半导体装置的制造装置及半导体装置

    公开(公告)号:CN105470154A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510571992.8

    申请日:2015-09-09

    Abstract: 本发明提供半导体装置的制造装置及半导体装置,在对半导体装置的构成构件进行超声波接合时,能够可靠地将构件固定起来,因而能够获得稳定的接合状态。一种半导体装置的制造装置(1),该半导体装置包括板状构件(21)和接合构件(23),该半导体装置的制造装置包括:板状治具(11),其用于载置该板状构件(21);第1固定治具(12)和第2固定治具(13),它们具有能抵接在板状构件(21)的宽度方向端部上缘的斜面,并且构成为靠近该板状构件(21)的宽度方向端部地固定于该板状治具(11);超声变幅器(14),其能一边将接合构件(23)向板状构件(21)按压,一边在板状构件(21)的宽度方向上施加超声波振动。

    接合组装装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104517860A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201410394901.3

    申请日:2014-08-12

    CPC classification number: H01L21/52 B23K1/00

    Abstract: 本发明提供一种接合组装装置,通过短时间的焊接处理来将由至少一个被接合构件与至少一个焊接材料构成的层叠体进行接合,从而获得具有层中气泡较少的焊料接合层的接合体。该接合组装装置在减压路内具备如下构件:金属线;传送台,对至少一个被接合构件和至少一个焊接材料的层叠体进行支承,并能在水平方向和垂直方向上移动;冷却板,隔着所述传送台对所述层叠体进行冷却;热板),隔着所述传送台对所述层叠体进行加热;活性种气体导入管;惰性气体导入管;以及排气口,该接合组装装置还具备通过通电来对所述金属线进行加热的加热单元、即炉外的未图示的交流或直流功率供电源。

    半导体装置的制造方法及接合组装装置

    公开(公告)号:CN105679686B

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201510762725.9

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 一种半导体装置的制造方法,包括:准备工序,将包含至少一个被接合构件和焊锡材料的层叠体投入减压炉内;一次减压工序,对减压炉内进行真空排气;热射线式加热工序,将减压炉内设为低压的氢气氛,对与减压炉之间隔着能开闭的分隔壁地设置于减压炉外的金属线进行加热,或对与输送台、冷却板以及热板之间隔着能开闭的分隔壁地设置于减压炉内的金属线进行加热,产生原子态氢;隔离工序,在将金属线保持在低压气氛下的状态下,利用所述分隔壁自减压炉内气氛隔离开所述金属线;加热工序,将减压炉内设为正压的氢气氛并加热至接合温度使焊锡材料熔融;及气泡去除工序,在保持为接合温度的状态下将减压炉内再次设为真空气氛而去除焊锡熔体中的气泡。

    半导体装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106298717A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610304288.0

    申请日:2016-05-10

    Abstract: 本发明提供一种具备筒状部件的半导体装置,该半导体装置能够在焊接该筒状部件时抑制焊料飞散。该半导体装置具备在正面具有电路层的层叠基板、焊接于电路层的筒状部件、和插入到该筒状部件并与该筒状部件电连接的外部端子。筒状部件具有圆筒部和连接到圆筒部的长度方向的一端的凸缘部。该凸缘部具备与电路层相对的第一突部、第二突部和第三突部。该第一突部与第二突部之间的距离、该第二突部与第三突部之间的距离以及该第三突部与第一突部之间的距离均比该圆筒部的内径大。

    半导体装置的制造方法及接合组装装置

    公开(公告)号:CN105679686A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201510762725.9

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 一种半导体装置的制造方法,包括:准备工序,将包含至少一个被接合构件和焊锡材料的层叠体投入减压炉内;一次减压工序,对减压炉内进行真空排气;热射线式加热工序,将减压炉内设为低压的氢气氛,对与减压炉之间隔着能开闭的分隔壁地设置于减压炉外的金属线进行加热,或对与输送台、冷却板以及热板之间隔着能开闭的分隔壁地设置于减压炉内的金属线进行加热,产生原子态氢;隔离工序,在将金属线保持在低压气氛下的状态下,利用所述分隔壁自减压炉内气氛隔离开所述金属线;加热工序,将减压炉内设为正压的氢气氛并加热至接合温度使焊锡材料熔融;及气泡去除工序,在保持为接合温度的状态下将减压炉内再次设为真空气氛而去除焊锡熔体中的气泡。

    半导体装置
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106298717B

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201610304288.0

    申请日:2016-05-10

    Abstract: 本发明提供一种具备筒状部件的半导体装置,该半导体装置能够在焊接该筒状部件时抑制焊料飞散。该半导体装置具备在正面具有电路层的层叠基板、焊接于电路层的筒状部件、和插入到该筒状部件并与该筒状部件电连接的外部端子。筒状部件具有圆筒部和连接到圆筒部的长度方向的一端的凸缘部。该凸缘部具备与电路层相对的第一突部、第二突部和第三突部。该第一突部与第二突部之间的距离、该第二突部与第三突部之间的距离以及该第三突部与第一突部之间的距离均比该圆筒部的内径大。

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