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公开(公告)号：CN108735564A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201711224060.1
申请日：2017-11-29
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种定位销及离子源，所述定位销的固定结构得到了简化。所述定位销(P)用于构成离子源的引出电极系统的电极的安装，在定位销(P)的长边方向的两个端部中，在第一端部(11)形成有螺丝(S)，与第一端部(11)相反侧的第二端部(12)为锥形。
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公开(公告)号：CN107833818A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201710521360.X
申请日：2017-06-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/14
CPC classification number: H01J27/14
Abstract: 本发明提供一种离子源，不需要用于将支承基体保持在所希望的位置的止动件或控制就能将支承基体简单地保持在所希望的位置。在等离子体生成室周围配置永磁铁的离子源具备：阴极，插通于等离子体生成室内，向等离子体生成室内放出电子；支承基体，设置于等离子体生成室外部而支承阴极；驱动机构，使支承基体向从等离子体生成室的外壁面拉开的方向移动；以及伸缩部件，介于支承基体与等离子体生成室的外壁面之间并覆盖贯通孔的周围，将支承基体与等离子体生成室的外壁面之间的空间保持为气密，被驱动机构的驱动力从等离子体生成室的外壁面拉开的处于后退位置的支承基体被吸引力向相比后退位置靠等离子体生成室的外壁面处拉近而被保持在前进位置。
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公开(公告)号：CN117524819A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310745763.8
申请日：2023-06-21
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 西村一平
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够容易地进行维护作业。离子源(10)具备从内部引出离子束的容器(11)，容器(11)具备：等离子体生成部(12)，在内部生成等离子体；以及电极收纳部(13)，收纳用于取出离子束的电极。离子源(10)构成为，在电极收纳部(13)固定于装置主体(2)的状态下，等离子体生成部(12)能够以规定的轨道从电极收纳部(13)脱离。
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公开(公告)号：CN115910730A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211020205.7
申请日：2022-08-24
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明涉及离子源移动装置及离子植入装置,目的在于能够令离子源平稳地升降，使对装置本体装卸离子源的作业的作业性提升。本发明的离子源移动装置是能对于要以在第一水平方向与装置本体对置的方式固定至装置本体且具有腔室的离子源，能够使该离子源以一边使离子源的重心升降并一边使相对于装置本体的倾斜度变化的方式移动；该离子源移动装置构成为具备：支持构件，能支持固定在腔室的外侧的第一被支持构件；可动构件，连结在支持构件；及升降机构，能一边限制可动构件往与既定的第二方向交叉的方向移动，并一边使可动构件沿第二方向升降移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108573842B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201711143287.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。
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公开(公告)号：CN109516106A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201711143720.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。
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公开(公告)号：CN105575754B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510548657.6
申请日：2015-08-31
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J49/20
CPC classification number: H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J49/20 , H01J2237/055 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。
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公开(公告)号：CN107112176A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580073315.1
申请日：2015-10-08
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 实现离子束引出用电极的维护性提高。离子束引出用电极(E)包括：具有供离子束通过的开口部的电极部(1)、固定支承电极部(1)的支承框(11)，支承框(11)形成有制冷剂流路(12)，并且具有在电极部(1)配置于支承框(11)时在与离子束通过方向大致垂直的面内限制电极部(1)移动的移动限制部(13)。
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公开(公告)号：CN207338293U
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201721103207.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J37/08
Abstract: 本实用新型提供一种离子源(IS)，能够调整等离子体生成室(6)内的阴极配置，提高与等离子体生成有关的离子化气体的利用效率。离子源(IS)在等离子体生成室(6)的周围具备永磁铁(10)，其中，具备：阴极(1)，向等离子体生成室(6)内供给电子；支承基体(B)，对阴极(1)进行支承，配置在等离子体生成室(6)的外侧；贯通孔(H)，形成在等离子体生成室(6)的壁面，供阴极(1)插通；以及伸缩部件(4)，覆盖贯通孔(H)的周围，将等离子体生成室(6)的外壁面与支承基体(B)之间的空间保持为气密，使支承基体(B)与等离子体生成室(6)的外壁之间的距离可变。
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