607 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5621

    CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/0547

    Abstract: 提供耐冲击性优异且可抑制振动泄漏的产生的振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。作为振动片的音叉型振动片（1）包含：形成在包含第1轴和与其垂直的第2轴的平面上的基部（14）；从基部（14）起沿第1轴方向以比基部（14）的厚度薄的厚度延伸设置的连接部（20）；从连接部（20）的端部（20a）起沿第1轴方向以与连接部（20）的厚度相同的厚度延伸设置的振动臂（11、12、13），振动臂（11、12、13）沿着与所述平面垂直的方向进行弯曲振动，连接部（20）被设置成连接部（20）在第1轴方向上的长度L2与振动臂（11、12、13）在第1轴方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。

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