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公开(公告)号：CN119374504A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411758100.0
申请日：2024-12-03
Applicant: 海南大学三亚研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种适用于晶圆测试零点位置识别的晶圆膜厚测试托盘，包括：托盘本体，所述托盘本体的零点位置处开设有凹槽，所述凹槽内装配有与所述凹槽相适配的模块，所述模块与第一反射式光电开关相对应的弧面上涂覆有第一反光涂层，所述模块与第二反射式光电开关相对应的侧面上涂覆有第二反光涂层，所述第一反光涂层与所述第二反光涂层为分体式设计。本发明的托盘在零点位置处开设凹槽并填充模块，在模块的两个侧面上分别设置反光涂层，模块更换安装方便，不需要特别的定位，直接安装，省时省力。
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公开(公告)号：CN119615371A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411847749.X
申请日：2024-12-16
Applicant: 海南大学三亚研究院
Abstract: 本发明涉及一种防止石墨气浮托盘摩擦卡滞的装置，包括下半月件、中心转轴和气浮托盘，下半月件的横断面设置为下半圆环形；下半月件的顶面开设圆形的托盘凹槽，托盘凹槽的底面开设有台阶孔结构的第一圆形凹槽、第二圆形凹槽和通孔；第一圆形凹槽的顶部设置倒角，倒角处开设有通孔式的排气孔；下半月件的顶壁侧面开设进气孔，托盘凹槽处开设有出气孔，进气孔与出气孔连接；中心转轴设置为圆管状；中心转轴固定设置在第二圆形凹槽中；气浮托盘设置为圆盘状且底部设置圆环形的凸起，凸起转动设置在第一圆形凹槽中，并转动套设在中心转轴的外部；其能够通过排气孔排出颗粒粉末，避免托盘与下半月之间存在摩擦导致托盘无法旋转的现象。
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公开(公告)号：CN119372775A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411834050.X
申请日：2024-12-13
Applicant: 海南大学三亚研究院
IPC: C30B25/12 , C30B29/36 , C23C16/458
Abstract: 本发明公开了一种用于碳化硅生长装置的涂层环，包括：环体，其正面为水平面，环体中部开设有与石墨托盘嵌合的通槽；环体内边缘包括圆弧面和竖直面，环体的竖直面形成与石墨托盘的凸起部平边相接触的定位平边；在靠近环体内边缘的位置处开设有4个盲孔，其中两个盲孔分别靠近环体的两个平边角处，另外两个盲孔均靠近环体的圆弧面处；固定柱，四根固定柱分别嵌入四个盲孔中，四根固定柱边缘与衬底边缘形成两个相切圆结构以将衬底定位在环体的水平面上，由此减少衬底外边缘与环体内边缘之间的接触面。本发明可以避免涂层环内边缘在外延生长过程中生长出副产物与衬底边缘粘住和导致涂层环内圆会逐渐缩小，取片碎片现象有明显改善，成本显著降低。
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公开(公告)号：CN119340230A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411698124.1
申请日：2024-11-26
Applicant: 海南大学三亚研究院
IPC: H01L21/66 , H01L21/687 , G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种用于汞CV掺杂浓度检测的兼容多尺寸晶圆平台，包括：载物平台，载物平台上开设有若干个同心布置的环形槽，且每一环形槽对应一个规格尺寸的待检测晶圆的大小，每一环形槽内沿周向开设有若干个盲孔；晶圆承载柱，多根晶圆承载柱可拆卸地嵌入与待检测晶圆相同规格尺寸的环形槽的盲孔内，且晶圆承载柱的顶端高于载物平台的上表面，晶圆承载柱用于承载待检测晶圆。本发明在切换测试不同规格尺寸的待检测晶圆时，不需要将平台拆卸更换，只需拆移晶圆承载柱即可，省时省力，且不需要备多个尺寸的平台，节约成本，并且通过晶圆承载柱可将待检测晶圆撑起来以减少晶圆正面与载物平台之间的接触，可以减少因接触的原因造成晶圆表面的缺陷。
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