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公开(公告)号:CN101630127A
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200910150246.6
申请日:2009-06-23
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42 , G02F1/1362 , G02F1/1368
Abstract: 本发明涉及可适于在液晶显示器的滤色器阵列(color filter on array,COA)制造工艺中使用的光刻胶剥离剂组合物,特别涉及包含1-40重量%的水溶性有机胺化合物、3-40重量%的水、余量的水溶性有机溶剂,从而在制造液晶显示器的滤色器阵列结构时,无滤色器膨胀现象,金属防腐效果及感光膜去除效果均很优秀的光刻胶剥离剂组合物。该组合物可适于在液晶显示器的滤色器阵列制造工艺中使用。
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公开(公告)号:CN101373343A
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200810210852.8
申请日:2008-08-20
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种为了回收使用薄膜晶体管液晶显示器的滤色器形成工艺中产生的不良基板,而用于去除彩色光阻剂图案及涂层的彩色光阻剂剥离溶液组合物,具体涉及一种包含1-20重量%的选自无机碱氢氧化物、氢氧化铵、具有C1-C4烷基的烷基氢氧化铵或具有C1-C4烷基的苯烷基氢氧化铵中的氢氧化物;1-70重量%的选自具有C1-C4烷基的烷撑二醇醚或烷撑二醇中的至少一种化合物;0.5-10重量%的羟胺;0.5-50重量%的烷氧基烷基胺;以及余量水的彩色光阻剂剥离溶液组合物。本发明的组合物可以在短时间内去除彩色光阻剂和涂层,从而可以回收使用以往技术中由于难以去除彩色光阻剂图案而大部分被废弃的滤色器基板。
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公开(公告)号:CN106873319A
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201610685935.7
申请日:2016-08-18
IPC: G03F7/42
CPC classification number: G03F7/426
Abstract: 本发明公开一种光致抗蚀剂剥离剂组合物。所述光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物可在避免对金属图案的腐蚀和/或对有机/无机膜的损伤的前提下除去光致抗蚀剂。所述光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物组成为相对于所述剥离剂组合物的总重量而包含:15重量%至80重量%的非质子性极性溶剂,包含有N,N‑二甲基丙酰胺;25重量%至80重量%的质子性极性溶剂;1重量%至15重量%的胺系化合物。
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公开(公告)号:CN101676806A
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200910166147.7
申请日:2009-08-14
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种剥离剂组合物,其在薄膜晶体管液晶显示器的制备工艺中,用于再利用薄膜晶体管液晶显示器的热固性树脂形成过程中产生的不良基板,包括:(a)0.5-15重量份的氢氧化铵或具有碳原子数为1-4个的烷基的烷基氢氧化铵化合物;(b)9-89重量份的具有碳原子数为1-4个的烷基的烷撑二醇醚;(c)10-40重量份的甘醇化合物;(d)0.01-5重量份的防腐剂;以及(e)0.1-5重量份的水。本发明的剥离剂组合物可以在短时间内去除彩色光阻、正性或负性有机绝缘层,并不会使作为下部膜质的无机绝缘层和各种金属布线受损,从而可以再利用滤色器基板和薄膜晶体管基板。
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