公开(公告)号：CN109844165A

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201880003976.0

申请日：2018-02-20

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 青代信 ,  清健介 ,  高桥明久

IPC: C23C14/12 ,  B05D1/32 ,  C23C14/04 ,  C23C14/58 ,  H01L51/50 ,  H05B33/04

Abstract: 本发明的树脂膜形成方法为在基板上形成图案化的树脂膜的方法，至少按顺序具备：第一工序，使用掩膜主体具有可挠性支撑部与粘结部重叠的结构的掩膜，以使所述粘结部相对于所述基板相接的方式来设置所述掩膜；第二工序，通过设置在所述掩膜主体的开口部，将汽化的树脂材料供给到所述基板并使其在该基板上凝缩，当在该基板上形成液状的树脂材料膜之后，对该树脂材料膜和所述掩膜照射UV光；以及第三工序，将所述掩膜从所述基板剥离。

公开(公告)号：CN107636192A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680031933.4

申请日：2016-06-07

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 加藤裕子 ,  矢岛贵浩 ,  远山佳宏 ,  青代信 ,  清健介 ,  高桥明久 ,  斋藤一也

IPC: C23C14/24 ,  B05D1/32 ,  B05D3/06 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12

CPC classification number: B05D1/32 ,  B05D3/06 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种能够稳定地形成具有所期望的膜质和图案形状的树脂层的成膜方法和成膜装置。本发明一方式所涉及的成膜方法在维持在减压气氛的腔室内，将基板(W)冷却到第1温度以下，从气体供给部(13)向基板(W)的表面供给原料气体(G)，其中所述原料气体(G)含有能量线硬化性树脂，且在上述第1温度以下能够液化，将掩膜部件(16)与基板(W)的表面相向配置，其中所述掩膜部件(16)被维持在比上述第1温度高的第2温度，且具有规定的开口图案，向基板(W)的表面照射能量线。