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公开(公告)号：CN103913836A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410001372.6
申请日：2014-01-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T156/10 , Y10T156/1056
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：变更固定反射膜（54）及可动反射膜（55）之间的间隙尺寸的静电致动器（56）；与静电致动器（56）连接的固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）；及具备顶面部（531）和侧壁部（532）的第三基板（53），接合侧壁部（532）的端面及第一基板（51），由顶面部（531）、侧壁部（532）以及第一基板（51）围成的空间（D1）被气密密封，在空间（D1）中，配置有第二基板（52）及静电致动器（56），固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）设置于第一基板（51），跨空间（D1）的内外而延伸。
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公开(公告)号：CN102375173A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110237058.4
申请日：2011-08-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/251 , G01N21/255
Abstract: 本发明提供一种干涉滤光片、光模块及分析装置。该干涉滤光片的特征在于，包括隔着间隙对置的2个反射膜以及支撑所述反射膜的基板，其中，所述反射膜包含纯银膜及银合金膜，在所述基板上，从所述基板侧开始依次设置所述纯银膜及所述银合金膜，所述银合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜，或者是含有银(Ag)、铋(Bi)及钕(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。
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公开(公告)号：CN102346271A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110203270.9
申请日：2011-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , C22C5/06 , C22C5/08 , G01J1/0488 , G01J3/46 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于，该干涉滤光器的固定反射镜以及可动反射镜的合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜或是含有银(Ag)、铋(Bi)以及铷(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101219599A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810002325.8
申请日：2008-01-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2002/14411 , B41J2202/03 , C23C16/40 , H02N1/004
Abstract: 本发明提供了一种用于静电驱动方式的喷墨头等的静电执行机构、液滴喷出头、它们的制造方法、以及液滴喷出装置。在静电执行机构的绝缘结构中，可使静电执行机构的产生压力得到提高，并可实现提供驱动的稳定性及驱动耐久性。本发明的静电执行机构包括：固定电极(5)，形成在基板上；可动电极(6)，隔着规定间隔与该固定电极(5)对置配置；以及驱动单元，使固定电极(5)与可动电极(6)之间产生静电力，并使可动电极(6)发生位移，在静电执行机构中，在固定电极(5)和可动电极(6)中至少一个的对置面上形成有由HfxAlyOz膜构成的绝缘膜(7)。
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公开(公告)号：CN117048204A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310527629.0
申请日：2023-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及单晶硅基板、液体喷头以及单晶硅基板的制造方法，改善形成在硅基板上的贯通孔中的液体的流动。一种单晶硅基板(40)，至少一部分构成液体的流路(51)，所述单晶硅基板(40)具备贯通孔(N)，该贯通孔(N)构成流路(51)的一部分，并且在与单晶硅基板(40)的基板面交叉的方向上贯通单晶硅基板(40)，贯通孔(N)具有条纹状部(L)，该条纹状部(L)由金属辅助化学蚀刻形成，并且延伸设置有沿着液体的流动方向的凹部及凸部中的至少一方。
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公开(公告)号：CN117048203A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310524324.4
申请日：2023-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及单晶硅基板、液体喷头以及单晶硅基板的制造方法，制造一种小型且高分辨率的液体喷头。一种至少一部分构成液体的流路的单晶硅基板(20)，具备：第一贯通孔(21)，具有相对于单晶硅基板(20)的基板面(20a)以及(20b)倾斜的倾斜侧壁(21a)；以及第二贯通孔(22)，构成流路(51)，并且由相对于基板面(20a)以及(20b)比倾斜侧壁(21a)更接近垂直的垂直侧壁(22a)构成侧壁，第一贯通孔(21)由结晶各向异性蚀刻形成，第二贯通孔(22)由金属辅助化学蚀刻形成。
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公开(公告)号：CN103217732B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310012209.5
申请日：2013-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/284 , G01J1/0488 , G02B5/0808 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括：隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括：Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜，其中，按原子数计，Ag‑Sm‑Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，Ag‑Bi‑Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，含有0.1％以上5.0％以下的Nd，上述Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
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公开(公告)号：CN104880817A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510090065.4
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；静电致动器(50)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着，导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且，可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着，导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。
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