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公开(公告)号：CN114450631A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202080067976.4
申请日：2020-09-14
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中，含有(A)酸分解性树脂、(B)由通式(b1)表示的化合物、及(C)由通式(c1)表示的化合物，化合物(C)的含量相对于化合物(B)的含量的比例为0.01质量％以上且10质量％以下。L表示单键或2价的连接基团。A表示通过酸的作用分解的基团。B表示通过酸的作用分解的基团、羟基或羧基。其中，至少1个B表示羟基或羧基。n表示1～5的整数。X表示n+1价的连接基团。M+表示锍离子或碘鎓离子。
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公开(公告)号：CN112602019B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN201980055055.3
申请日：2019-07-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/16 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法。上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：树脂，包含源自设为均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体的非酸分解性的重复单元和具有酸分解性基团的重复单元；及化合物，由通式(P‑1)表示。环Q1是4～6元环。其中，环Q1可以与其他环形成稠合环。作为环元素，环Q1具有至少2个碳原子，与S+直接键合的环元素的原子为碳原子。RP1～RP5分别独立地表示氢原子、羟基、卤原子、烷基、芳基、杂芳基或烷氧基。RP1～RP5中的至少2个可以键合而形成环。Z‑表示非亲核性阴离子。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN110494806B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201880024097.6
申请日：2018-05-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种作为掩模而能够适用于蚀刻时，能够形成耐龟裂性及耐蚀刻性优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物为含有树脂且固体成分浓度为10质量％以上的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，上述树脂包含：以制成均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体为来源的重复单元A；及具有酸分解性基的重复单元B，上述重复单元B的含量相对于树脂中的所有重复单元为20摩尔％以下，且上述树脂所具有的重复单元中的任一至少1种为具有芳香族环的重复单元。
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公开(公告)号：CN115516655A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180031691.X
申请日：2021-04-28
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L51/42 , C07D333/24 , C07D409/04 , C07D409/14 , C07D417/06 , C07D417/14 , C07D495/04 , C07D495/14 , C07D495/22 , C07D519/00 , H01L27/30
Abstract: 本发明提供一种灵敏度优异的光电转换元件、摄像元件、光传感器及化合物。本发明的光电转换元件依次具有导电性膜、光电转换膜及透明导电性膜，其中，上述光电转换膜包含由式(1)表示的化合物及色素。A‑D‑A(1)。
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公开(公告)号：CN114303098A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202080060658.5
申请日：2020-08-13
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112602019A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980055055.3
申请日：2019-07-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/16 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法。上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：树脂，包含源自设为均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体的非酸分解性的重复单元和具有酸分解性基团的重复单元；及化合物，由通式(P‑1)表示。环Q1是4～6元环。其中，环Q1可以与其他环形成稠合环。作为环元素，环Q1具有至少2个碳原子，与S+直接键合的环元素的原子为碳原子。RP1～RP5分别独立地表示氢原子、羟基、卤原子、烷基、芳基、杂芳基或烷氧基。RP1～RP5中的至少2个可以键合而形成环。Z‑表示非亲核性阴离子。
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公开(公告)号：CN106062965B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201580011661.7
申请日：2015-02-26
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L51/05 , H01L51/30
Abstract: 本发明提供一种有机薄膜晶体管及有机薄膜晶体管的制造方法。本发明的有机薄膜晶体管在基板上具有栅极电极、有机半导体层、栅极绝缘层、源极电极及漏极电极，有机半导体层包含有机半导体及树脂(C)，所述树脂(C)具有选自由含氟原子的基团、含硅原子的基团、碳原子数1以上且在形成烷氧基羰基的情况下为碳原子数2以上的烷基、环烷基、芳烷基、芳氧基羰基、经至少一个烷基取代的芳香环基及经至少一个环烷基取代的芳香环基构成的组中的一个以上的基团；所述有机薄膜晶体管的制造方法中，涂布含有有机半导体及树脂(C)的涂布液而使树脂(C)偏向存在。
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公开(公告)号：CN105051928B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201480017627.6
申请日：2014-03-19
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L51/30 , C07D498/06 , C07D513/06 , C07D517/06 , C07F7/10 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/40
CPC classification number: H01L51/0071 , C07D498/06 , C07D513/06 , C07D517/06 , C07F7/0812 , C07F7/0838 , C07F7/1804 , H01L51/0058 , H01L51/0065 , H01L51/0068 , H01L51/0094 , H01L51/0545
Abstract: 本发明提供一种有机薄膜晶体管、萘并双噻嗪化合物与其用途。在半导体活性层中含有通式(1)所表示的化合物的有机薄膜晶体管的载子迁移率高，反复驱动后的阈值电压变化小，具有在有机溶剂中的高溶解性(A1、A2分别独立地表示硫原子、氧原子或硒原子，R1～R6分别独立地表示氢原子或取代基。其中，R1～R6中的至少一个为*‑L‑R所表示的取代基。L表示二价连结基或2个以上的二价连结基键结而成的二价连结基。R表示氢原子、烷基、重复数为2以上的低聚氧亚乙基、硅原子数为2以上的低聚硅氧烷基、三烷基硅烷基)。通式(1)。
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公开(公告)号：CN114303098B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202080060658.5
申请日：2020-08-13
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。
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公开(公告)号：CN117778962A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311207207.1
申请日：2023-09-18
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题为提供一种蒸镀方法，在使用粉体材料的真空蒸镀中，能够恒定地保持沉积速率，无需为了提高沉积速率而不必要地提高容器温度，即使是容易热分解的粉体材料也能够以所希望的沉积速率进行蒸镀。通过使用下述容器并加热该容器来进行粉体材料的真空蒸镀，由此解决课题。该容器具有：收容部，收容粉体材料；及1个以上的开口，用于将粉体材料蒸气从收容部排出，将收容部的内表面的面积设为S，将开口的总面积设为O时，以O/S的百分比计，内表面的面积S与开口的总面积O的比例为0.06～2％。
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