导电性氮化硅复合烧结体及其制备方法

    公开(公告)号:CN1272283C

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN02124784.6

    申请日:2002-06-25

    Inventor: 吉村雅司

    CPC classification number: C04B35/591

    Abstract: 通过研磨/混合氮化硅粉末和金属粉末,直到氮化硅粉末的平均粒径介于30-60nm,随后通过模制和烧结得到一种平均粒径为200nm或更低和在电火花加工之后其相对粗糙度(Ra)为0.6μm或更低的导电性氮化硅复合烧结体。在具有本发明特征的结构下,可能得到导电性氮化硅复合烧结体,所述烧结体具有5-60%体积能进行电火花加工的导电粒子。

    制造GaN基膜的方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102959677A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201180030507.6

    申请日:2011-11-10

    CPC classification number: H01L33/007 H01L21/76256 H01L33/0079

    Abstract: 本发明提供一种制造GaN基膜的方法,所述方法包括:准备复合衬底(10)的步骤,所述复合衬底包含支持衬底(11)和布置在所述支持衬底(11)的主表面(11m)侧的单晶膜(13),在所述支持衬底(11)中在主表面(11m)中的热膨胀系数大于GaN晶体在a轴方向上的热膨胀系数的0.8倍且小于其1.2倍,所述单晶膜(13)相对于垂直于所述单晶膜(13)的主表面(13m)的轴呈三重对称;和在所述复合衬底(10)中的所述单晶膜(13)的所述主表面(13m)上形成GaN基膜(20)的步骤。由此,提供了一种制造GaN基膜的方法,所述方法能够制造具有大的主表面积和较小翘曲的GaN基膜。

    发光器件用衬底
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102282684A

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200980154826.0

    申请日:2009-11-11

    CPC classification number: C30B25/18 C30B29/403 H01L33/007

    Abstract: 本发明提供一种缺陷最少的发光器件用衬底,其使得发射的光能够从器件的衬底侧面射出,且本发明提供一种发光器件用衬底(100),其具有对波长为400nm~600nm的光透明的透明衬底(10);和通过接合而形成在所述透明衬底(10)的一个主表面上的氮化物类化合物半导体薄膜(1c)。设所述透明衬底在与所述透明衬底的主表面垂直的方向上的热膨胀系数为α1,且设所述氮化物类化合物半导体薄膜的热膨胀系数为α2,则(α1-α2)/α2为-0.5~1.0,并在1200℃以下的温度下,所述透明衬底不会与所述氮化物类化合物半导体薄膜(1c)反应。所述透明衬底(10)的绝对折射率优选是所述氮化物类化合物半导体薄膜的绝对折射率的60%~140%。

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