公开(公告)号：CN1170460C

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：CN00130036.9

申请日：2000-10-25

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 田口典幸 ,  泽田康志 ,  山崎圭一 ,  中园佳幸 ,  猪冈结希子 ,  喜多山和也

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/2406 ,  H05H2001/2456

Abstract: 一种等离子体处理装置，利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备，能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括：具有孔的产生等离子体的室，等离子体从该孔吹出；气体供应单元，用于将产生等离子体的气体送入室中；一对电极；电源，用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。以及一种使用该等离子体处理装置的等离子体产生方法，该方法包括步骤：将产生等离子体的气体送入所述室，再利用所述点火电极向实质上等于大气压力的压力下的所述气体供给脉冲电压，以便在所述室中产生等离子体。

公开(公告)号：CN1121055A

公开(公告)日：1996-04-24

申请号：CN95106134.8

申请日：1995-06-02

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 小川梧 ,  泽田康志 ,  松村昌弘 ,  中村善彦

IPC: C03C25/00

CPC classification number: C03C25/1095 ,  H05K1/0366

Abstract: 一种玻璃织物的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括下列步骤：将所述玻璃织物曝露于一包括反应气体的混合气体的一大气压等离子区，以获得该玻璃织物的等离子体处理过的表面，所述混合气体在作等离子体激发之前经过预热；及在所述玻璃织物的等离子体处理过的表面上涂覆一种有机硅烷化合物。本发明的表面处理可有效地用于生产树脂与玻璃织物之间具有优异的粘结力和抗CAF(导电阳极丝)性能的多层电路板。

公开(公告)号：CN1323751C

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200480001115.7

申请日：2004-05-26

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 柴田哲司 ,  山崎圭一 ,  田口典幸 ,  泽田康志

IPC: B01J19/08 ,  C23C4/00 ,  H05H1/24 ,  H01L21/304 ,  H05K3/26

Abstract: 本发明公开一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置能够每次处理较大面积，并具有良好的处理均匀性。该装置包括具有通孔的一对电极板和具有通孔的绝缘板。该绝缘板被设置于电极板之间，从而使得电极板的通孔位置对应于绝缘板的通孔位置。从而，由电极板的通孔和绝缘板的通孔形成多个放电空间。通过供应等离子体生成气体到放电空间中，并且在电极板之间施加电压，同时，在放电空间同时生成等离子体。通过将由此生成的等离子体喷射到待处理物体上，有效进行大面积等离子体处理。

公开(公告)号：CN1165208C

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN01118648.8

申请日：2001-06-06

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 山崎圭一 ,  猪冈结希子 ,  泽田康志 ,  田口典幸 ,  中园佳幸 ,  仲野章生

IPC: H05H1/26 ,  H01L21/3065 ,  C23C14/22

CPC classification number: H01J37/32357

Abstract: 提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法，使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括：一个具有侧向延长横截面的管状容器；一对电极，当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时，电力线大体上在管状容器的轴向；一个气体供应源，用来给管状容器提供流光产生气；一个电源，用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光；和一个等离子体均匀装置，用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。

公开(公告)号：CN1141009C

公开(公告)日：2004-03-03

申请号：CN99122005.6

申请日：1999-10-25

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 泽田康志 ,  中村康辅 ,  北村启明 ,  井上吉民

IPC: H05H1/24 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/32348 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32559 ,  H01J37/32724 ,  H05H1/2406

Abstract: 一种等离子体处理装置，利用该装置可以对目标物进行有效地等离子体处理而不出现弧光放电。该装置包括至少一对电极，一个气体供应单元，一个供电部分；在上述电极中，至少有一个电极在其外表面具有介电层。并且至少有一个电极具有向上述放电间隙伸进的弯曲表面。最好上述电极对中至少有一个电极具有管状结构。等离子体处理装置进一步包括一个提供冷却剂的单元，利用该单元可以向电极内部提供冷却剂以降低在等离子体处理过程中的电极温度。