公开(公告)号：CN204733386U

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201520166079.5

申请日：2015-03-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 疏学明 ,  唐诗洋 ,  马鑫 ,  王国栋

IPC: H04W4/02 ,  H04W64/00

Abstract: 本实用新型提出了一种被困人员搜寻定位系统，包括：用于建立临时通讯基站的协议控制及数据处理装置，其基于SDR技术运行移动通信协议；用于将接收或发送给移动终端的信号进行放大处理的信号放大/集约装置；信号收发装置，用于与移动终端进行通信；A/D转换装置；定位计算装置，以根据搜索到的移动终端信号定位移动终端；供电模块，用于为被困人员搜寻定位系统供电。本实用新型实施例的系统不但定位范围广、成本低，而且不依赖于专用设备，提高使用适用性，以及便携性好，不依赖于市电供电，使用灵活，更好地保证系统的可靠性。

公开(公告)号：CN206105604U

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201621056481.9

申请日：2016-09-14

Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 ,  清华大学

Inventor： 许振杰 ,  陈祥玉 ,  王剑 ,  庞伶伶 ,  沈攀 ,  王国栋 ,  裴召辉 ,  郑全午 ,  陈映松 ,  王同庆 ,  李昆 ,  路新春

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B41/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/06 ,  B24B55/06

CPC classification number: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B41/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/06 ,  B24B55/06 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种化学机械抛光系统，所述化学机械抛光系统包括：前端模块，所述前端模块用于存储和/或检测晶圆；多个抛光单元，多个所述抛光单元并排设置，且至少一个邻近所述前端模块；抛光机械手，所述抛光机械手设在多个所述抛光单元之间用以传递晶圆；后清洗单元，所述后清洗单元与所述抛光单元和所述前端模块均相连，且设置为清洗时晶圆纵置；中转机械手，所述中转机械手用于将晶圆在所述抛光单元与所述后清洗单元之间顺次传递。本实用新型的化学机械抛光系统，生产效率高，工艺流程更加灵活，清洗效果更好，且后清洗单元的体积小，结构紧凑。