公开(公告)号：CN117242538A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202280032701.6

申请日：2022-05-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 原田真臣 ,  伊藤是清 ,  香川武史

IPC: H01G4/33

Abstract: 作为半导体装置的一个实施方式的电容器(1)具备：基板(10)；第一电极层(22)，其设置在基板(10)上；介电膜(23)，其设置在第一电极层(22)上；第二电极层(24)，其设置在介电膜(23)上；保护层(26)，其覆盖第一电极层(22)以及第二电极层(24)；以及外部电极(27)，其贯通保护层(26)，介电膜(23)由硅氮化物构成，介电膜(23)中含有的Si相对于Si与N的总量的原子浓度比为43atom％以上且70atom％以下。

公开(公告)号：CN105814794A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480066958.9

申请日：2014-12-19

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 山根毅 ,  岩本英树 ,  冈田圭司 ,  木户俊介 ,  太田川真则 ,  初田一平 ,  伊藤是清

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/6496 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/081 ,  H01L41/18 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/14532 ,  H03H9/14576 ,  H03H9/14579 ,  H03H9/14594

Abstract: 提供能有效果地抑制横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜上层叠IDT电极(11～14)，IDT电极(11)具有多条第1电极指(11c)、多条第2电极指(11d)，将第1电极指(11c)的前端彼此或第2电极指(11d)的前端彼此连结的线相对于弹性波传播方向倾斜，成倾斜角度(v)，该倾斜角度(v)为0.4°以上、10°以下。