表面声波装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100521528C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200410075163.2

    申请日:2004-09-02

    CPC classification number: H03H9/059

    Abstract: 一种表面声波装置,旨在解决同类技术中因电极埋设而带来的与其它层断接的问题,提高用于电连接之突起与焊接点区域间的连接强度,提供可靠性大大提高的表面声波装置。所述表面声波装置包括压电基层,叉指换能器(IDT)电极,和与IDT电极电连接的连接部分。所述表面声波装置还包括设在所述连接部分上的线路部分,并且IDT电极和连接部分同时形成。在设置线路部分的连接部分端部设置梳间间隔为5μm或更小的梳形部分。还提供相应的表面声波装置制造方法。本发明适用于通过倒装片压焊系统组装的表面声波装置,提供表面声波装置与插件的电连接和机械连接。

    声表面波设备的制造方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1516339A

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN200310124482.3

    申请日:2001-03-15

    CPC classification number: H03H3/08 Y10T29/42

    Abstract: 本发明提供了一种在单个压电基片上包含第一和第二声表面波装置的声表面波设备的制造方法,包含以下步骤:设置压电基片;沉淀第一抗蚀膜;去掉第一抗蚀膜;形成第一导电薄膜,所述第一导电薄膜的薄膜厚度与第二声表面波装置的电极薄膜厚度基本上相同;沉淀第二抗蚀膜;去掉第二抗蚀膜,所述区域不包括设置有第二声表面波装置的部分;沉淀第二导电薄膜,其薄膜厚度与第一声表面波装置的电极薄膜厚度基本上相同;和同时剥离第一抗蚀膜,第二抗蚀膜和层叠在它们上面的导电薄膜。

    表面声波装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1592096A

    公开(公告)日:2005-03-09

    申请号:CN200410075163.2

    申请日:2004-09-02

    CPC classification number: H03H9/059

    Abstract: 一种表面声波装置,包括压电基层,叉指换能器(IDT)电极,以及与该IDT电极电连接的连接部分。所述表面声波装置还包括线路部分,该线路部分的一部分设置在该连接部分上,以及在该线路部分上设置突起。所述连接部分包括设置在设置所述线路部分的连接部分端部的梳形部分。

    制造压电器件的方法
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1180490C

    公开(公告)日:2004-12-15

    申请号:CN01133940.3

    申请日:2001-08-14

    Inventor: 坂口健二

    CPC classification number: H03H3/08 H01L41/0477 H01L41/29 H01L41/338

    Abstract: 一种有效而便宜地制造压电元件的方法,进行切片而不预先形成任何保护膜,制得的压电元件包含高度耐腐蚀电极且具有极佳的稳定电特性。依据该方法,晶片形成置于压电材料制成的压电衬底上的包括Al合金的电极。使晶片暴露于采用含卤素气体的等离子体,同时以切割水冷却晶片,进行晶片切割。切割水最好包括与Al反应以在包括Al合金的电极表面上形成保护膜的化合物。

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