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公开(公告)号：CN119392374A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411847744.7
申请日：2024-12-16
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明提供一种碳化硅外延生长设备，包括腔体、阀组、压力控制组件和物料转移机构。腔体内设置有生长腔室、传输腔室、衬底片暂存腔室和外延片暂存腔室。阀组包括设置在衬底片暂存腔室与传输腔室之间的第一开关阀、设置在生长腔室与传输腔室之间的第二开关阀和设置在外延片暂存腔室与传输腔室之间的第三开关阀。压力控制组件包括用于控制衬底片暂存腔室内压力的第一压力控制器和用于控制外延片暂存腔室内压力的第二压力控制器。物料转移机构设置在传输机构内。本发明提供的碳化硅外延片生长设备，在衬底片或外延片转移时仅需调整衬底片暂存腔室和外延片暂存腔室的压力即可，节省生长时间，且可以更好的保障生长腔室的洁净度。
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公开(公告)号：CN119374504A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411758100.0
申请日：2024-12-03
Applicant: 海南大学三亚研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种适用于晶圆测试零点位置识别的晶圆膜厚测试托盘，包括：托盘本体，所述托盘本体的零点位置处开设有凹槽，所述凹槽内装配有与所述凹槽相适配的模块，所述模块与第一反射式光电开关相对应的弧面上涂覆有第一反光涂层，所述模块与第二反射式光电开关相对应的侧面上涂覆有第二反光涂层，所述第一反光涂层与所述第二反光涂层为分体式设计。本发明的托盘在零点位置处开设凹槽并填充模块，在模块的两个侧面上分别设置反光涂层，模块更换安装方便，不需要特别的定位，直接安装，省时省力。
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公开(公告)号：CN116046814A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310112695.1
申请日：2023-02-13
Applicant: 海南大学
IPC: G01N23/046 , G01N35/04 , G06T17/00 , G06T11/00 , G06V10/26
Abstract: 本发明提供一种基于全自动微型CT的坚果品质无损检测装置及检测方法，其中的方法包括S1、使用搬运机构将坚果搬运至载物旋转台上；S2、保持微焦斑射线源与平板探测器静止不动，通过PLC控制器控制载物旋转台等间歇旋转，实现微焦斑射线源对坚果的全角度照射；S3、在载物旋转台的间歇停止时，通过平板探测器采集坚果各个角度的面阵列图像，得到坚果的全角度面阵列图像，并传输至计算机；S4、计算机基于全角度面阵列图像进行断层重建及图像处理，获得坚果的品质性状参数。本发明能够通过视觉识别技术实现对坚果的品质性状参数的无损检测，相比人工的性状检测方式与传统的培养法检测霉菌侵染的方式，能够大幅度提升检测精度与效率。
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公开(公告)号：CN119642105A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411834047.8
申请日：2024-12-13
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明涉及一种用于无缓冲条件下制氢机稳定自动供气装置，包括：制氢装置和使用终端，所述制氢装置和所述使用终端通过输送管路连接；三通阀，设置于所述制氢装置和所述使用终端之间的输送管路上，所述三通阀的旁通阀口通过排空管路连接有阻火器。本发明通过小型制氢装置产生氢气在三通阀通过手动或PLC控制下，调节供气压力、制氢装置功率，稳定的给使用终端供给氢气，且最大限度减少氢气排放，减少电能消耗。
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公开(公告)号：CN119631633A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411742168.X
申请日：2024-11-29
Applicant: 海南农乐南繁科技有限公司 , 海南大学三亚研究院
IPC: A01C1/00
Abstract: 本发明涉及现代农业机械技术领域，特别是一种一体化种子处理设备及控制系统，包括加工组件，包括搅拌件、设于所述搅拌件下方的运输件、设于所述运输件外部的除杂件和设于所述除杂件外部的筛选件；本发明通过一体化设计和智能控制系统，实现了种子加工过程的全自动化，显著提高了生产效率，降低了人力和物力成本，同时确保了种子加工的连续性和稳定性，可以实现种子加工过程的精确控制和优化，提高效率，降低成本，确保种子质量，从而推动农业生产的现代化和可持续发展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119370170A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411857626.4
申请日：2024-12-17
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明公开了一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，包括转运车、转运模具和防护盖，转运车上设有至少两个呈上下排列的托盘，每个托盘内放置一个转运模具，每个转运模具上设有多个用于放置不同类型石墨件且与其形状匹配的容纳槽，容纳槽与其内的石墨件处于贴合状态，每个转运模具上覆盖有一个防护盖以将容纳槽盖住，本发明设计了与石墨件配合的转运模具，每个石墨件放置在转运模具上对应的容纳槽内，石墨件之间不接触，石墨件与转运车之间也不接触，石墨件不会在转运过程中与转运车发生磕碰，稳定的运输环境确保了石墨件的物理结构完整，延长了石墨件的使用寿命；防护盖将石墨件罩住，避免在转运过程中石墨件的表面被沾染灰尘、碎屑等杂质。
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公开(公告)号：CN119811981A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411783004.1
申请日：2024-12-06
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明公开了一种碳化硅外延生长的预处理方法及其应用，涉及半导体技术领域。该预处理方法包括如下步骤：S1.将碳化硅衬底置于碳化硅外延系统反应室内；S2.调整反应压力和氢气流量，所述调整的方式为以下a)～c)的至少一种：a)保持反应温度不变，调整氢气流量，再保持反应温度和氢气流量不变，调整反应压力；b)保持反应温度和氢气流量不变，调整反应压力，再保持反应温度和反应压力不变，调整氢气流量；c)保持反应温度不变，同时调整氢气流量和反应压力；S3.利用氢气吹扫所述碳化硅衬底表面；S4.保持步骤S2调整后的所述氢气流量和所述反应压力不变，调整反应温度；S5.利用氢气吹扫所述碳化硅衬底表面。
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公开(公告)号：CN119640397A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411857621.1
申请日：2024-12-17
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于碳化硅外延炉的连续生长方法，该方法通过设置有晶片传递机构的传输腔室设计替代人工放片，可一次性导入多片晶片并连续生长提高了生产效率，晶片放置及传递全机械化减少了人工的干扰，提升产品良率并降低生产成本；同时，本发明设置了与传输腔室连通的衬底片暂存箱和外延片暂存箱，暂存箱可存放衬底或外延片，并在各腔室之间设置闸板阀，在暂存箱打开时闸板阀升起以隔离外界与传输腔室的接触，保障腔室的洁净度；在暂存箱关闭后，闸板阀落下以实现腔室的连通。
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公开(公告)号：CN119393974A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411762329.1
申请日：2024-12-03
Applicant: 海南农乐南繁科技有限公司 , 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明涉及种子烘干的技术领域，尤其涉及一种烘干箱及烘干设备，包括，箱体；以及，烘干组件，其至少设有两个，且设置于所述箱体中，其包括进气部，以及设置于进气部中的多个出气孔；多个所述进气部分层设置于所述箱体中。该烘干箱及烘干设备，通过多个烘干组件在箱体内部形成多层烘干效果，将箱体内部的种子进行多层烘干，提高烘干效率与效果，增加繁育效果。
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