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公开(公告)号:CN1879010A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200380110717.1
申请日:2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有:温度传感器(16),其设置于空气流量计的壳体(23)内;运算器(17),其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压;加热温度控制机构(6b),其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中,使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差,从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号:CN1573301A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410045806.9
申请日:2004-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F7/00 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/6986
Abstract: 一种热式空气流量计,在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4),在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明,提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。
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公开(公告)号:CN101493349B
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN200910007991.5
申请日:2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计,减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时,减小来自安装构件的应力影响,从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7),并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10),其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路,来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外,在隔膜(4)与电极(15a~15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号:CN100501344C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200610006441.8
申请日:2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计,具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件,和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh=Th-Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元;所述调整单元,调整所述发热电阻器的过温度,以便使其依存于所述被计测介质的温度,随着所述被计测介质的温度的上升,过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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公开(公告)号:CN101308036A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200810099590.2
申请日:2008-05-15
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699
Abstract: 本发明提供一种热式流量计,在隔膜部(2)的表面形成发热电阻体(6),在发热电阻体(6)的两侧(空气流上下游侧)形成温度差传感器(9~12)。温度传感器(9、10)配置在发热电阻体(6)的上游侧,温度差传感器(11、12)配置在发热电阻体(6)的下游侧,在温度差传感器(9~12)的两侧形成加热温度传感器(8a、8b)。加热温度传感器(8a、8b)的温度被控制为比空气流的温度高固定温度,因此即使在传感器元件(1)付着有污损物的情况下,加热温度传感器(8a、8b)的温度也保持固定,检测流量的温度差传感器(10、12)位于加热温度传感器(8a、8b)的内侧,因此温度变化变小,抑制特性变动,能够长期地将测量精度维持为较高。从而,能够以简单的结构实现抑制污损物的附着所引起的特性变动,能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。
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公开(公告)号:CN100408981C
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN200380110717.1
申请日:2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有:温度传感器(16),其设置于空气流量计的壳体(23)内;运算器(17),其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压;加热温度控制机构(6b),其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中,使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差,从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号:CN101013043A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710001728.6
申请日:2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计,减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时,减小来自安装构件的应力影响,从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7),并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10),其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路,来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外,在隔膜(4)与电极(15a~15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号:CN1834593A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610006441.8
申请日:2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计,具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件,和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh=Th-Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元;所述调整单元,调整所述发热电阻器的过温度,以便使其依存于所述被计测介质的温度,随着所述被计测介质的温度的上升,过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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公开(公告)号:CN101308036B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN200810099590.2
申请日:2008-05-15
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699
Abstract: 本发明提供一种热式流量计,在隔膜部(2)的表面形成发热电阻体(6),在发热电阻体(6)的两侧(空气流上下游侧)形成温度差传感器(9~12)。温度传感器(9、10)配置在发热电阻体(6)的上游侧,温度差传感器(11、12)配置在发热电阻体(6)的下游侧,在温度差传感器(9~12)的两侧形成加热温度传感器(8a、8b)。加热温度传感器(8a、8b)的温度被控制为比空气流的温度高固定温度,因此即使在传感器元件(1)付着有污损物的情况下,加热温度传感器(8a、8b)的温度也保持固定,检测流量的温度差传感器(10、12)位于加热温度传感器(8a、8b)的内侧,因此温度变化变小,抑制特性变动,能够长期地将测量精度维持为较高。从而,能够以简单的结构实现抑制污损物的付着所引起的特性变动,能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。
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公开(公告)号:CN101551261B
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN200910006480.1
申请日:2009-02-18
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/6842 , G01F1/688 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种减少水滴向测量元件的附着,并能进行高精度的计测的热式流量计。该热式流量计,通过在基板表面一侧设置了发热电阻、测温电阻的测量元件(1)来测量流量,其中,设置与测量元件(1)的表面相对置的对面壁(3),设置从对面壁(3)向测量元件(1)一侧突出的外伸板部(5),在外伸板部(5)的顶端和测量元件(1)之间设置间隙(6),外伸板部(5)从测量元件(1)的上游延伸到下游。
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