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公开(公告)号：CN118545672A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410208865.0
申请日：2024-02-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。该MEMS器件包括：处理层，包括至少一个腔和至少一个悬挂结构；第一器件层，包括至少一个静态电极；第二器件层，包括可移动地悬挂在第一器件层上方的至少一个感震元件；以及盖层。至少一个感震元件充当至少一个可移动电极，或者至少一个感震元件机械地耦接以与至少一个可移动电极一起移动。处理层、第一器件层、第二器件层和盖层、在处理层与第一器件层之间的第一电绝缘层以及在第一器件层与第二器件层之间的第二电绝缘层被配置成形成壳体，该壳体包括至少一个感震元件、至少一个静态电极和至少一个可移动电极。
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公开(公告)号：CN111578922B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202010095127.1
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。
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公开(公告)号：CN111578922A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010095127.1
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。
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公开(公告)号：CN107003333B9
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201580065424.9
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明的MEMS传感器具有用于在旋转模式下测量在与弹簧轴线垂直的平面内方向上的加速度的可移动部件和固定部件。所述部件包括元件框架(1)、基板(7)、检测质量块(2)、与检测质量块(2)和基板(7)连接的弹簧(5)以及梳状电极(9a，9b)。MEMS传感器的主要特征在于部件的布置引起对于测量在覆盖纵向加速度和横向加速度的范围内的加速度的固有灵敏性。一个或更多个部件相对于元件框架(1)倾斜。本发明的半导体封装(12)包括至少一个MEMS传感器。
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公开(公告)号：CN107771287B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201680036437.8
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及一种用于测量线性加速度的具有可移动部件和固定部件的MEMS传感器。MEMS传感器包括布置在提供用于MEMS传感器的密封的壁的公共框架结构之内的至少两个相互独立的差分传感器元件。相互独立的差分传感器元件成对地配置成执行线性加速度的双差分检测。MEMS传感器包括公共锚定区域，所述至少两个成对布置的差分传感器元件锚定至公共锚定区域。公共锚定区域位于成对地配置的差分传感器元件的形心处。还提供了MEMS传感器的自检能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003333B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201580065424.9
申请日：2015-11-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明的MEMS传感器具有用于在旋转模式下测量在与弹簧轴线垂直的平面内方向上的加速度的可移动部件和固定部件。所述部件包括元件框架(1)、基板(7)、检测质量块(2)、与检测质量块(2)和基板(7)连接的弹簧(5)以及梳状电极(9a，9b)。MEMS传感器的主要特征在于部件的布置引起对于测量在覆盖纵向加速度和横向加速度的范围内的加速度的固有灵敏性。一个或更多个部件相对于元件框架(1)倾斜。本发明的半导体封装(12)包括至少一个MEMS传感器。
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公开(公告)号：CN111578921B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202010092779.X
申请日：2020-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。
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公开(公告)号：CN112485470A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202010953106.9
申请日：2020-09-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 汉努·维斯特林
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。
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公开(公告)号：CN108872638B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201810414277.7
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 本公开内容描述了一种电容式微电子机械加速度计。该加速度计具有至少第一传感器，第一传感器包括作为双侧式跷跷板框架的转子。转子包括在其旋转轴的第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在其旋转轴的第二侧的一个或更多个第二阻尼板。一个或更多个第二阻尼板在该一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方或下方被固定至内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板的投影在旋转轴的每一侧交叠。框架形转子可以围绕位于衬底平面中的第二加速度传感器和第三加速度传感器。
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公开(公告)号：CN108982917B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201810413983.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 描述了一种微电子机械加速度计。该加速度计包括：用于测量沿着垂直于衬底平面的竖直轴的加速度的第一传感器；以及具有与衬底平面相邻且平行的至少一个内封装平面的加速度计封装。第一传感器包括相对于衬底可移动的转子、转子悬吊件以及相对于衬底不可移动的一个或更多个定子。转子是跷跷板框架，其中纵向转子杆包括一个或更多个第一偏转电极，并且第二偏转电极在该一个或更多个第一偏转电极中的每一个的上方和/或下方被固定至内封装平面，使得它们交叠。该加速度计可以被配置成通过将测试电压施加于至少一个第一偏转电极和至少一个第二偏转电极来执行自测试。可以利用在转子电极与定子电极之间进行的电容式测量来读取自测试响应信号。
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