基于信息熵自适应决策融合的晶圆图缺陷模式识别方法

    公开(公告)号:CN117422967A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311453152.2

    申请日:2023-11-03

    Abstract: 本发明提出一种基于信息熵自适应决策融合的晶圆图缺陷模式识别方法,结合不同深度卷积神经网络(DCNN)提取特征优势的信息熵自适应决策融合深度学习模型用于晶圆图缺陷模式识别。不同DCNN对不同缺陷模式识别效果各有优势,通过计算信息熵给不同DCCN的全连接层提取到的特征自适应赋予合理的权重,进而对输出结果进行决策融合得到最终融合特征。该融合特征更具有表达性,能够进一步提高最终的晶圆图识别分类准确率。最后,将融合特征输入到纠错输出编码和支持向量机(ECOC‑SVM)结合模型,以实现晶圆图缺陷模式识别分类。本发明能够准确识别并分析晶圆图缺陷模式,有利于提高晶圆生产的良率,对国家半导体制造技术发展具有极大的现实意义。

    一种基于YOLOV5算法的无人机检测方法

    公开(公告)号:CN114758255A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210350981.7

    申请日:2022-04-02

    Abstract: 本发明涉及目标检测技术领域,具体涉及一种基于YOLOV5算法的无人机检测方法,包括采集无人机图像数据,并对所述图像数据进行筛选和标注,得到训练集和验证集;利用所述训练集和所述测试集对网络模型进行训练,得到检测模型;利用所述检测模型对无人机视频进行检测,得到检测结果,经所述训练集和所述测试集训练得到的所述检测模型能够提高对无人机等小目标在复杂背景或聚集情况下的检测准确率,减少误检、漏检的概率,解决现有的无人机检测技术对小目标不敏感,在目标密集的情况下,检测误差较大的问题。

    一种光栅投影轮廓有效点自动提取方法及系统

    公开(公告)号:CN110645920B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201910915664.3

    申请日:2019-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种光栅投影轮廓有效点自动提取方法及系统,方法包括以下步骤:在PC机上编码生成正弦条纹图像;投影仪将所述正弦条纹图像投影到被测物表面;CMOS相机采集所述被测物的多幅调制图像;通过软件编程解包裹相位,重建所述被测物的三维轮廓;其中,在获取所述调制图像以后,把像素点聚类设置为背景点、边界点与目标点三类,并分别确定边界点初始质心、目标点初始质心和背景点初始质心;进行聚类处理,定义一个阈值tm,第t次聚类时,质心前后两次迭代的质心值之间的差值小于阈值tm时,即可认为此时的质心趋近于收敛;如果目标点质心趋近于收敛,则把大于c3t的点移除数据列表;如果背景点质心趋近于收敛,则把小于c1t的点移除数据列表。

    一种基于机器学习的TSV空洞检测方法

    公开(公告)号:CN110543905A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201910796375.6

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于机器学习的TSV空洞检测方法,包括获取TSV半径,并以半径为数据分类依据,设置标签;获取样本数据基于极限学习机算法输出节点个数;其中,所述样本数据包括激励频率、输入反射系数、反向传输系数和标签;基于粒子群算法对节点个数进行优化,得到期望节点个数;实现通过不同频率的激励信号和S参数,利用PSO-ELM模型对其进行分类处理,预测发生空洞故障的大小,提高了TSV故障检测准确率。

    一种实时云纹干涉图高速相位提取系统及提取方法

    公开(公告)号:CN110243289A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201811606986.1

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明提出一种实时云纹干涉图高速相位提取系统,包括相位测量系统和控制模块,所述测量系统包括激光器、分光耦合器、相移器、隔振平台、底座、平移台、多维调节加载架、试件放置台、云纹干涉光路结构、可调节支杆、图像采集模块;所述控制模块与图像采集模块电连接;激光器、分光耦合器、相移器、底座设置于所述隔振平台上,平移台设置于底座上,多维调节加载架设置于平移台上,试件放置台设置于多维调节加载架上,激光器通过分光耦合器与云纹干涉光路结构连接,云纹干涉光路结构设置于试件放置台的上方空间;移相器与试件放置台连接;激光器发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面,由待测试件反射至图像采集模块中。

    一种变压器故障在线检测方法及系统

    公开(公告)号:CN109855740A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910018376.8

    申请日:2019-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种变压器故障在线检测方法及系统,首先获取一变压器的红外热成像图以得到所述变压器内的温度分布;然后再获取所述变压器内部的气体成分信息;最后根据所述红外热成像图及所述气体成分信息判断所述变压器是否发生故障及其故障类型。本发明结合红外热成像仪与气体检测仪采集的数据,在上位机上建立故障诊断模型,对故障的类别进行智能分析诊断定位,并及时对工作人员发起警报,实时监控和故障诊断,减轻了监控人员以及维修人员的负担,使维修人员更加有针对性地快速对故障进行相应处理。

    混合信号电路边界扫描测试系统及测试方法

    公开(公告)号:CN102818986A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201210296485.4

    申请日:2012-08-20

    Abstract: 本发明为混合信号电路边界扫描测试系统及测试方法,本系统微机经微处理器连接混合信号电路边界扫描测试控制器的处理器接口。混合信号电路边界扫描测试控制器包括主机模块及经读写数据总线与之连接的各功能模块,其中模拟仪器平台的混合信号控制接口连接包括程控信号源和电压采集模块的模拟仪器平台。本测试方法包括数字信号和模拟信号电路的测试,前者与现有技术相同,后者步骤为Ⅰ配置信息,Ⅱ测试指令,Ⅲ发送测试矢量连接测试点,Ⅳ模拟激励控制,Ⅴ采集响应电压。对各种测试模型,重复Ⅲ-Ⅴ,由激励的大小及响应结果建立方程,求得被测电路的参数或性能指标。本发明解决了矢量施加、激励施加及电压采集的同步;实现混合信号电路在线测试。

    混合信号电路边界扫描测试控制器

    公开(公告)号:CN102809934A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201210297138.3

    申请日:2012-08-20

    Abstract: 本发明为混合信号电路边界扫描测试控制器,包括主机模块及经读写数据总线与主机模块连接的计数模块、命令模块、测试时钟分频器、通用寄存器组、模拟寄存器组、串行扫描模块和模拟仪器平台控制模块,并配有处理器接口和测试总线接口。模拟仪器平台控制模块配有混合信号控制接口,该接口连接产生电压/电流激励信号的程控信号源和采集被测电路响应信号的电压采集器。主机模块的处理器接口连接微处理器。串行扫描模块配有两组测试总线接口,混合信号控制接口为SPI接口、与模拟仪器平台连接。本控制器便于组装混合信号电路边界扫描测试系统进行数字/模拟边界扫描测试,解决了数字矢量施加、模拟测试激励施加及电压采集三者的同步问题。

    一种基于石墨烯柔性应变传感器的佩戴检测头盔

    公开(公告)号:CN119586827A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411750459.3

    申请日:2024-12-02

    Abstract: 本发明提出了一种基于石墨烯柔性应变传感器的佩戴检测头盔,包括头盔主体,所述头盔主体上固定有头盔下颏带,所述头盔下颏带是由可拉伸的柔性材料制成,其头盔下颏带上缝合有石墨烯柔性应变传感器,所述石墨烯柔性应变传感器与单片机控制电路板相连接,所述单片机控制电路板固定在头盔主体的内胆里。本发明利用石墨烯柔性应变传感器被拉伸的程度来检测头盔下颏带是否系紧,有效解决头盔是否被正确佩戴的问题,保障用户驾驶安全。

    一种实时云纹干涉图高速相位提取系统及提取方法

    公开(公告)号:CN110243289B

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN201811606986.1

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明提出一种实时云纹干涉图高速相位提取系统,包括相位测量系统和控制模块,所述测量系统包括激光器、分光耦合器、相移器、隔振平台、底座、平移台、多维调节加载架、试件放置台、云纹干涉光路结构、可调节支杆、图像采集模块;所述控制模块与图像采集模块电连接;激光器、分光耦合器、相移器、底座设置于所述隔振平台上,平移台设置于底座上,多维调节加载架设置于平移台上,试件放置台设置于多维调节加载架上,激光器通过分光耦合器与云纹干涉光路结构连接,云纹干涉光路结构设置于试件放置台的上方空间;移相器与试件放置台连接;激光器发出的光经过云纹干涉光路结构后照射到待测试件表面,由待测试件反射至图像采集模块中。

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