公开(公告)号：CN212216447U

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN202020635241.4

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈利锋 ,  储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: B08B3/12 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽、塑料支架以及兆声波振动板；所述塑料支架的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽与所述塑料支架二者固定连接且所述石英清洗槽的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架的底部与所述兆声波振动板相触接。本实用新型通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN211719566U

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202020635257.5

申请日：2020-04-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 储冬华 ,  赵芹 ,  邵树宝 ,  王福亮 ,  陈利锋 ,  何婷婷 ,  陈素荣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型揭示了一种清洗机花篮驱动装置，与清洗设备相匹配，包括用于承载待清洗晶圆片的花篮机构，还包括用于带动花篮机构进行圆周方向摇动的晃动机构以及用于带动花篮机构进行垂直方向上整体移动的提升机构；花篮机构的设置位置与清洗设备的化学清洗槽的位置相匹配，花篮机构与晃动机构间传动连接、并通过晃动机构与提升机构间传动连接，提升机构与清洗设备的上隔板固定连接。本实用新型通过良好的机械传动结构，减少了伺服电机的使用，降低了装置局部的材料承载力的要求，在显著提升装置使用过程中的稳定性的同时，还充分地控制了装置整体的生产成本、减轻了加工企业的负担。

公开(公告)号：CN214168173U

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202023290162.3

申请日：2020-12-30

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 邵树宝 ,  王福亮 ,  储冬华 ,  陈利锋 ,  赵芹 ,  周雨英 ,  陈宇

IPC: C25D7/12 ,  C25D17/00 ,  C25D17/06 ,  C25D5/02

Abstract: 本实用新型揭示了一种TSV电镀设备阴极导电环装置，包括基板、电极片、密封板，基板上设有第一接电端子、电镀孔，电极片包括闭环状的主体部以及在主体部外周间隔设置的若干第二接电端子，主体部与电镀孔对位设置，主体部内周间隔均匀设有一圈弹片，弹片上衬设有用于密封半导体工件正面边缘的密封圈，密封板与基板通过螺栓连接以压合密封半导体工件背面。本实用新型通过弹片、密封圈对半导体工件正面边缘进行密封保护，通过密封板对半导体工件背面进行密封保护，可以直接制备得到仅在正面中间位置存有金属层的电镀半导体工件，同时，通过将导电线设置在导线槽中并填充绝缘层，将导电线与电镀液隔开，可以避免导电线被腐蚀。

公开(公告)号：CN210325718U

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201921594983.0

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎 ,  赵芹

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置，包括槽体和设置在槽体底部的溢流机构，溢流机构包括竖直设置的进水管和水平设置在进水管顶端的分布头，进水管的底端内壁上凸起设有台面，分布头包括圆弧板、连接座、导流板、分流柱、侧挡板，圆弧板上沿周向间隔均匀设有多排溢流孔，多排溢流孔孔径由圆弧板顶部向两侧底部逐渐加大，分流柱与连接座固定连接且贯穿分布空间设置，分流柱底面为圆弧面，圆弧面轴线垂直于圆弧板和进水管的轴线。本实用新型进水管从分布头中部进水，进水管底端管径小于顶端管径，分布空间中间大两头小的空间构造，圆弧板上溢流孔的孔径变化设计，以及分流柱结构，使得各个溢流孔喷出的水流均匀，清洗效果好。

公开(公告)号：CN210566232U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921596150.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 赵芹 ,  陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎

IPC: F16J15/16

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，包括至少两块挡片，挡片相互层叠设置，位于最内层的挡片与晶圆蚀刻设备的机壳外壁固定连接，每块挡片上均设有条形孔，最内层挡片上的条形孔长度不小于升降杆的移动距离，最外层挡片上的条形孔与升降杆的形状适应设置，各层挡片的长度以及挡片上条形孔的长度在由内至外的方向上依次递减，以使随升降杆上下移动的过程中外层挡片始终完全遮挡相邻内层挡片上的条形孔，最内层的挡片底部还固定设有承托片；除最内层挡片外的所有挡片内侧面上均沿边缘设有磁条，以使相邻的挡片紧贴吸合。本实用新型结构简单，制造成本低，具有占用空间小，无易损件，使用寿命长，运行平稳，安装方便的优点。