公开(公告)号：CN101715422A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200880021740.6

申请日：2008-05-09

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/02

Abstract: 本发明公开一种通过流体使具有下表面的对象物悬浮，然后对其进行输送的悬浮输送装置。悬浮输送装置具有悬浮装置、流体供给装置以及输送装置，所述悬浮装置具有基部以及喷出孔，所述基部具有平面状的上表面，所述喷出孔为了在所述上表面具有开口部而形成于所述基部上，由内周以及外周划分出来，所述内周至少在所述上表面附近朝向所述开口部包围的区域的内部倾斜，所述外周具有与所述内周平行的面以及与所述上表面相邻且不与所述内周平行的边缘面，在所述区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体产生均匀压力的空间，所述流体供给装置对所述流体施加压力，来向所述喷出孔供给所述流体，所述输送装置用于输送所述对象物。

公开(公告)号：CN101711219A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200880021799.5

申请日：2008-06-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G13/04 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明公开一种浮起传送系统，通过受压的流体来使具有下面的对象物浮起，且将该对象物从第一端朝向第二端传送，所述浮起传送系统具有：浮起装置，配置成从所述第一端朝向所述第二端隔着间隔形成列，且分别具有：基部，用于分割所述流体通过的小室，岛部件，具有呈平面状的上面、和包含与所述上面邻接且朝向所述上面的中心倾斜的斜面的侧面，且配置成可覆盖所述小室，外壁部件，用于围住所述岛部件，且具有与所述岛部件的所述侧面相对的内面、与所述上面对齐成在单一平面上的顶上面、配置在与所述第一端相对的端且选自由后退到与所述顶上面相比为下方的阶段面及可与所述对象物接触且可旋转的辊所构成的组中的一个，并且，所述侧面和所述内面通过与所述小室连通来分割用于喷出所述流体的喷出孔；传送装置，用于传送所述对象物。

公开(公告)号：CN101711217A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200880021700.1

申请日：2008-06-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 水野智夫 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G21/20 ,  B65G37/00 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67784

Abstract: 本发明公开一种悬浮输送装置，用于通过流体使具有下表面的对象物悬浮来进行输送。所述悬浮输送装置具有：悬浮装置、流体供给装置和输送装置。其中，所述悬浮装置具有：基部，其划分出所述流体通过的小室；板部，其具有上表面、和与所述小室连通而向所述上表面开口的一个以上喷嘴，且被配置成覆盖所述小室；壳体部件，具有朝向上端变窄的内表面，被配置在所述板部的上方，使得所述内表面和所述板部的所述上表面围住与所述喷嘴连通而朝向上方开口的空的空间；所述流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；所述输送装置，用于输送所述对象物。

公开(公告)号：CN101511709B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200680056004.5

申请日：2006-10-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  上田涉

IPC: B65G1/00 ,  B07C5/36

CPC classification number: B07C5/36

Abstract: 在将未分类盒(3)中收纳的多个基板(W)分类到分类目标盒(5)的基板分类系统(1)中，具有：将基板(W)收纳在任意位置的缓冲工作台(7)；在各盒(3)、(5)、缓冲工作台(7)两两之间按片输送基板(W)的装载装置(11)。

公开(公告)号：CN101815662B

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN200880109907.4

申请日：2008-09-11

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  和田芳幸 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67784 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02

Abstract: 本发明的用于利用流体使对象物悬浮地进行输送的悬浮输送装置，具备：分别具备上部体和腿部并沿第一方向以及第二方向排列的多个悬浮装置，该上部体具备上面并具备喷出上述流体在上述对象物和上述上面之间产生压力的喷出孔，该腿部为供给上述流体而与上述喷出孔连通且与上述上部体的下部连接并且为确保容许上述喷出来的流体逃散的通道而具有比上述上部体狭窄的外形；将上述流体向上述腿部供给的流体供给装置；以及用于输送对象物的输送装置。

公开(公告)号：CN101743185B

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN200880024656.X

申请日：2008-06-09

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  田中刈入

IPC: B65G49/06 ,  B65G51/03 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/065 ,  B65G47/53 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67784

Abstract: 直部中的多个浮起单元(17、29)的排列状态为交错排列，角部中的大部分浮起单元(45)的单元中心和多个假想的第1平行线(VP)与多个假想的第2平行线(VCP)的交点一致，多个假想的第1平行线(VP)平行于将第1传送方向(D1)和第2传送方向(D2)的交角二等分的假想二等分线(V)，且沿着垂直于假想二等分线(V)的方向等间隔设定；多个假想的第2平行线(VCP)平行于与假想二等分线(V)垂直的假想垂直线(VC)，且沿着假想的二等分线(V)的长度方向等间隔设定。

公开(公告)号：CN1966371B

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN200610147051.2

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  滨田幸三 ,  平田贤辅

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明公开了用于利用流体来使具有平面状下面的对象物(W)浮起的浮起装置以及利用了上述浮起装置的输送装置。浮起装置，具备：具备平面状上面的基部(7)；以及为了在上述上面具有开口部(11)而形成于上述基部(7)上、且为了在上述开口部(11)所包围的上述上面区域和上述对象物的上述下面之间产生以均匀压力流动上述流体的空间(A)而配置的用于喷出上述流体的喷出孔。

公开(公告)号：CN101743632B

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN200880024676.7

申请日：2008-05-20

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  田中刈入

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06

CPC classification number: H01L21/67236 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/6838

Abstract: 薄板输送装置包括：装置主体(17)，设在第一处理工位与上述第二处理工位之间的输送工位上；浮起单元，设在上述装置主体上并使薄板浮起；以及多个输送臂(35)，向X轴方向可移动且向Y轴方向隔开间隔设在装置主体(17)上，并向X轴方向延伸，在各输送臂(35)的X轴方向的一端侧分别设有在从第一薄板处理装置(3A、3B、3C)向装置主体(17)侧拉出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第一吸附垫(47)，在各输送臂(35)的X轴方向的另一端侧分别设有在从装置主体(17)向第二薄板处理装置(5A、5B、5C)送出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第二吸附垫(49)。

公开(公告)号：CN101815662A

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN200880109907.4

申请日：2008-09-11

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  和田芳幸 ,  田中刈入

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67784 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02

Abstract: 本发明的用于利用流体使对象物悬浮地进行输送的悬浮输送装置，具备：分别具备上部体和腿部并沿第一方向以及第二方向排列的多个悬浮装置，该上部体具备上面并具备喷出上述流体在上述对象物和上述上面之间产生压力的喷出孔，该腿部为供给上述流体而与上述喷出孔连通且与上述上部体的下部连接并且为确保容许上述喷出来的流体逃散的通道而具有比上述上部体狭窄的外形；将上述流体向上述腿部供给的流体供给装置；以及用于输送对象物的输送装置。

公开(公告)号：CN101743632A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200880024676.7

申请日：2008-05-20

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  田中刈入

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06

CPC classification number: H01L21/67236 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/6838

Abstract: 薄板输送装置包括：装置主体(17)，设在第一处理工位与上述第二处理工位之间的输送工位上；浮起单元，设在上述装置主体上并使薄板浮起；以及多个输送臂(35)，向X轴方向可移动且向Y轴方向隔开间隔设在装置主体(17)上，并向X轴方向延伸，在各输送臂(35)的X轴方向的一端侧分别设有在从第一薄板处理装置(3A、3B、3C)向装置主体(17)侧拉出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第一吸附垫(47)，在各输送臂(35)的X轴方向的另一端侧分别设有在从装置主体(17)向第二薄板处理装置(5A、5B、5C)送出薄板(W)时吸附薄板(W)的后表面的第二吸附垫(49)。