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公开(公告)号：CN101109653B
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200710137064.6
申请日：2007-07-19
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/69
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6845
Abstract: 本发明提供一种热式流量传感器，其降低灰尘向传感器元件的冲击，并且降低由传感器元件周围的被测定流体的流动的剥离导致的测定误差。该热式流量传感器具备：沿在主通路内流动的流体的流动方向设置的基座部；和安装在该基座部上、在基板上形成有用于检测在主通路流动的流体的流量的发热电阻体的传感器元件，其中，在基座部形成矩形的凹部，且传感器元件以其检测部表面低于凹部的上端缘的方式嵌入并固定在该凹部内，并且在传感器元件对面的测定用通路壁部分设置节流部，且发热电阻体从凹部的上游侧端缘沿流动方向，被隔离在不受因在凹部的上端缘与传感器元件的检测部表面之间形成的阶梯差导致生成的流体的流动紊乱的影响的位置。
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公开(公告)号：CN100497912C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
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公开(公告)号：CN100437043C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610005918.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01C9/00 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01P15/008
Abstract: 一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(R1)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分R1时的压电电阻系数π1，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是π1∶πt＝-n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分R1的电阻比，设定成与压电电阻系数π1与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。
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公开(公告)号：CN1879010A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200380110717.1
申请日：2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号：CN1755332A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101308036B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200810099590.2
申请日：2008-05-15
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699
Abstract: 本发明提供一种热式流量计，在隔膜部(2)的表面形成发热电阻体(6)，在发热电阻体(6)的两侧(空气流上下游侧)形成温度差传感器(9～12)。温度传感器(9、10)配置在发热电阻体(6)的上游侧，温度差传感器(11、12)配置在发热电阻体(6)的下游侧，在温度差传感器(9～12)的两侧形成加热温度传感器(8a、8b)。加热温度传感器(8a、8b)的温度被控制为比空气流的温度高固定温度，因此即使在传感器元件(1)付着有污损物的情况下，加热温度传感器(8a、8b)的温度也保持固定，检测流量的温度差传感器(10、12)位于加热温度传感器(8a、8b)的内侧，因此温度变化变小，抑制特性变动，能够长期地将测量精度维持为较高。从而，能够以简单的结构实现抑制污损物的付着所引起的特性变动，能长期地将测量精度维持为较高的热式流量计。
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公开(公告)号：CN101551261B
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN200910006480.1
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/6842 , G01F1/688 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种减少水滴向测量元件的附着，并能进行高精度的计测的热式流量计。该热式流量计，通过在基板表面一侧设置了发热电阻、测温电阻的测量元件(1)来测量流量，其中，设置与测量元件(1)的表面相对置的对面壁(3)，设置从对面壁(3)向测量元件(1)一侧突出的外伸板部(5)，在外伸板部(5)的顶端和测量元件(1)之间设置间隙(6)，外伸板部(5)从测量元件(1)的上游延伸到下游。
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公开(公告)号：CN101493349A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910007991.5
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号：CN100414263C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200480016658.6
申请日：2004-03-05
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6842 , G01F1/696
Abstract: 一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第1基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计(5)的驱动电路和信号处理装置的第2基板。流量测量元件，配置在空气通路上。进行空气流量计中的2点温度测量的传感器中，第1温度传感器，设置在流量测量元件的第1基板上，第2温度传感器设置在壳体内部的第2基板上。信号处理装置，根据流量测量元件的输出信号和第1、第2温度传感器的输出信号计算空气流量，空气温度，空气壁面温度。
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公开(公告)号：CN101109653A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710137064.6
申请日：2007-07-19
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/69
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6845
Abstract: 本发明提供一种热式流量传感器，其降低灰尘向传感器元件的冲击，并且降低由传感器元件周围的被测定流体的流动的剥离导致的测定误差。该热式流量传感器具备：沿在主通路内流动的流体的流动方向设置的基座部；和安装在该基座部上、在基板上形成有用于检测在主通路流动的流体的流量的发热电阻体的传感器元件，其中，在基座部形成矩形的凹部，且传感器元件以其检测部表面低于凹部的上端缘的方式嵌入并固定在该凹部内，并且在传感器元件对面的测定用通路壁部分设置节流部，且发热电阻体从凹部的上游侧端缘沿流动方向，被隔离在不受因在凹部的上端缘与传感器元件的检测部表面之间形成的阶梯差导致生成的流体的流动紊乱的影响的位置。
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